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《仪表技术与传感器》 2010年01期
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压力传感器厚膜温度补偿技术研究

李颖  林洪  王雪冰  
【摘要】:采用厚膜电路制造技术实现硅基压力传感器的温度补偿,不仅可以使传感器的补偿精度高、补偿温区宽,而且可以使传感器的可靠性、抗震动性、耐高低温冲击性以及传感器的外观品质得以全面提升。文中介绍了压力传感器温度补偿电阻网络的原理、厚膜电路的设计和制造技术、网络阻值调整等方面的研究,通过合理的版图、结构和工艺设计,实现了OEM压力传感器的温度补偿,已在压力传感器产品的生产中得到成功应用。
【作者单位】沈阳仪表科学研究院;
【分类号】:TP212

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 吴凌慧;高温高压差传感器的设计与特性研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 马丽杰;溅射型应变计与压力变送器[J];传感器技术;1989年03期
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【相似文献】
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5 李焰;斐明敬;王占江;胡华权;陈立强;李捷;董永峰;;微型炸药球水中爆炸冲击波压力波形测试和研究[A];第三届全国爆炸力学实验技术交流会论文集[C];2004年
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7 姚冬平;宋音;;压力传感器自动测试系统的研究[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
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10 岳瑞峰;刘理天;李志坚;;双桥温补集成压力传感器研究[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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