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基于半导体光刻技术的自动调焦

王彭  杨永跃  李其德  
【摘要】:提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法,利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦。实验结果表明,这种方法可以实现高精度(200nm)和良好的重复性(400nm)的调焦。

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