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基于半导体光刻技术的自动调焦

王彭杨永跃李其德

【摘要】：提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法,利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦。实验结果表明,这种方法可以实现高精度(200nm)和良好的重复性(400nm)的调焦。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	麻恒阔;魏国强;;基于图像处理自动调焦方法的稳定性研究[J];航空精密制造技术;2007年02期
2	孙国强;白绳武;;基于FPGA的图像调焦系统研究[J];电子科技;2010年07期
3	付纯鹤;魏祥英;孙明睿;宋丽娟;;PCB AOI中自动调焦及调整倍率的设计与实现[J];电子工业专用设备;2010年03期
4	倪军;袁家虎;吴钦章;;基于边缘特征的光学图像清晰度判定[J];中国激光;2009年01期
5	刘力双;孙双花;吕乃光;王宝光;;电子摄像式对刀仪的研究[J];制造技术与机床;2007年11期
6	刘海萍;苏世彬;;基于局部图像处理的自动调焦系统设计[J];科技风;2009年09期
7	王学影,张洪涛;基于图像处理的CCD摄像机自动调焦方法研究[J];计量技术;2005年08期
8	胡涛;陈世哲;刘国栋;浦昭邦;;显微视觉系统中自动调焦评价函数的选取[J];半导体光电;2006年02期
9	孙立宁,陈立国,荣伟彬;微操作机器人显微视觉系统自动调焦的实现[J];仪器仪表学报;2002年S2期
10	吴小翠;郭斯羽;易国;;基于边界梯度的自动调焦评价函数[J];计算机系统应用;2010年03期
11	郑伟波;电子光学显微成像技术的空间应用[J];红外;2003年04期
12	马官营,杨明,吴晓琳;基于图像处理的显微镜自动控制系统[J];中国仪器仪表;2004年04期
13	王欣;安志勇;杨瑞宁;;基于图像清晰度评价函数的CCD摄像机自动调焦技术研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年01期
14	Modern Xu,Lucian Liu;光刻技术与光刻机[J];中国集成电路;2004年08期
15	本刊编辑部;;193nm浸没式光刻技术发展现状及今后难点[J];电子工业专用设备;2006年04期
16	孙再吉;松下电器公司开发分辨率为0.25μm的光刻技术[J];固体电子学研究与进展;1993年01期
17	冯伯儒,张锦,侯德胜,陈芬;微光刻技术的发展[J];微细加工技术;2000年01期
18	贾晓艳;萧泽新;邓仕超;;基于聚焦评价函数的自动调焦方法的研究[J];光学技术;2007年S1期
19	David Lammers;;Intel:2011年前EUV无法在22nm大展拳脚[J];集成电路应用;2008年07期
20	;自动调焦[J];电子工业专用设备;1977年02期

中国重要会议论文全文数据库

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1	路绍军;郭荣礼;韩军;孙磊;李园园;;莫尔条纹测量微小位移技术研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
2	张春霞;魏小林;阳德志;王阳;盛宏至;;内旋流流化床内异重颗粒横向扩散系数的试验研究[A];第七届全国实验流体力学学术会议论文集[C];2007年
3	王晓蕾;杨健;;基于图像处理技术的地基云图云量的识别[A];第三届长三角气象科技论坛论文集[C];2006年
4	梁威;沈昱明;;基于改进的Fourier描述子算法的车辆识别[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（2）[C];2008年
5	杨浩;袁海文;彭琴;武新成;;基于无向图的沥青路面裂缝检测技术研究[A];2010全国虚拟仪器大会暨MCMI2010’会议论文集[C];2010年
6	魏国强;胡敏良;;图像处理技术及其在水电站泄洪雾化研究中的应用[A];第十六届全国水动力学研讨会文集[C];2002年
7	茹海峰;殷业;;基于与图像相结合的语音端点检测方法研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
8	刘春桐;赵兵;张志利;仲启媛;;基于图像处理的自动瞄准系统精度研究[A];全国自动化新技术学术交流会会议论文集（一）[C];2005年
9	梁爽;鲁志波;;基于离散小波变换的图像盲水印算法[A];2005中国控制与决策学术年会论文集（上）[C];2005年
10	黄秀声;余伟;陈银莉;;数字图像处理在网格法中的应用[A];全国炼钢连铸过程自动化技术交流会论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	林兆华;基于图像处理自动调焦技术在经纬仪中应用的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年
2	卢振华;推扫式遥感相机基于图像的实时自动调焦研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年
3	余庆军;智能图像处理及其在无线多媒体业务中的应用[D];华南理工大学;2004年
4	程光权;基于方向小波图像处理与几何特征保持质量评价研究[D];国防科学技术大学;2010年
5	张旗;基于属性的图像分类研究[D];大连海事大学;2005年
6	王朝阳;微米云纹法及其相关的超高频制栅与数字化图像处理技术[D];清华大学;1999年
7	倪超;定量化多巴酚丁胺超声心动图负荷试验的临床研究[D];中国协和医科大学;1995年
8	张东梅;车载平台变形测量技术的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2006年
9	刘斌;微小三维尺寸自动光学检测系统的关键技术研究[D];天津大学;2010年
10	王保平;基于模糊技术的图像处理方法研究[D];西安电子科技大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	邹洋;基于图像处理的摇表读数系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2	谢虎;基于CCD图像处理的汽车主动安全系统的研究[D];东北大学;2008年
3	裴暑云;基于嵌入式ARM的图像处理的物料分级系统的研究[D];武汉工业学院;2010年
4	张志云;基于图像处理的高精密视觉检测系统[D];广东工业大学;2006年
5	朱杰;数字图像处理技术在螺纹检测中的应用研究[D];河北科技大学;2010年
6	陈帅;基于图像处理的监控时延自动化测试系统[D];南京理工大学;2012年
7	汤婵;图像处理课程学习平台的设计与开发[D];华东师范大学;2010年
8	王娜;基于图像处理的玉米叶部病害识别研究[D];石河子大学;2009年
9	陈亭;基于IDL的水质污染监测可视化设计与实现[D];电子科技大学;2010年
10	崔明;焊缝光纹快速提取算法研究[D];沈阳大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	四川刘焱彬;数码相机的图像处理[N];电子报;2001年
2	长人编译;专家评索尼α100[N];中国摄影报;2006年
3	孙婧;视频图像处理技术在案件中的应用[N];西部法制报;2008年
4	武文;索尼两系列电视新品亮相[N];中国质量报;2008年
5	殷幼芳;印前图像处理技术对印刷质量的影响[N];中国包装报;2005年
6	金彧;★图像处理实用小工具Qimage又推新版[N];中国电脑教育报;2002年
7	;智能化监控对图像处理能力提出更高要求[N];中国电子报;2009年
8	本报记者刘晖;图像处理引擎的威力[N];计算机世界;2003年
9	赵军红　编译;仿生眼睛助盲人重见光明[N];科技日报;2010年
10	王琰;EUV光刻技术将于2009年量产[N];中国计算机报;2004年

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