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《新技术新工艺》 1990年05期
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类金刚石碳膜的制备及其应用

王和照  
【摘要】:类金刚石是一种新型材料,制备应用这种材料已成为国内外研究的热门课题。本文作者结合自己多年的研究工作,就这种材料的制备及其特性、结构和应用作了介绍和述评、
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