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《微细加工技术》 2000年03期
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金刚石薄膜的反应离子刻蚀

姚翔  沈荷生  丁桂甫  朱军  张志明  张寿柏  
【摘要】:反应离子刻蚀是金刚石薄膜图形化的一种有效方法。研究了用O2 及与Ar的混合气体进行金刚石薄膜图形化刻蚀的主要工艺参数 (射频功率、工作气压、气体流量、反应气体成分与比例等 )对刻蚀速率和刻蚀界面形貌的影响 ,兼顾刻蚀速率和刻蚀面平滑程度等关键因素 ,建立了金刚石薄膜刻蚀的优化工艺参数 ,达到了较满意的图形效果。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 丁桂甫,俞爱斌,赵小林,姚翔,沈天慧;CVD金刚石薄膜RIE掩模技术研究[J];微细加工技术;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张文华,丁桂甫,王谦,许俊涛,张寿柏;用金刚石薄膜制造X射线掩模版[J];微细加工技术;1998年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 郭江;CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用[J];功能材料;2003年03期
3 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
4 刘曼西,师汉民;微制造的生物途径[J];中国机械工程;2003年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 钟科;纳米非晶金刚石薄膜的生物相容性及与义齿树脂间结合强度研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
2 陈钢;纳米非晶金刚石薄膜对牙科用纯钛及钴铬合金耐腐蚀性能的影响[D];第四军医大学;2005年
【同被引文献】
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1 黄建良;汪建华;;微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜[J];武汉工程大学学报;2007年04期
2 余忠民,匡同春,白晓军,王成勇,郭钟宁;CVD金刚石膜的机械抛光加工研究[J];硬质合金;2000年03期
3 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
4 李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐;脉冲激光MEMS加工技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 张鉴,黄庆安;ICP刻蚀技术与模型[J];微纳电子技术;2005年06期
6 王万录,张振刚,廖克俊,吴彬,张世斌,廖梅勇;定向局部异质外延生长的p型金刚石膜压阻效应的研究[J];半导体学报;1997年06期
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8 王文生;InSb磁阻元件与传感器的进展[J];传感器技术;1994年02期
9 涂有瑞;飞速发展的磁传感器[J];传感器技术;1999年04期
10 黄刚;开发利用新型磁传感器大有可为[J];传感器世界;1996年01期
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2 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
3 廖晓明;新型金刚石薄膜辐射剂量计的基础研究及设计[D];四川大学;2006年
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1 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
2 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
3 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
4 张进;金刚石薄膜制备工艺与电学、辐射响应性关系的研究[D];四川大学;2005年
5 王岩;磁控溅射法制备类金刚石薄膜的结构与性质研究[D];南京理工大学;2006年
6 洪松;声表面波滤波器基底金刚石的研制[D];天津理工大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 郭江;CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用[J];功能材料;2003年03期
3 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
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1 钟科;纳米非晶金刚石薄膜的生物相容性及与义齿树脂间结合强度研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
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3 杨洁;;金刚石薄膜/氧化锌薄膜异质结研制和性质研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
4 陈磊;张靖;毛谦;;ICP干法刻蚀技术在Ⅲ-Ⅴ族化合物中的应用[A];武汉市第二届学术年会、通信学会2006年学术年会论文集[C];2006年
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6 周礼书;敬守勇;杨李茗;许乔;;衍射光学元件湿法刻蚀技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2001)[C];2001年
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