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《系统工程与电子技术》 1992年10期
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提高PtSi—SBIRCCD量子效率和转移效率的方法研究

杨亚生  
【摘要】:本文阐述了提高PtSi肖特基势垒红外CCD(PtSi-SBIRCCD)的量子效率和转移效率的方法。探测器采用具有抗反射层的优化薄PtSi光腔结构,提高了量子效率。为了提高转移效率,CCD移位寄存器采用埋沟CCD,并且发现,降低埋沟中的杂质浓度是提高器件在77K液氮工作温度下的转移效率的一种有效方法。
【作者单位】重庆光电技术研究所

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