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《Rare Metals》 2017年06期
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Enhanced thermoelectric property and stability of NiCr–NiSi thin film thermocouple on superalloy substrate

Xiao-Hui Zhao  Yi-Ran Wang  Yin-Zhi Chen  Hong-Chuan Jiang  Wan-Li Zhang  
【摘要】:Thin film thermocouples(TFTCs) can provide fast and accurate surface temperature measurement with minimal impact on the physical characteristics of the supporting components. In this study, NiCr and NiSi films were prepared with radio frequency(RF) magnetron sputtering and the influences of vacuum annealing on the resistivity of the films were investigated. Afterward, NiCr–NiSi films were deposited on Ni-based superalloy substrates to form TFTCs. The overall dimension of the thermocouple is 64 mm in length, 8 mm in width and 30 lm in thickness. Compared with those of as-deposited sample, the thermoelectric property and stability of the TFTC are significantly improved by vacuum annealing of NiCr and NiSi films. The variation of the Seebeck coefficient of TFTC was discussed based on the size effect of NiCr and NiSi films. And a lower Seebeck coefficient of TFTC of 38.4 μV·℃~(-1) is obtained.
【作者单位】State
【基金】:financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No.61223002) Sichuan Youth Science and Technology Innovation Research Team Funding (No.2011JTD0006) Program for Cooperation of Industry, Education and Academy of Guangdong Province, China (No.2013B090400001)
【分类号】:TB383.2;TH811
【正文快照】:
1 IntroductionPrecise measurement of the surface temperature of hot-section components is crucial for efficiency improvementand safety concern of the whole vehicles.In sharp contrastto traditional thermocouple wire,thin film thermocouples (TFTCs)can be

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