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《探测与控制学报》 2007年01期
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静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究

刘凤丽  郝永平  高连兴  
【摘要】:以经过结构参数优化后的微机械陀螺仪为研究对象,针对其梳齿驱动器、悬臂梁和平行板电容器这三种典型结构,分析了影响其结构可靠性的因素,验证了梳齿驱动器结构参数满足了稳定性要求;得到了感测平行板电容器的临界电压,讨论了平行板的弯曲变形的影响;为保证悬臂梁的可靠性,限定了陀螺仪的工作量程。

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【共引文献】
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1 姜理利;多晶硅微悬臂梁断裂失效的可靠性模型建立[D];东南大学;2006年
【同被引文献】
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