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Ge_xSi_(1-x)/Si 超晶格 PIN 波导探测器电输运过程分析

李娜刘恩科李国正许雪林

【摘要】：文章定性和定量地分析了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器的电输运过程，具体说明了量子效率、光电流、频率响应带宽等重要参数的物理意义．并将理论分析与实验结果进行比较，结果表明，两者符合得较好．

【作者单位】：西安交通大学
【基金】：国家自然科学基金
【分类号】：TN256

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