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《现代制造工程》 2003年S1期
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阴极电弧源镀制TiO_2薄膜的研究

周友苏  张立珊  
【摘要】:在真空条件下利用阴极电弧源在不同基底材料上镀制TiO_2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强、偏压和电流等因素进行研究。经X射线结构分析结果显示TiO_2薄膜主要以锐钛矿结构为主及少量的金红石结构。对TiO_2薄膜的化学性质、力学性质进行了初步检测。
【作者单位】北京联合大学机电学院 北京联合大学机电学院
【分类号】:TB43

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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