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《微细加工技术》 1999年04期
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大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化

张志明  沈荷生  何贤昶  万永中  杨艺蓉  任琮欣  
【摘要】:采用直拉热丝CVD法沉积了面积3 英寸的金刚石薄膜。硅衬底在沉积前采用0-5 ~1μm 金刚石微粉研磨,使成核密度达1010 个/cm2 以上,同时调整沉积工艺,特别是降低沉积气压至0-5 ~1-5kPa,促进了金刚石的二次成核,使薄膜变得十分平坦,当薄膜厚度为5μm 时,表面粗糙度Ra 仅为60nm 左右。另外,以铝作为保护膜,用氧离子束刻蚀金刚石薄膜,得到宽度为3 ~5μm 的精细金刚石薄膜图形。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 郭江;CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用[J];功能材料;2003年03期
3 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
4 丁桂甫,俞爱斌,赵小林,姚翔,沈天慧;CVD金刚石薄膜RIE掩模技术研究[J];微细加工技术;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
2 王渭源,王效东,毛敏耀,杨艺榕,任琮欣,解健芳;用作金刚石微电子和微机械器件的若干关键技术[J];科学通报;1999年04期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
2 张文华,丁桂甫,王谦,许俊涛,张寿柏;用金刚石薄膜制造X射线掩模版[J];微细加工技术;1998年01期
3 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
4 王万录,张振刚,廖克俊,吴彬,张世斌,廖梅勇;定向局部异质外延生长的p型金刚石膜压阻效应的研究[J];半导体学报;1997年06期
5 郑怀礼;微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展[J];表面技术;1997年03期
6 王文生;InSb磁阻元件与传感器的进展[J];传感器技术;1994年02期
7 黄刚;开发利用新型磁传感器大有可为[J];传感器世界;1996年01期
8 张兴旺,严辉,邹云娟,陈光华;金刚石N型掺杂的现状和问题[J];材料导报;1997年04期
9 方亮,王万录,王健,廖克俊,丁培道;金刚石薄膜内应力研究现状[J];材料导报;1999年06期
10 张之圣,胡明,刘志刚,王文生,白花珍,王聪修;磁阻效应及磁敏位置传感器[J];电子学报;1996年11期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
2 郭江;CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用[J];功能材料;2003年03期
3 丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新;CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 张淑芳;方亮;付光宗;董建新;彭丽萍;;衬底温度对磁控溅射氮化铝薄膜组成的影响[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
2 郭培;张文婷;李廷先;;45~#碳钢高温锰系磷化工艺研究[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
3 王灵婕;林吉申;;功能材料在MEMS中的应用及进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 钟科;纳米非晶金刚石薄膜的生物相容性及与义齿树脂间结合强度研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 侯立,陶增六,戚立昌,杨佩春,浦新;金刚石薄膜——一种新型功能材料[J];人工晶体学报;1988年01期
2 张志明,丁正明,万锃;热解CVD法合成金刚石薄膜[J];人工晶体学报;1988年Z1期
3 陈天鹏,李云飞,郑秋梅;金刚石薄膜生长技术的发展[J];人工晶体学报;1988年Z1期
4 宁众;;集成电路用的金刚石薄膜[J];微纳电子技术;1988年04期
5 陈天鹏,李云飞,郑秋梅,王秉中;金刚石薄膜生长技术的发展评述[J];人工晶体学报;1989年01期
6 ;前言[J];微细加工技术;1990年Z1期
7 芶清泉,冉均国,郑昌琼;金刚石薄膜的形成机理及原子分子设计(摘要)[J];微细加工技术;1990年Z1期
8 张志明,李胜华,张冬喜,庄志诚,林栋梁;金刚石薄膜的选择性生长[J];微细加工技术;1990年Z1期
9 平木昭夫,王景义;金刚石薄膜在电子行业中的应用[J];微细加工技术;1990年Z1期
10 李泱;李天仁;许振通;;微波等离子体沉积金刚石薄膜[J];真空电子技术;1990年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 茅东升;王曦;李炜;柳襄怀;;金刚石薄膜电子场发射研究进展[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
2 杨洁;申彩霞;刘旺盛;王成新;刘洪武;;不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 张志明;孙方宏;沈荷生;陈明;万永中;;改善金刚石薄膜涂层刀具性能的CVD后处理新工艺[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 张禹;刘国权;秦湘阁;;金刚石薄膜生长过程的Potts蒙特卡罗仿真:显微尺度二维动态可视化图像模型的探索性研究[A];第九届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2001年
5 谢扩军;曾葆青;杨中海;;铜基底CVD微晶金刚石场致发射特性及接触性质研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 刘沙;易丹青;余志明;李泳侠;;硬质合金(YG_6)基体上生长金刚石簿膜组织结构及成份的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 苟立;万静;冉均国;;X射线掩模用金刚石膜的性能[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8 应萱同;骆金龙;;金刚石软X光滤波器[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9 陈光华;蔡让岐;宋雪梅;邢光建;阴生毅;冯贞健;贺德衍;;多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备及场电子发射研究[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
10 苟立;阎双峰;冉均国;邓橙;;梯度硬质合金基体上制备金刚石膜的实验研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
2 吴琼;新型电子材料[N];北京电子报;2000年
3 剑坤;金刚石膜——我国新材料产业的新突破[N];科技日报;2000年
4 姚文清 叶小燕 朱永法 曹立礼;电子能谱的指纹峰分析方法及在功能碳材料研究中的应用[N];科学时报;2000年
5 记者 周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
6 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
7 方青;中国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科学时报;2001年
8 贺蓉;新型功能材料重点实验室[N];科学时报;2001年
9 ;矿物岩石材料开发应用国家专业实验室[N];中国化工报;2002年
10 金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 茅东升;无氢非晶金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 张志勇;金刚石薄膜制备及其在改善电力电子器件热特性方面的研究[D];西安理工大学;2002年
3 王小平;金刚石薄膜电致发光特性研究[D];郑州大学;2002年
4 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
5 王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
6 宋航;碳纳米管及相关材料场发射显示研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 马丙现;CVD金刚石膜的附着性能与应用[D];郑州大学;2003年
8 刘沙;硬质合金基体表面预处理及其金刚石涂层的研究[D];中南大学;2003年
9 杨保和;金刚石薄膜压力传感器研制[D];河北工业大学;2003年
10 李学敏;金刚石薄膜电极的电化学特性及其在污水处理中的应用研究[D];清华大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 俞柳江;真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 李慧玲;金刚石薄膜低温合成的研究[D];河北大学;2000年
3 段苹;CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究[D];河北大学;2001年
4 李超;金刚石薄膜的制备形核及其半导体性质的研究[D];长春理工大学;2002年
5 柴欣;硬质合金上MPCVD法沉积金刚石薄膜的研究[D];武汉理工大学;2002年
6 朱建勇;在石英玻璃上MPCVD制备金刚石薄膜[D];武汉理工大学;2002年
7 刘维;CVD制备碳基宽带隙半导体材料及其特性研究[D];北京工业大学;2003年
8 钟科;纳米非晶金刚石薄膜的生物相容性及与义齿树脂间结合强度研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
9 韩佳宁;金刚石薄膜合成反应动力学及金刚石n型掺杂[D];河北大学;2002年
10 辛红丽;EACVD法低温合成金刚石薄膜气相动力学过程研究[D];河北大学;2002年
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