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《现代技术陶瓷》 2003年01期
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金钢石膜表面抛光与平整技术进展

万静  苟立  冉均国  
【摘要】:综述了金刚石膜抛光与平整技术 ,例如研磨、热化学抛光、离子束抛光、化学机械抛光、等离子抛光、激光抛光等方法的优点与不足 ,重点分析厚度较小 (约几微米 )的金刚石薄膜抛光与平整的可行途径。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 姬彤;金刚石膜在红外透波窗口中的应用基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 付一良,吕反修,王建军,钟国仿,王亮,杨让;稀土金属抛光金刚石膜技术[J];高技术通讯;1996年01期
2 顾长志,金曾孙,王玉光,庄容书,吕宪义,赵树堂,邹广田;激光修饰金刚石膜的表面抛光技术[J];科学通报;1997年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 顾长志,金曾孙,吕宪义,邹广田,屠玉珍,方祖捷;使用金刚石膜热沉的半导体激光器特性研究[J];半导体学报;1997年11期
2 邓福铭,李文铸,齐仲甫,李亚军;CVD金刚石厚膜刀具材料研究进展[J];材料科学与工程;2001年02期
3 郭钟宁,王成勇,刘晓宁,匡同春;CVD金刚石膜电火花抛光的机理研究[J];电加工与模具;2001年04期
4 郭钟宁,王成勇,张凤林,匡同春,魏昕;CVD金刚石膜抛光技术[J];工具技术;1999年11期
5 尚勇,赵庆勋,董国义,董丽芳;表面光滑的金刚石薄膜的合成[J];河北大学学报(自然科学版);2002年03期
6 吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅;大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J];红外技术;2003年04期
7 匡同春,王晓初,王成勇,刘正义;CVD金刚石厚膜刀具的研究进展与应用现状[J];金刚石与磨料磨具工程;2000年02期
8 郭钟宁,王成勇,匡同春,王晓初,黄志刚;电蚀抛光CVD金刚石膜的实验研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2000年06期
9 王伊卿,吕反修;金刚石气相沉积硬膜在工具表面的应用与发展[J];金刚石与磨料磨具工程;2002年01期
10 陈晓虎,王珉;金刚石的性能与应用[J];机械设计与制造工程;1997年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 徐峰;CVD金刚石厚膜的加工技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 陈君;电火花抛光CVD金刚石膜研究[D];广东工业大学;2002年
3 姚强;单晶金刚石弹性浮动研磨技术研究[D];广东工业大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨国伟;毛友德;;金刚石薄膜的红外增透性[J];半导体光电;1992年02期
2 杨国伟;;应用于红外光学中的金刚石薄膜[J];半导体光电;1993年01期
3 王莎莎;陈兢;栗大超;黄玉波;李志宏;;基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术[J];半导体学报;2006年06期
4 方亮,王万录,王健,廖克俊,丁培道;金刚石薄膜内应力研究现状[J];材料导报;1999年06期
5 方容川,常超,廖源,叶祉渊,薛剑耿,王冠中,马玉蓉,尚乃贵,牛晓滨,王代冕,吴气虹,揭建胜;计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用[J];材料导报;2001年01期
6 戚学贵,陈则韶,王冠中;热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究[J];材料工程;2001年11期
7 李红轩,胡丽天,陈建敏;化学气相沉积金刚石薄膜的摩擦学性能研究进展[J];材料科学与工程;2003年01期
8 何雪梅;天然金刚石的红外光谱特征及其分类[J];地质与勘探;2000年04期
9 熊礼威;汪建华;满卫东;;MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜[J];辽宁石油化工大学学报;2006年04期
10 刘志平;王加春;杨育林;;类金刚石膜的力学性能及其工具应用[J];工具技术;2005年12期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 郝天亮;热丝化学气相沉积制备超薄纳米金刚石膜研究[D];浙江大学;2006年
2 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 徐峰;CVD金刚石厚膜的加工技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 彭文武;CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
3 朱胤;EACVD金刚石膜设备的控制技术及实验研究[D];南京航空航天大学;2004年
4 刘刚;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];辽宁工程技术大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李惠琪,钟国仿,吕反修,杨让;DC PJ-CVD等离子体炬通道中的电弧行为[J];北京科技大学学报;1994年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梅天庆;鱼光楠;贺利敏;裴玉汝;;离子液体AlCl_3-[bmim]Cl中电沉积铝的研究[J];中国腐蚀与防护学报;2011年04期
2 ;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 苟立;阎双峰;冉均国;邓橙;;梯度硬质合金基体上制备金刚石膜的实验研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
2 李望;;金刚石膜[A];天津市电镀工程学会第八届学术年会论文集[C];1998年
3 唐伟忠;于盛旺;李成明;陈广超;吕反修;;金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(上册)[C];2010年
4 尹龙承;黄海亮;何宪阳;王丹;彭鸿雁;陈玉强;;沉积温度对直流等离子体CVD法在硬质合金表面制备金刚石薄膜的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
5 吕反修;;化学气相沉积(CVD)金刚石大单晶研发现状及应用前景[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 记者 周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
2 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
3 金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李多生;大尺寸金刚石厚膜球冠制备机理与工艺研究[D];南京航空航天大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 张海磊;金刚石膜电极在污水制氢中的应用研究[D];天津理工大学;2007年
2 包忠;金刚石三维生长模式研究[D];兰州大学;2011年
3 陶隆凤;化学气相沉淀(CVD)法合成单晶体金刚石的技术探索[D];石家庄经济学院;2010年
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