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《西安交通大学学报》 2014年06期
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面向集成电路的大尺寸单晶石墨烯的可控制备方法

李昕  张娟  李全福  楚朋志  王小力  刘卫华  
【摘要】:提出一种采用化学气相沉积工艺进行大面积单晶结构石墨烯岛的可控制备方法。在Ar环境中通过控制退火时间、生长温度来控制石墨烯岛的成核密度和生长形态;采用FeCl3溶液对衬底表面预处理并调控H2与CH4的流量比来改善石墨烯岛的分形;延长生长时间来扩大单晶石墨烯岛尺寸。实验结果表明:该制备方法可以控制石墨烯具有四边形、六边形、搭叠形等不同形态,可以控制四边形石墨烯由狭长型、燕翅型、蝴蝶型最终过渡到饱满的无分形结构的正方形形态,可以将六边形石墨烯岛尺寸从几十微米扩大到200微米以上,并且得到双层搭叠型六边形石墨烯;采用该方法生长出来的单晶石墨烯可以避免连续多晶石墨烯的边界散射效应,保持较高的迁移率,且尺寸较大,具有单原子层结构和不同的生长形态,解决了集成电路所需要的百微米以上量级的单晶结构、晶格取向一致的石墨烯的制造问题。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李昕;张永;殷德民;王小力;刘卫华;;采用紧束缚格林函数法研究原子吸附石墨烯纳米带电子输运[J];西安交通大学学报;2015年02期
2 田康;刘卫华;李昕;魏仙琪;王小力;;铜尖表面石墨烯原位生长工艺及其场发射特性[J];西安交通大学学报;2015年08期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 彭黎琼;谢金花;郭超;张东;;石墨烯的表征方法[J];功能材料;2013年21期
2 厉巧巧;韩文鹏;赵伟杰;鲁妍;张昕;谭平恒;冯志红;李佳;;缺陷单层和双层石墨烯的拉曼光谱及其激发光能量色散关系[J];物理学报;2013年13期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈雷明;徐斌;张新月;张燕;张理涛;曾凡光;张锐;;磁控溅射制备多层石墨烯及其微观摩擦学性能[J];功能材料;2014年15期
2 冯伟;张建华;杨连乔;;抛光铜衬底表面形貌对CVD制备石墨烯的影响[J];功能材料;2015年01期
3 黄丽;刘杰;肖啸;石瑞英;高福华;杜惊雷;;自组装高导电石墨烯薄膜的光谱特性表征[J];光散射学报;2014年04期
4 喻佳丽;辛斌杰;;铜基底化学气相沉积石墨烯的研究现状与展望[J];材料导报;2015年01期
5 黄振楠;寇生中;金东东;杨杭生;张孝彬;;氢氧化镍/还原氧化石墨烯复合物的超级电容性能[J];功能材料;2015年05期
6 张学敏;张立国;钮应喜;鞠涛;李哲;范亚明;杨霏;张泽洪;张宝顺;;外延生长碳化硅-石墨烯薄膜的制备及表征研究[J];功能材料;2015年04期
7 吕生华;崔亚压;杨文强;周庆芳;孙世彧;;氧化石墨烯与甲基丙烯酸和烯丙基磺酸钠共聚物的制备与性能[J];功能材料;2015年06期
8 吕生华;杨文强;崔亚亚;周庆芳;孙世彧;;氧化石墨烯与铬(Ⅲ)配合物的制备与鞣制性能[J];功能材料;2015年07期
9 尚玉;张东;刘艳云;刘泳;;电化学还原法制备石墨烯:制备与表征[J];功能材料;2015年16期
10 蔡文婧;梁滔;魏绪玲;龚光碧;高磊;汪冬冬;;石墨烯补强乳液聚合橡胶研究进展[J];功能材料;2015年16期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 厉巧巧;韩文鹏;赵伟杰;鲁妍;张昕;谭平恒;冯志红;李佳;;缺陷单层和双层石墨烯的拉曼光谱及其激发光能量色散关系[A];第十七届全国光散射学术会议摘要文集[C];2013年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 黄璐;石墨烯基智能材料的制备及应用研究[D];南开大学;2013年
2 冯雪飞;金属/有机界面结构及其与有机电子和光电器件性能间关系的研究[D];中国科学技术大学;2014年
3 张有为;纤维素微球及氧化石墨的辐射功能化改性研究[D];北京大学;2014年
4 王睿;基于纳米半导体构建的电化学和光电化学传感器用于环境污染物监测研究[D];华中科技大学;2014年
5 于国栋;低维碳材料电子自旋极化特性的理论研究[D];吉林大学;2015年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 蔡晓岚;铜表面化学气相沉积石墨烯的研究[D];太原理工大学;2013年
2 兖少锋;雷竹叶生物炭制备及其对微囊藻毒素MCLR吸附作用[D];浙江大学;2014年
3 田军军;催化金属表面结构和碳源对CVD法合成石墨烯的影响研究[D];重庆大学;2014年
4 刘志涛;不同基底上CVD法制备石墨烯薄膜的工艺及结构表征[D];太原理工大学;2014年
5 刘凤丹;柔性链段和功能化石墨烯改性环氧树脂的研究[D];湖南大学;2014年
6 苏丹;氮化铜和铜基底上化学气相沉积法制备石墨研究[D];南京邮电大学;2014年
7 张志强;CVD法制备石墨烯的工艺表征及应用研究[D];华东理工大学;2015年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 王文荣;周玉修;李铁;王跃林;谢晓明;;高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究[J];物理学报;2012年03期
2 李海雁,窦菊英;腐蚀阴极尖端的新方法[J];真空电子技术;2004年06期
3 邓小清;杨昌虎;张华林;;B/N掺杂对于石墨烯纳米片电子输运的影响[J];物理学报;2013年18期
4 李彪;徐大海;曾晖;;边缘重构对锯齿型石墨烯纳米带电子输运的影响[J];物理学报;2014年11期
5 李昕;郭士西;宋辉;李全福;师俊杰;方明;王小力;刘卫华;;石墨烯晶体管研究进展[J];西安交通大学学报;2014年10期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 姜丽丽;鲁雄;;石墨烯制备方法及研究进展[J];功能材料;2012年23期
2 陈东猛;;在不同应力下石墨烯中拉曼谱的G峰劈裂的变化[J];物理学报;2010年09期
3 康朝阳;唐军;李利民;闫文盛;徐彭寿;韦世强;;SiO_2/Si衬底上石墨烯的制备与结构表征[J];物理学报;2012年03期
4 徐跃杭;国云川;吴韵秋;徐锐敏;延波;;基于石墨烯谐振沟道晶体管的高频纳米机电系统信号读取研究[J];物理学报;2012年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;科学家开发出新型石墨烯材料[J];光机电信息;2010年04期
2 史永胜;李雪红;宁青菊;;石墨烯的制备及研究现状[J];电子元件与材料;2010年08期
3 袁明文;;石墨烯基电子学研究进展(续)[J];微纳电子技术;2010年11期
4 ;石墨烯结构或具有7个潜在缺陷[J];光机电信息;2011年06期
5 ;业界动态[J];传感器世界;2011年03期
6 ;科学家将石墨烯聚光能力提高20倍[J];光机电信息;2011年09期
7 陈蕾;闫雨桐;Terence K S W;王利光;;石墨烯带长度变化与电子结构和电子输运的关系[J];固体电子学研究与进展;2012年01期
8 江兴;;中科院石墨烯研究取得新进展[J];半导体信息;2012年01期
9 关磊;;石墨烯的制备与应用研究进展[J];电子元件与材料;2012年04期
10 吴琪乐;;超材料石墨烯开发取得重大突破 克服了石墨烯技术应用[J];半导体信息;2012年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵福刚;李维实;;树枝状结构功能化石墨烯[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
2 帅志刚;龙孟秋;唐令;王冬;;纳米带状石墨烯与石墨炔的电子结构与电荷输运[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
3 王琳;赵立峰;孙淮;;分子动力学模拟计算搀硅石墨烯的热传导系数[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
4 刘吉洋;郭少军;翟月明;李丹;汪尔康;;肉豆蔻酰磷脂酰甘油保护石墨烯的制备[A];中国化学会第27届学术年会第09分会场摘要集[C];2010年
5 刘云圻;魏大程;狄重安;武斌;郭云龙;于贵;;少数层石墨烯的可控制备和电性能研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
6 张佳利;沈广霞;郭守武;;化学还原的单层氧化石墨烯的电学性质研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
7 付磊;刘楠;戴博雅;刘迅;张朝华;刘忠范;;石墨烯的表面控制生长[A];中国化学会第27届学术年会中日青年化学家论坛摘要集[C];2010年
8 张智军;张立明;黄洁;夏景光;;基于氧化石墨烯的新型功能纳米载体的制备及其应用研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
9 刘洪涛;郑健;刘云圻;于贵;朱道本;;氨水和氨水蒸汽还原法制备石墨烯[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年
10 陈永胜;黄毅;马延风;王燕;许艳菲;张小岩;梁嘉杰;吕歆;;可溶性石墨烯材料的宏量制备及其器件应用[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘霞;韩用石墨烯制造出柔性透明触摸屏[N];科技日报;2010年
2 记者 王艳红;“解密”石墨烯到底有多奇妙[N];新华每日电讯;2010年
3 本报记者 李好宇 张芃捷(实习) 特约记者 李季;石墨烯未来应用的十大猜想[N];电脑报;2010年
4 证券时报记者 向南;石墨烯贵过黄金15倍 生产不易炒作先行[N];证券时报;2010年
5 本报特约撰稿 吴康迪;石墨烯 何以结缘诺贝尔奖[N];计算机世界;2010年
6 记者 谢荣 通讯员 夏永祥 陈海泉 张光杰;石墨烯在泰实现产业化[N];泰州日报;2010年
7 本报记者 纪爱玲;石墨烯:市场未启 炒作先行[N];中国高新技术产业导报;2011年
8 周科竞;再说石墨烯的是与非[N];北京商报;2011年
9 王小龙;新型石墨烯材料薄如纸硬如钢[N];科技日报;2011年
10 本报记者 刘霞;石墨烯是神奇材料吗?[N];科技日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王金华;类石墨烯纳米片和模型体系的理论研究[D];吉林大学;2010年
2 廖清;石墨烯及其相关结构的生长和性质研究[D];浙江大学;2011年
3 谢月娥;石墨烯纳米结构电子输运的调制[D];湘潭大学;2011年
4 袁建辉;石墨烯中的电子及其输运性质的研究[D];华中科技大学;2012年
5 徐华;石墨烯界面电荷转移的拉曼光谱研究[D];兰州大学;2012年
6 徐宇曦;功能化石墨烯的制备、组装及其应用[D];清华大学;2011年
7 康朝阳;碳化硅、蓝宝石与铜箔表面石墨烯的生长和表征研究[D];中国科学技术大学;2012年
8 李占成;高质量石墨烯的可控制备[D];中国科学技术大学;2012年
9 吕伟;石墨烯的宏量制备、可控组装及电化学性能研究[D];天津大学;2012年
10 江林海;石墨烯负载纳米复合材料的制备及其性质研究[D];吉林大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 同鑫;石墨烯的制备及其复合电极材料储锂性能研究[D];西北大学;2011年
2 吕翔;石墨烯的制备及高分子改性[D];武汉理工大学;2011年
3 杜欣;可流动石墨烯的制备及其特性研究[D];武汉理工大学;2011年
4 谢声意;还原石墨烯氧化物的第一性原理研究[D];吉林大学;2011年
5 邹燕;功能化石墨烯气敏特性的理论研究[D];曲阜师范大学;2011年
6 郭晓晓;单层石墨烯超晶格中的输运特性和散粒噪声[D];河北师范大学;2011年
7 韩超群;石墨烯在不平整表面上吸附的分子动力学研究[D];华东师范大学;2011年
8 周静;氧化石墨烯和石墨烯的制备、表征与应用[D];南京大学;2011年
9 王宽;石墨烯的室温简易制备及其电容性能研究[D];陕西师范大学;2011年
10 廖旭;石墨烯摩擦性质研究[D];电子科技大学;2011年
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