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《微细加工技术》 2007年04期
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电化学沉积Cu牺牲层工艺用于制备面外运动电热微驱动器

张丹  丁桂甫  蔡豪刚  
【摘要】:用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术。该工艺具有工艺流程简单、牺牲层易获取、释放简单、腐蚀选择性好、结构保存完整等优点。通过退火去除残余应力、使用丙酮和F113进行悬空结构释放等方法改进工艺,可以得到理想的器件。证明电化学沉积Cu是比较好的制备悬空结构的牺牲层工艺。

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