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《现代仪器》 2005年03期
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纳米级电容测微系统的研究

史庆伟  周涛  郑义忠  张国雄  
【摘要】:本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较。根据原理模型,给出仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析,并提出相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率最小达到0 1nm ,测量范围±2~±5 0 μm ,满量程非线性度优于0 5 %。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度的动、静态微位移测量及纳米定位

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【引证文献】
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1 张铫;王宝光;刘力双;李亚标;;基于电容传感器的熔融金属液位检测系统[J];传感技术学报;2006年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 吴雄伟;大地水平位移测量仪控制系统的研究[D];中国地质大学;2007年
【同被引文献】
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1 张晞,王妍,张春熹,王瑾;光纤陀螺光源驱动技术[J];北京航空航天大学学报;2002年03期
2 仝达伟,张平之,吴重庆,盛新志;滑坡监测研究及其最新进展[J];传感器世界;2005年06期
3 张继贤;3S支持下的滑坡地质灾害监测、评估与建模[J];测绘工程;2005年02期
4 王强,梁淑华,范志康;CuCr系合金材料制造工艺的新进展[J];材料导报;2000年08期
5 范淑华,吴书朝,罗俊;论折叠摆对地壳振动的响应特性[J];地壳形变与地震;1997年02期
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9 高改萍,李双平,苏爱军,张京生,崔政权;测量机器人变形监测自动化系统[J];人民长江;2005年03期
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3 钟先信;;高精度主轴回转精度的测量[J];计量技术;1982年05期
4 陆德基;文永仙;;精密圆刻度机主轴双周径向晃动量的测量和计算[J];光学仪器;1983年02期
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7 王永洪;赵鸿林;侯文郁;郑义中;;电容传感器在测量球面时的 误 差 分 析[J];宇航计测技术;1984年06期
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 赵晋云;智能电容测微仪系统关键技术的研究[D];天津大学;2005年
2 钱征宇;非接触式高度差测试仪的研制[D];天津大学;2005年
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