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《现代显示》 2012年12期
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一种基于DVD读取头的非接触触发探头

高伟  陈晓怀  陈贺  
【摘要】:文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分辨率优于1nm,测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。
【作者单位】合肥工业大学仪器科学与光电工程;
【基金】:国家自然基金项目(编号:50675057)
【分类号】:TH721

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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 黄常帅,杨永强,张翠红;DVD激光头技术发展新趋势[J];今日电子;2005年03期
2 魏高尚;DVD光学头伺服误差信号分析[J];应用激光;2004年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈叶金;创新型微纳米测量探头机理的研究[D];合肥工业大学;2007年
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