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《现代科学仪器》 2001年04期
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微全分析系统中的MEMS技术

崔大付  
【摘要】:微全分析系统 (μTAS)的研究和应用 ,近年来有了巨大发展。本文将着重叙述基于MEMS技术的 μTAS的研究和发展 ,扼要介绍设计、制造 μTAS的一些新技术、新材料和新方法 ,以及我们在研制 μTAS方面的一些进展

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【引证文献】
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1 张成梅,梅涛,孔德义,张彦;痕量爆炸物的化学、生物、MEMS传感器探测技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 杨蕊,邹明强,冀伟,牟颖,金钦汉;微流控芯片分析系统的最新研究进展[J];生命科学仪器;2004年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 黄懿;单巍;屈海云;刘宝红;孔继烈;杨芃原;;分子筛修饰微流控芯片的研究和应用[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 吴英;低电压电泳芯片的研究[D];重庆大学;2002年
2 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
3 刘素芬;交叉导流式微型混沌混合器的研究[D];浙江大学;2005年
4 文伟力;聚合物微流控芯片的制作、检测及仿真研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 何文波;基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究[D];大连理工大学;2003年
2 沙志宏;数控微流控芯片热压系统研制[D];浙江大学;2004年
3 刘玲;玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制[D];浙江大学;2004年
4 陈默;微全分析系统中微传递成模软光刻技术研究[D];重庆大学;2004年
5 马雯;基于MEMS的微型ICP光谱激发源研究[D];河北大学;2006年
6 何林;面向微流控芯片的微量血清分离方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
【同被引文献】
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1 陈洪,宋立国,程介克;超高速平板通道毛细管电泳[J];分析化学;1997年09期
2 范世福;新形势下我国分析仪器事业的发展[J];分析仪器;1999年03期
3 朱亮,许旭,林炳承;毛细管电泳中的温度效应和温度梯度技术[J];色谱;1999年01期
4 胡深,庞代文,李培标,程介克;毛细管电泳电化学检测[J];分析测试学报;1997年06期
5 周仲柏,刘炯权;硅一体化薄膜微电极器件及其应用[J];武汉大学学报(自然科学版);1995年02期
6 汤扬华,周兆英,叶雄英,冯焱颖,金亚;毛细管电泳芯片的制造[J];微细加工技术;2001年01期
7 赵湛,崔大付,于中尧,王利;基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究[J];传感器技术;2001年06期
8 王景雪,孙毅,梁爱华;扩增未知序列DNA片段的PCR技术研究进展[J];生物工程进展;2001年01期
9 殷学锋,方群,凌云扬;微流控分析芯片的加工技术[J];现代科学仪器;2001年04期
10 何文波,闫卫平,郭吉洪;PCR生物芯片微加工技术的研究[J];仪表技术与传感器;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 韦鹤;王晓东;刘冲;廖俊峰;;塑料微流控芯片的超声波焊接键合的仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
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1 卢著敏;偏心螺旋环流混合器内的混沌混合[D];浙江大学;2002年
2 王瑞金;微通道中流体扩散和混合机理及其微混合器的研究[D];浙江大学;2005年
3 刘军山;PMMA集成毛细管电泳芯片制作工艺研究[D];大连理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 裴强;基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
2 刘于;基于MEMS的微型电磁极化继电器设计[D];电子科技大学;2003年
3 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
4 温敏;塑料微流控芯片微通道热压成形及键合工艺研究[D];大连理工大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘岗,温志渝,李霞,张流强,彭述成;影响低电压电泳芯片分离的主要因素[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 贺永;聚合物微热压过程理论及其装备技术研究[D];浙江大学;2007年
2 张鹏;微流控芯片中多物理场耦合问题的数值模拟研究[D];吉林大学;2006年
3 刘伟;化学发光微流动注射分析芯片的研究[D];西南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 任峰;低电压电泳过程的参数优化和分析效能的模拟分析[D];重庆大学;2007年
2 朱为维;电泳芯片非接触电导检测器的研究[D];重庆大学;2007年
3 李光;OLED外量子效率的研究[D];电子科技大学;2006年
4 高晓光;用于微流控芯片的压电薄膜微泵研究[D];大连理工大学;2008年
5 佘东生;聚合物微结构热压成形设备的温度控制系统[D];大连理工大学;2006年
6 陈韵晴;一维微流控蛋白质微珠阵列的制备、优化及应用[D];湖南大学;2006年
7 周鹏;微流控芯片与计算机间通信模型的研究[D];东华大学;2007年
8 郭媛媛;PLC型多模光功率分配器的设计与制作[D];浙江大学;2008年
【相似文献】
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1 鲍敏杭;第六届国际固态传感器与执行器会议介绍[J];仪表技术与传感器;1991年05期
2 吴桂君,颐文琪;微电子机械系统的研究现状[J];电工电能新技术;1994年02期
3 崔天宏,王立鼎,吕琼莹,马建旭,梁静秋;微电子机械系统中的压电薄膜微马达[J];光学精密工程;1995年04期
4 赵志诚;TM550059发展中的传感器技术[J];科技情报开发与经济;1995年06期
5 朱毅麟;航天器微型化的新突破──微电子机械系统[J];中国航天;1996年10期
6 江燕;航天器微型化的新突破——“微电子机械系统”[J];国际太空;1996年06期
7 马建旭,王立鼎,吴一辉;微电子机械系统在生物医学领域中的应用[J];光学精密工程;1996年01期
8 崔天宏,王立鼎,吕琼莹;微型运载系统构成原理的研究[J];光学精密工程;1996年03期
9 赵新,陆斌,卢桂章;微机械的虚拟现实系统体系结构[J];机器人;1997年06期
10 揭景耀;微电子机械系统装配的新方法[J];新技术新工艺;1997年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 朱健;林立强;林金庭;吴汉俊;陈新宇;;宽带微波MEMS开关[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2 刘燕翔;任天令;刘理天;;采用PZT薄膜的射频滤波器研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
3 章彬;黄庆安;李拂晓;林金庭;;一种新型的单晶硅扭振式谐振器的初步研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
4 孙克豪;胡宇群;王立森;赵亚溥;;微电子机械系统的计算机辅助设计[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
5 赵新;李亚威;李明;卢桂章;刘景泰;张蕾;王晓娜;;虚拟微电子工艺过程研究[A];中国图象图形学会第十届全国图像图形学术会议(CIG’2001)和第一届全国虚拟现实技术研讨会(CVR’2001)论文集[C];2001年
6 陈宝;施进浩;;微电子机械系统中的超微电机[A];第七届中国小电机技术研讨会论文集[C];2002年
7 王万录;廖克俊;王永田;张毅;;碳纳米管膜的压阻效应及其性质的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
8 范正翥;陈平;;硅微惯性器件研制的现况和一些问题的探讨[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
9 田文超;贾建援;;MEMS粘附问题研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
10 田文超;贾建援;;MEMS薄膜应力研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
2 记者 邹淑英;后基因组时代的毛细管电泳技术[N];科学时报;2000年
3 中国科学院院士 方肇伦;抓住机遇 全力攻关[N];科学时报;2000年
4 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
5 记者 亢宗兵 陈希;“重庆光谷”破土而出[N];重庆商报;2001年
6 尚黎华;以光速连接网络[N];中国计算机报;2001年
7 中国科学院院士 黄本立;仪器小型化不是时髦化[N];科学时报;2001年
8 ;新型传感器研发呈现五大特点[N];中国电子报;2002年
9 ;飞速发展的微流体芯片[N];中国医药报;2002年
10 记者张冬素通讯员单泠;700万元打造“芯片实验室”[N];浙江日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈继锋;微通道电泳芯片及其检测系统的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
2 陈翔;微流路医学诊断芯片的制作及研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
3 王明;聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
4 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
5 孙国祥;毛细管电泳基础理论与方法学及应用研究[D];沈阳药科大学;2003年
6 于景荣;质子交换膜与MEMS微型燃料电池的研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2003年
7 贾志舰;微流控芯片加工和试样引入技术的研究[D];浙江大学;2005年
8 蔡增轩;微流控芯片液液萃取系统的研究[D];浙江大学;2005年
9 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
10 孔泳;在聚碳酸酯微流控芯片上制备集成化微电极及其应用于芯片毛细管电泳安培检测系统的研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
2 黄全平;高量程微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
3 李忻;低量程电容式压力传感器及相关技术研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
4 陈超;线性阵列电极电控生物芯片及其控制系统的研制[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
5 梁宁;微全分析系统中共焦激光诱导荧光检测器的研制[D];清华大学;2003年
6 黄乐;用FDTD方法分析近场测量的S波段单脊波导天线及MEMS相移器的遗传算法优化[D];华东师范大学;2002年
7 汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
8 刘大震;硅基单反应腔PCR生物芯片的设计与制作[D];大连理工大学;2004年
9 周天;PCR芯片的原理、方法和应用研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
10 陈默;微全分析系统中微传递成模软光刻技术研究[D];重庆大学;2004年
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