收藏本站
《系统仿真学报》 2016年04期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于可重入加工组合设备的建模与调度研究

潘春荣  黎良  
【摘要】:晶圆加工中越来越广泛地采用可重构的自动化组合设备,其单晶圆加工技术提高了晶圆制造的生产效率和加工质量。介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件,由于晶圆重入加工需求的增加,组合设备的调度变得更加复杂。回顾了组合设备可重入加工过程的建模、性能分析及其调度等研究工作,分析了重入加工的Petri网建模,调度和控制方法的优劣性,并通过例子阐述了仿真调度的可行性。提出了组合设备重入加工运行控制的研究方法及未来的研究方向。
【作者单位】江西理工大学机电工程学院;
【基金】:国家自然科学基金(71361014)
【分类号】:TN305
【正文快照】:
引言1晶圆直径的增大促使晶圆逐渐迈入到“450mm直径”的时代,传统的批量加工技术难以满足蚀刻、化学气相沉积和快速高温加工等加工工艺的要求。因此,大直径的晶圆广泛地采用自动化组合设备(Cluster Tool)进行加工,其单晶圆加工技术有效地提高了晶圆的生产率和成品率[1]。组合

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 罗鸣;谷寒雨;;多重入生产线的CONWIP投放方法研究[J];计算机仿真;2006年08期
2 潘建平;DOS系统重入技术[J];电脑学习;1995年01期
3 郭永辉;邵志芳;钱省三;;多重入晶圆制造系统动态投料策略研究[J];半导体技术;2006年09期
4 孙玉玺;伍乃骐;;基于eM-Plant求解具有晶圆重入过程的单臂组合设备最优调度的仿真方法[J];工业工程;2012年05期
5 ;[J];;年期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 吴志刚;多重入制造系统的连续建模与优化研究[D];上海交通大学;2010年
2 赵月;基于智能优化算法的可重入生产系统调度问题的研究[D];天津大学;2013年
3 张瑞;可重入生产系统的订单优化排序研究[D];电子科技大学;2013年
4 王永;可重入半导体生产线的仿真与调度[D];上海交通大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026