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《微细加工技术》 2001年01期
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压阻式金刚石微压力传感器

莘海维  张志明  沈荷生  戴永兵  万永中  
【摘要】:工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传感器适用于勘探、航空航天以及汽车工业。此外 ,还阐述了金刚石微压力传感器的研究现状 ,并进一步指出目前存在的问题。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 莘海维,张志明,戴永斌,沈荷生;压阻式金刚石压力传感器的优化设计[J];传感器技术;2002年03期
2 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 周灵平,靳九成,李绍禄,王长河;金刚石薄膜半导体研究进展及其应用前景[J];半导体技术;1997年04期
2 范建兴,陈启秀;金刚石薄膜半导体器件[J];半导体情报;1998年05期
3 王万录,张振刚,廖克俊,吴彬,张世斌,廖梅勇;定向局部异质外延生长的p型金刚石膜压阻效应的研究[J];半导体学报;1997年06期
4 孙以材,高振斌,贾德贵,石俊生,杨瑞霞;压力传感器芯片版图设计中若干重要问题(1)[J];半导体杂志;1999年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 孔春阳,王万录,廖克俊,马勇,方亮;CVD金刚石膜的压阻及其温度特性[J];重庆师范学院学报(自然科学版);2003年04期
3 孙再吉;金刚石半导体器件的研究与展望[J];电子工程师;2000年02期
4 方亮,王万录,丁培道,廖克俊,王健;P型金刚石薄膜压阻效应的理论研究[J];重庆大学学报(自然科学版);2000年01期
5 宫建红,李木森,许斌,尹龙卫,崔建军;Ⅱb型金刚石单晶的制备和半导体特性研究进展[J];功能材料;2003年06期
6 陈德英,茅盘松,张旭,王强;一种压阻式高g值加速度传感器[J];固体电子学研究与进展;2004年03期
7 王必本,王万录,廖克俊,肖金龙;激光法制备金刚石膜的参数对其质量的影响[J];广西师范大学学报(自然科学版);2000年S2期
8 李嘉席,孙军生,陈洪建,张恩怀;第三代半导体材料生长与器件应用的研究[J];河北工业大学学报;2002年02期
9 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中;高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器[J];化学世界;2000年S1期
10 方亮,王万录,丁培道,廖克俊,王健;P型多晶金刚石薄膜压阻效应的研究[J];中国科学(A辑);1999年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 侯爱国;廖克俊;孙晓楠;张毅;冯明海;郭伟;;基于碳纳米管高分子导电膜的压阻效应[A];海峡两岸第二届工程材料研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 马兴伟;高速摩擦抛光金刚石膜用FeAl基合金抛光盘的制备及性能研究[D];大连理工大学;2011年
2 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
3 王蜀霞;有机半导体LPPP发光性质及相关问题研究[D];重庆大学;2002年
4 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
5 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
6 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
7 廖晓明;新型金刚石薄膜辐射剂量计的基础研究及设计[D];四川大学;2006年
8 李源;MEMS压阻式三维微触觉测头及其在纳米测量机上的应用研究[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴如兆;高频冲击波测量专用压力传感器研究[D];复旦大学;2010年
2 刘向红;n型掺杂金刚石的第一性原理研究[D];山东大学;2011年
3 李建伟;硼掺杂金刚石膜电极电氧化降解对氯苯酚废水[D];浙江工业大学;2010年
4 祁慧;两种SiGe/Si快速开关功率二极管新结构的模拟与理论分析[D];西安理工大学;2003年
5 褚向前;EACVD掺硼金刚石膜制备及加工性研究[D];南京航空航天大学;2004年
6 吕海涛;蓝宝石衬底与GaN外延层中缺陷与杂质的研究[D];河北工业大学;2004年
7 吕志勇;活性涂层钎料的制备及其钎焊金刚石膜的研究[D];河北工业大学;2004年
8 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
9 刘刚;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];辽宁工程技术大学;2006年
10 邓琼;基于高G微加速度计的自适应钻地引信系统研究[D];电子科技大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周灵平,靳九成,李绍禄,王长河;金刚石薄膜半导体研究进展及其应用前景[J];半导体技术;1997年04期
2 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
3 范建兴,陈启秀;金刚石薄膜半导体器件[J];半导体情报;1998年05期
4 李国华,傅绮英,吕红,王大为;重掺杂高补偿锗的电导和磁阻[J];半导体学报;1987年02期
5 易明銧;硅禁带宽度的温度关系[J];半导体学报;1987年04期
6 俞志毅,黄叶肖,沈学础;硅价带自旋-轨道分裂的高分辨率光电导谱测定[J];半导体学报;1989年05期
7 王万录,张振刚,廖克俊,吴彬,张世斌,廖梅勇;定向局部异质外延生长的p型金刚石膜压阻效应的研究[J];半导体学报;1997年06期
8 郑怀礼;微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展[J];表面技术;1997年03期
9 王文生;InSb磁阻元件与传感器的进展[J];传感器技术;1994年02期
10 涂有瑞;飞速发展的磁传感器[J];传感器技术;1999年04期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张淑芳;方亮;付光宗;谈笑铃;董建新;陈勇;高岭;;导热涂层对LED散热性能的影响[J];半导体光电;2007年06期
2 桂阳海;牛连杰;韩勤会;张林森;崔瑞立;冯辉;;超硬磨料表面处理研究进展[J];电镀与涂饰;2010年07期
3 满卫东;谢鹏;吴宇琼;孙蕾;汪建华;;关于CVD金刚石表面图形化的研究进展[J];真空与低温;2008年02期
4 满卫东;陈朋;吴宇琼;吕继磊;董维;朱金凤;;氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究[J];真空与低温;2011年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 陈朋;高硼掺杂金刚石薄膜(Si/BDD)的制备及电化学性能的研究[D];武汉工程大学;2011年
2 姚成志;硼掺杂金刚石薄膜涂层工具的制备和试验研究[D];上海交通大学;2008年
3 周喜凤;基于掺硼金刚石(BDD)电极的COD在线监测仪测试条件的优化[D];大连理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 秦秋石,盖洪凯,刘通,张治国;压力变送器用全焊接结构的扩散硅敏感元件的研制[J];半导体技术;1991年01期
2 曹颜顺;半导体器件中金线与基片焊接的可靠性[J];半导体技术;1993年02期
3 孟庆浩,孙新宇,孙以材;薄层电阻测试Mapping技术[J];半导体学报;1997年09期
4 孙以材;半导体材料与器件九十年代最新进展[J];半导体杂志;1996年02期
5 萧敬勋,孙以材,杨庆新;压力传感器的计算机辅助设计[J];半导体杂志;1994年01期
6 王万录,X.Jiang,C.P.Klages;金刚石膜压阻效应的研究[J];科学通报;1994年22期
7 廖克俊,王万录,张振刚,吴彬;热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究[J];物理学报;1996年10期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中;压阻式金刚石微压力传感器[J];微细加工技术;2001年01期
2 林鸿溢;金刚石薄膜及应用[J];现代物理知识;1997年05期
3 李荣志,吕反修;金刚石薄膜应用技术新进展[J];微细加工技术;1992年01期
4 ;新材料──金刚石薄膜[J];电子机械工程;1995年04期
5 阎震,李荣志,朱鹤孙;气相法制备金刚石的新进展[J];微细加工技术;1990年Z1期
6 廖先炳;金刚石半导体薄膜及其应用[J];微电子学;1993年05期
7 向军,饶丽;金刚石薄膜合成技术[J];四川工业学院学报;1999年03期
8 方舟;金刚石薄膜在电子封装中的应用[J];微电子学;1992年03期
9 赵方海,任临福,王庆亚,马力,郑伟,张玉书;准分子激光直接切割金刚石薄膜的技术研究[J];微细加工技术;1994年02期
10 芶清泉,冉均国,郑昌琼;金刚石薄膜的形成机理及原子分子设计(摘要)[J];微细加工技术;1990年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 芶立;阎双峰;冉均国;;纳米金刚石薄膜涂覆钛合金的摩擦学性能[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
2 刘秋香;王金斌;杨国伟;;脉冲激光诱导液—固界面反应制备金刚石纳米晶[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
3 李瑞婷;张付超;王亲猛;;金刚石六面顶压机强度有限元分析[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年
4 缪树良;谢敏;;RVD(BRVD)金刚石的发展[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
5 杨保联;周建威;胡红兵;李丽云;叶朝辉;;金刚石~(13)C-DNP增强效应的研究[A];第八届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];1994年
6 颜秉刚;孙德恕;;西藏超基性岩中金刚石的特征[A];中国地质科学院地质研究所文集(5)[C];1982年
7 陈乾旺;娄正松;章玉凤;钱逸泰;王强;;二氧化碳逆转变成金刚石——一个源于1792年的故事[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
8 袁定胜;刘应亮;李颖;张静娴;;化学镀Cu-Ni-P金刚石复合材料的研究[A];第七届全国化学镀会议论文集[C];2004年
9 廖源;沈维康;王冠中;余庆选;马玉蓉;方容川;;掺氮气氛下CVD金刚石的场致发射特性研究[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
10 张士庆;;对金刚石结晶体几何模型亏缝隙的研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(下册)[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘曙甲 刘志伟;结晶氮化碳薄膜与金刚石争高低[N];科技日报;2003年
2 李通一 李津 李济;世界部分名钻[N];中国矿业报;2004年
3 ;乘上市东风 助“华晶”腾飞[N];华夏时报;2010年
4 秦松岩;金刚石和立方氮化硼[N];中国建材报;2001年
5 证券时报记者 程文;豫金刚石获美国发明专利[N];证券时报;2010年
6 证券时报记者 李彦;豫金刚石一季报净利同比增长48%[N];证券时报;2010年
7 记者 唐彩萍 通讯员 肖寒宇;采用金刚石线切割硅片术问世[N];江西日报;2011年
8 黎 闵;中国科学家用温室气体变出金刚石[N];大众科技报;2003年
9 记者 张华君 郑兴华 王晖 郭海方 乔跟平 通讯员 刘晔 罗新建 常顺卿 实习生 甘泉;抓住机遇扩内需 坚定信心保增长[N];河南日报;2009年
10 盖明;“纳米绳”硬过金刚石[N];上海科技报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄健;基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究[D];上海大学;2010年
2 杨保和;金刚石薄膜压力传感器研制[D];河北工业大学;2003年
3 王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
4 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
5 马丙现;CVD金刚石膜的附着性能与应用[D];郑州大学;2003年
6 王小平;金刚石薄膜电致发光特性研究[D];郑州大学;2002年
7 沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
8 杨志军;金刚石中氢的赋存状态研究[D];中国科学院研究生院(广州地球化学研究所);2002年
9 魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
10 张志勇;金刚石薄膜制备及其在改善电力电子器件热特性方面的研究[D];西安理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李超;金刚石薄膜的制备形核及其半导体性质的研究[D];长春理工大学;2002年
2 刘丽丽;金刚石的表面修饰与场发射特性[D];东北师范大学;2006年
3 韩佳宁;金刚石薄膜合成反应动力学及金刚石n型掺杂[D];河北大学;2002年
4 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
5 王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
6 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
7 郑安;国内外复合片成分组织差异分析及机理研究[D];武汉理工大学;2004年
8 简丽娟;基于图像分析的金刚石颗粒检测[D];四川大学;2005年
9 石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
10 黄浩;利用石墨层间化合物合成含硼金刚石[D];燕山大学;2004年
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