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《现代科学仪器》 2002年01期
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纳米硬度计及其在微机电系统中的应用

张泰华  杨业敏  
【摘要】:微机电系统 (MEMS)技术的迅速崛起 ,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的NanoIndenterXP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果 ,说明它在微机电系统中的应用

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高东宇;朱瑛;;纳米硬度测量的计算机仿真研究进展[J];林业机械与木工设备;2006年06期
2 张泰华,杨业敏,赵亚溥,白以龙;MEMS材料力学性能的测试技术[J];力学进展;2002年04期
3 张泰华,郇勇,王秀兰;真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能[J];实验力学;2003年01期
4 朱瑛,姚英学,周亮;纳米压痕技术及其试验研究[J];工具技术;2004年08期
5 赵林林,徐晨,霍文晓,赵慧,杨道虹,沈光地;硅超薄可动悬空薄膜的弹性模量测试分析[J];功能材料与器件学报;2005年03期
6 张泰华,郇勇,王秀兰;亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定[J];力学学报;2003年04期
7 张泰华;影响纳米压入测试结果的因素[J];实验力学;2004年04期
8 张泰华,刘东旭,郇勇,王秀兰;基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响[J];中国表面工程;2003年04期
9 江泽慧,余雁,费本华,任海青,张泰华;纳米压痕技术测量管胞次生壁S_2层的纵向弹性模量和硬度[J];林业科学;2004年02期
10 张泰华,郇勇,杨业敏,王秀兰;氮化钛沉积膜的摩擦性能研究[J];摩擦学学报;2003年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 庞海燕;温茂萍;敬仕明;;电容在测量力和位移中的应用[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 陈长安;铝和不锈钢中氦行为研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
2 赵彦如;蜻蜓膜翅结构特征和纳米力学行为及仿生分析[D];吉林大学;2007年
3 王静;数字散斑相关方法及微/纳米尺度热力学测试研究[D];天津大学;2005年
4 李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
5 林江;微孔无机单晶体力学性能的研究[D];太原理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 徐临燕;NEMS测试中若干关键技术的研究[D];天津大学;2006年
2 陈勇忠;铝的氮离子注入研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
3 沈洪源;微构件力学性能片外拉伸测试实验装置研究[D];大连理工大学;2006年
4 蔡晶琦;单晶铜纳米压痕初始塑性变形行为实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 汤忠斌,徐绯,徐武军,李玉龙;多晶铜微小试样的ISDG试验[J];机械科学与技术;2005年05期
2 黄克智,邱信明,姜汉卿;应变梯度理论的新进展(二)——基于细观机制的MSG应变梯度塑性理论[J];机械强度;1999年03期
3 余寿文;微电子机械系统的几个力学问题[J];机械强度;2001年04期
4 陈少华,王自强;应变梯度理论进展[J];力学进展;2003年02期
5 余寿文;复杂微力-电系统的细微尺度力学[J];力学进展;1995年02期
6 顾利忠,左铭旺,苏菲;声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量[J];声学技术;2000年04期
7 魏悦广;固体尺度效应宏微观关联理论和方法的研究进展[J];中国科学基金;2000年04期
8 陈斌;吴新燕;;金龟子外甲壳异型纤维结构分析[J];材料科学与工程学报;2006年05期
9 陈锦祥,倪庆清;甲虫前翅中的三维复合材料结构[J];复合材料学报;2003年06期
10 杨志贤;王卫英;虞庆庆;戴振东;;四种甲虫鞘翅的力学参数测定及微结构观测[J];复合材料学报;2007年02期
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
2 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
3 余雁;人工林杉木管胞的纵向力学性质及其主要影响因子研究[D];中国林业科学研究院;2003年
4 蒋斌;纳米颗粒复合电刷镀镍基镀层的强化机理及其性能研究[D];重庆大学;2003年
5 甘小洪;毛竹茎杆纤维细胞的发育生物学研究[D];南京林业大学;2005年
6 孙霁宇;臭蜣螂表皮纳米力学测试方法和纳米力学行为[D];吉林大学;2005年
7 彭华正;竹子分生组织发育特点以及相关基因的克隆和功能研究[D];浙江大学;2005年
8 吴娜;面向仿生应用的金龟子外型测量及量化分析[D];吉林大学;2006年
9 赵宏伟;尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 虞庆庆;甲虫鞘翅材料力学性能测试及微结构研究分析[D];南京航空航天大学;2006年
2 邵伟;壳聚糖的物化性质及基础应用研究[D];东华大学;2007年
3 胡春光;利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动[D];天津大学;2004年
4 金翠云;基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术的研究[D];天津大学;2003年
5 喻辉;电沉积纳米晶体镍的制备及组织结构与性能的研究[D];福州大学;2005年
6 刘昀强;利用显微激光多普勒技术测量微悬臂梁的机械特性[D];天津大学;2005年
7 沈伟;蜻蜓翅膀结构仿生及新型伸臂空间网格结构体系研究[D];浙江大学;2006年
8 田嘉萌;蜻蜓翅膀结构仿生及新型薄壁空间网格结构体系研究[D];浙江大学;2006年
9 曹玲珍;贵州蜻蜓目种类调查及区系分析[D];贵州大学;2006年
10 张孝松;基于蜻蜓翅翼的仿生微扑翼飞行器机翼的有限元分析[D];哈尔滨工业大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张泰华;纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 张海霞,张泰华,郇勇;纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 李博;徐晨;赵慧;赵林林;霍文晓;宋义超;沈光地;;大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究[J];传感技术学报;2006年05期
4 蒋明;杨福俊;董萼良;郑翔;何小元;;基于高速摄像的双线性振动陀螺力学特性分析[J];光学精密工程;2006年01期
5 汤忠斌,徐绯,徐武军,李玉龙;多晶铜微小试样的ISDG试验[J];机械科学与技术;2005年05期
6 虞益挺;苑伟政;乔大勇;;曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用[J];机械工程学报;2007年03期
7 王君丽,施雯;Cr12MoV钢表面磁控溅射Ti/TiN涂层的摩擦磨损性能研究[J];摩擦学学报;2005年02期
8 于翔,张旭,王成彪,刘兴举,傅玉娜;四面体无定型无氢非晶碳膜的制备及其摩擦学性能研究[J];摩擦学学报;2005年02期
9 苏才钧,吴昊,郭占社,孟永钢,温诗铸;微构件材料力学性能测试方法[J];实验力学;2005年03期
10 虞益挺,苑伟政,乔大勇;微机械薄膜残余应力研究[J];微细加工技术;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 MIAO Qiang~(1,2) CUI Cai-e~1 PAN Jun-de~1 1.Research Institute of Surface Engineering,Taiyuan University of Technology,Taiyuan,030024,China; 2.No.2 Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Taiyuan,030024,China;Test & Evaluation of the Wear Behavior of Magnesium Alloy Coated with TiN by Arc-added Glow Plasma Penetrating Process[A];Proceedings of 6th International Symposium on Test and Measurement(Volume 9)[C];2005年
2 盛国福;;氦离子辐照下金属钯薄膜的微观行为研究[A];中国核学会核材料分会2007年度学术交流会论文集[C];2007年
3 陈樟;苏伟;万敏;;MEMS材料力学性能测试方法综述[A];第二届全国信息与电子工程学术交流会暨第十三届四川省电子学会曙光分会学术年会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
2 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
3 孙正军;竹材的分级与应用[D];中国林业科学研究院;2005年
4 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
5 云海;形貌影栅云纹法和相移干涉全息光弹性法的数字仿真研究[D];大连理工大学;2006年
6 林江;微孔无机单晶体力学性能的研究[D];太原理工大学;2006年
7 韩光平;微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究[D];西安理工大学;2006年
8 王静;数字散斑相关方法及微/纳米尺度热力学测试研究[D];天津大学;2005年
9 赵彦如;蜻蜓膜翅结构特征和纳米力学行为及仿生分析[D];吉林大学;2007年
10 郑立允;表面处理Ti(C,N)基金属陶瓷的结构与性能[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
2 赵广彬;非平衡闭合磁场磁控溅射设备的设计、制造及应用[D];四川大学;2005年
3 门玉涛;微尺度薄膜力学响应的有限元分析[D];天津大学;2005年
4 刘昀强;利用显微激光多普勒技术测量微悬臂梁的机械特性[D];天津大学;2005年
5 张秀艳;基于分子动力学模拟的纳米压痕技术研究[D];西安电子科技大学;2006年
6 朱勐晖;高温环境下微小试样材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2006年
7 虞益挺;MEMS微变形镜设计及其薄膜残余应力控制研究[D];西北工业大学;2006年
8 郏义征;金属铜薄膜的变形行为及其尺度控制效应[D];沈阳工业大学;2006年
9 葛行军;TomaChan装置的改进与利用[D];国防科学技术大学;2005年
10 张华;纳米陶瓷加工性特性仿真及试验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高鹏,陶敏中,袁哲俊,姚英学;纳米压痕技术及其应用[J];中国机械工程;1996年05期
2 高鹏,袁哲俊,姚英学;纳米压痕数字控制系统分析[J];仪器仪表学报;1997年03期
3 高栋,袁哲俊,姚英学,高鹏,朱波;纳米尺度下材料显微硬度测试原理的研究[J];航空制造技术;1998年04期
4 王静,赵冰,顾宁,沈浩瀛,朱纪军,朱健;PMMA薄膜的AFM纳米压痕实验研究[J];航空精密制造技术;2000年02期
5 高栋,姚英学,袁哲俊;纳米级显微硬度试验研究[J];航空精密制造技术;2001年01期
6 黄立业,徐可为,吕坚;类金刚石碳膜在纳米划擦过程中的弹-塑性变形及断裂机制分析[J];金属学报;2001年07期
7 陈吉,汪伟,卢磊,卢柯;纳米压痕法测量Cu的室温蠕变速率敏感指数[J];金属学报;2001年11期
8 黄立业,徐可为,吕坚;类金刚石碳膜的纳米划擦行为及其加载-卸载效应[J];金属学报;2001年12期
9 陈隆庆,赵明暤,张统一;薄膜的力学测试技术[J];机械强度;2001年04期
10 陈光华,吴现成,贺德衍;氮化碳薄膜的结构与特性[J];无机材料学报;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 谢存毅;;纳米压痕技术的测量原理及其在材料科学中的应用[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
2 鄂吉胜;张爱阳;B.D.Beake;J.F.Smith;;多功能Nano Test600:一种新型多功能精密纳米材料性能测试仪[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2001年
3 张泰华;甘翠华;虞钢;杨业敏;苏志霄;梁乃刚;;金属材料激光强化的钠米压痕硬度和模量[A];第五届全国MTS材料试验学术会议论文集[C];2001年
4 冷永祥;陈俊英;杨苹;孙鸿;王进;万国江;黄楠;;金属弧源反应沉积氧化钛薄膜及其性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 宋洪伟;刘志文;张俊宝;吴杰;史弼;熊天英;;40Cr钢的表面纳米化[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
6 龚江宏;彭志坚;苗赫濯;;陶瓷材料纳米压痕卸载曲线的数学描述及其力学分析[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
7 谢存毅;;纳米力学显微镜及其在薄膜材料研究中的应用[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
8 史弼;宋洪伟;王秀芳;张俊宝;李健;刘明源;季思凯;;低碳板条马氏体组织的纳米压痕表征[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
9 张伟刚;赵俊国;王美珍;朱永平;张泰华;;从纳米到微米:碳的微观结构[A];2004年中国纳米技术应用研讨会论文集[C];2004年
10 白朔;吴峻峰;刘树和;徐红军;罗川;周序科;成会明;;各向同性热解炭材料的制备与表征[A];第19届炭—石墨材料学术会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 中国建筑材料科学研究总院 中国建筑材料检验认证中心 包亦望;脆性材料及其构件的安全可靠性与性能评价技术[N];中国建材报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 彭志坚;载能离子陶瓷刀具表面改性研究[D];清华大学;2004年
2 程东;Cu/Ni纳米多层膜微观强化机理及微摩擦学特性的分子动力学模拟[D];大连海事大学;2005年
3 张振宇;基于纳米压痕仪的薄膜力学性能纳米测试与表征研究[D];天津大学;2005年
4 张帆;CMSG低阶应变梯度塑性理论及其应用[D];清华大学;2005年
5 李维火;块体非晶合金及其复合材料微观力学性能研究[D];上海大学;2005年
6 葛俊;牙釉质和骨的分级结构和纳米力学性能研究[D];清华大学;2005年
7 曹永智;嵌段共聚物薄膜自组装有序纳米微结构的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 韩光平;微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究[D];西安理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范艳峰;基于神经网络的材料各向异性研究[D];郑州大学;2002年
2 刘扬;基于纳米压痕技术和有限元仿真的材料塑性性能分析[D];武汉理工大学;2003年
3 姚志强;氟化非晶态碳膜的制备及其性能研究[D];西南交通大学;2004年
4 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
5 许喆;磁控溅射法制备硼薄膜和硼纳米线[D];燕山大学;2005年
6 冀国俊;纳米TiO_2涂膜玻璃的力学性能研究[D];内蒙古工业大学;2005年
7 王晓姹;非晶态碳氮薄膜的微观结构与力学性质[D];天津大学;2005年
8 周红伟;碳氮化合物合成及其涂层制备技术的研究[D];燕山大学;2006年
9 刘金良;超硬Ti基多元氮化物薄膜的制备及性能与理论研究[D];兰州大学;2006年
10 袁晓梅;射频反应磁控溅射制备氮化铜(Cu_3N)薄膜及其性能研究[D];兰州大学;2006年
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