大幅面超精密图形发生器X－Y工作台位置补偿校正

【摘要】：在超精密控制中，一般采用双频激光多卜勒测量系统作为位置测量元件．因存在机架、材料膨胀及材料、激光死区和环境空气变化，控制软件必须对此进行补偿校正．文中分析并推导出了有关的Ｘ－Ｙ工作台位置补偿校正公式，并给出了进行实际应用的例子．

【作者单位】：西安电子科技大学电子工程学院
【分类号】：TP202.2

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前10条

1	陈明,郭彦珍,李涤尘,赵念念;一种用于曲面快速测量的激光片光源的研究[J];中国机械工程;2000年10期
2	黄克林;激光干涉测量较小位移的实验研究[J];松辽学刊(自然科学版);1997年01期
3	吴玉斌,szu.edu.cn,胡晓朋,朱勤;全自动光栅尺激光外差动态检测系统[J];深圳大学学报(理工版);2000年01期
4	姬扬,张静娟,姚德成,陈岩松;用于半导体激光器光束整形的衍射光学元件的设计研究[J];物理学报;1996年12期
5	李松明,徐荣甫,赵长明;智能激光测距机性能测试系统[J];红外与激光工程;2001年04期
6	李岩,孟祥旺,章恩耀;一种新型激光扫描式大工件孔—孔同轴度测量仪[J];激光与红外;2000年05期
7	郭向阳,李向正;用衍射方法测量微小直径[J];洛阳工业高等专科学校学报;2002年02期
8	李东光,张国雄;用预抽气真空腔法测量及补偿空气折射率的研究[J];光学精密工程;2001年01期
9	朱宝亮，刘莉;激光扫平自动控制系统[J];光学技术;1996年03期
10	邱宗明,郭彦珍,李信;激光干涉仪应用于无导轨测距的研究[J];光子学报;2001年07期

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	徐晓秋;机器视觉球面孔位快速精密测量系统的研究[D];四川大学;2006年
2	陈贵敏;振动环境下光束指向稳定及其光机电一体化关键技术[D];西安电子科技大学;2005年
3	卢荣胜;视觉准直在线测量技术研究[D];天津大学;2000年
4	周维虎;大尺寸空间坐标测量系统精度理论若干问题的研究[D];合肥工业大学;2000年
5	吴新民;光干涉测试中的抗振技术研究[D];南京理工大学;2002年
6	苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
7	田云辉;基于双纵模双频激光干涉测量的位移传感器自动检定系统的研究[D];四川大学;2003年
8	齐永岳;大范围二维纳米检测系统的设计研究[D];天津大学;2004年
9	杨永跃;异形曲面视觉坐标在线热检系统研究[D];合肥工业大学;2004年
10	吴栋;移相干涉仪自适应抗振技术研究[D];南京理工大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	郑定根;基于激光视觉的焊缝跟踪系统的研究[D];南京理工大学;2007年
2	杜云刚;光镊中粒子的辐射捕获力的研究[D];西安电子科技大学;2006年
3	岳兆阳;对称共路外差干涉磁头飞行高度测量系统的研究[D];清华大学;2006年
4	王吉晖;图像测量调焦系统的研究[D];西安理工大学;2001年
5	赵敏;一种跟踪式新型表面形状测头的研究[D];西安理工大学;2002年
6	赵艳;ILD型智能激光衍射光强测量仪[D];重庆大学;2002年
7	冯辉;3米滚珠丝杠副综合导程测量仪的改造设计及仪器误差分析、补偿[D];南京理工大学;2002年
8	季立江;炮管轴线直线度检测仪研究[D];四川大学;2003年
9	陈嘟;一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统的研制[D];四川大学;2003年
10	李民;激光测振在振动计量中的若干技术问题的研究[D];浙江大学;2003年

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前4条

1	屈胜利,朱欣志,陈怀琛;大幅面超精密图形发生器X－Y工作台位置补偿校正[J];西安电子科技大学学报;1996年03期
2	董中华,杨杰;通用数控系统控制器[J];计算机辅助设计与制造;1997年10期
3	吴裕斌,曹丹华;CCD成像器件的不均匀性测试[J];华中理工大学学报;1998年08期
4	刘志生;S7-200PLC新一代CPU的硬件特点[J];制造技术与机床;1999年10期

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