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《新疆大学学报(自然科学版)》 2000年01期
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BaTiO_3薄膜的Sol-gel法制备及对其介电特性的研究

沈良  宋世庚  贾锐  陶明德  
【摘要】:以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法在(100)低阻硅片上制备了BaTiO-3薄膜电容,用XRD分析了该薄膜的结构,发现薄膜在硅片上取向生长,同时又对薄膜的介电性质进行研究,结果表明,薄膜的介电特性在高频范围内随频率的变化比较稳定并讨论了晶化温度对薄膜电容的影响
【作者单位】中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐
【分类号】:TN304.055

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【引证文献】
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1 石智强,汪智权,牟立,李曹,刘孝波;丙烯酸树脂/钛酸钡纳米复合材料的研究[J];电子元件与材料;2004年05期
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1 杨大祥;张长瑞;周新贵;冯坚;王娟;郭钊;绉思卿;;SiO_2纳米多孔薄膜的制备[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
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1 李莺;钛酸锶钡铁电薄膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2006年
2 王尚文;新型电极高压脉冲电场破乳试验研究[D];华中科技大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
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1 李盛涛;李巍巍;闵道敏;林敏;黄印;;基于TSC的空间介质载流子迁移率测量方法[A];第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集[C];2011年
2 龚海峰;涂亚庆;宋世远;彭烨;;高压电场作用下油中水滴变形动力学模型[A];中国石化协会、润滑脂专业委员会一届二次全体成员大会暨全国第十五届润滑脂技术交流会论文集[C];2009年
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5 郭文敏;李忠华;;聚乙烯基非线性复合材料的电导特性及机理[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
6 查俊伟;党智敏;George Chen;;聚酰亚胺纳米复合薄膜表面电位衰减特性[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
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3 高敬伟;多形态聚吡咯的制备与吸波性能研究[D];东华大学;2010年
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8 查俊伟;耐电晕聚酰亚胺/无机纳米复合薄膜的制备与电性能研究[D];北京化工大学;2010年
9 宋红涛;高性能聚乙烯绝缘材料与半导电屏蔽材料制备及其性能研究[D];北京化工大学;2011年
10 米双山;介电式种子分选机理及其设备的研究[D];中国农业大学;2000年
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1 司昌健;基于DSP的高压容性电力设备介质损耗因数测量[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 王洪波;非线性防电晕结构的电—热场耦合仿真分析[D];哈尔滨理工大学;2010年
3 王丽娜;碳纤维混凝土三向受压状态下压敏性研究[D];沈阳建筑大学;2011年
4 李阳;同面多电极感应式冰层厚度传感器及其检测系统的设计与研究[D];太原理工大学;2011年
5 张宗鑫;温度对电声脉冲法聚合物空间电荷测量的影响[D];华北电力大学(北京);2011年
6 戚杰;稀土/AlN/MAS微晶玻璃复合材料结构与性能的研究[D];武汉理工大学;2011年
7 张洋瑞;高电压冷绝缘高温超导电缆的主绝缘设计[D];华北电力大学(北京);2011年
8 张颂;金属团簇电偶极性的第一性原理研究[D];西南大学;2011年
9 董茜;高频微波衰减陶瓷的制备与频谱特性研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
10 王金翠;(100)-取向Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜低温制备与压电性能研究[D];济南大学;2011年
【同被引文献】
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1 丁士进,王鹏飞,张卫,王季陶,李伟;用于ULSI的低k氟化非晶碳膜研究[J];半导体技术;2001年05期
2 王泗禹,康剑;半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺[J];微纳电子技术;2002年11期
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6 孙继红,范文浩,吴东,孙予罕;溶胶-凝胶(Sol-gel)化学及其应用[J];材料导报;2000年04期
7 张柏顺,章天金,刘江华,江娟;BST薄膜的研究现状与发展趋势[J];材料导报;2003年07期
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9 赵新伟,裴志斌,田长生;用溶胶—凝胶法制备铁电薄膜[J];材料工程;1994年07期
10 彭会芬;钛酸钡铁电陶瓷和薄膜的溶胶凝胶法制备及表征[J];材料科学与工程;1998年01期
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1 朱卫东;溶胶—凝胶法制备Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜及其性能研究[D];苏州大学;2001年
2 杜泽惠;锆钛酸铅镧铁电薄膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
3 南瑞华;锆钛酸铅镧薄膜的制备与性能研究[D];西安理工大学;2005年
【二级引证文献】
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1 倪涛;卫建;谢美菊;余自力;;纳米BaTiO_3/聚醚砜复合材料的制备和性能研究[J];高分子材料科学与工程;2007年06期
2 夏先伟;张晓红;王德堂;翟维忠;邱作为;;丙烯酸树脂的纳米材料改性研究进展[J];广州化工;2012年16期
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 鲍云波;榆树林油田原油集输工艺关键技术研究[D];大庆石油学院;2010年
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1 宋刚;纳米钛酸钡与有机复合膜湿敏元件的特性研究[D];大连理工大学;2006年
2 王海燕;钛酸钡/聚偏氟乙烯复合材料的制备及其介电性能研究[D];兰州理工大学;2006年
3 郑阳;钛酸钡/聚苯乙烯高介电复合材料的制备及介电性能研究[D];北京化工大学;2007年
4 余燕飞;钛酸钡/环氧树脂复合材料的制备及其介电性能的研究[D];北京化工大学;2007年
5 倪涛;纳米BaTiO_3/聚醚砜复合材料的制备和性能研究[D];四川大学;2007年
6 陈惠玲;钛酸钡/环氧复合材料制备技术和介电性能的研究[D];四川大学;2007年
7 彭勃;银/聚酰亚胺高介电复合材料的制备及其性能研究[D];北京化工大学;2008年
8 林友琴;钛酸钡/聚酰亚胺纳米复合薄膜的制备与性能研究[D];北京化工大学;2008年
9 卢同红;纳米钛酸钡/环氧树脂复合材料的制备和性能研究[D];武汉理工大学;2009年
10 夏兵;硅橡胶基高介电高弹性纳米复合材料的制备及性能研究[D];北京化工大学;2009年
【相似文献】
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1 卓木金,马秀良;掺Ag颗粒BaTiO_3薄膜的TEM研究[J];电子显微学报;2005年04期
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10 赵苏串,魏敏敏;溶胶-凝胶法制备掺铌的SrTiO_3薄膜[J];电子元件与材料;2000年01期
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7 李红英;甘树才;;稀土六方Z型铁氧体Ba_(3-x)La_xCo_2Fe_(24)O_(41)的制备与表征[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
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10 李正法;裘忠平;葛洪良;钟维烈;张沛霖;王春雷;;溶胶-凝胶法制备K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3陶瓷的晶格结构和介电特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
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10 肖静;稀土配合物掺杂凝胶玻璃的制备及其结构与性能的研究[D];武汉理工大学;2006年
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1 王季魁;溶胶—凝胶法制备钛酸锶铅薄膜和多层膜及其介电性质[D];苏州大学;2006年
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5 宋国卫;堇青石—莫来石复合材料的合成及研究[D];中南大学;2005年
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7 刘宇;ZnO掺铝透明导电薄膜的制备及其光电性能研究[D];西安建筑科技大学;2006年
8 张宁;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究[D];曲阜师范大学;2006年
9 魏权;红外反射膜的制备研究[D];西安电子科技大学;2007年
10 宁纪奎;Yb:YVO_4晶体原料制备及性能表征[D];长春理工大学;2007年
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