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《微细加工技术》 1984年02期
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俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用

田清平  
【摘要】:本文简要介绍俄歇电子能谱仪(简称AES)的基本原理、实验装置和测量方法以及它在微细加工技术中的一些应用。主要介绍在分子束外延、离子注入和离子刻蚀等方面的基本应用。
【作者单位】长沙半导体工艺设备研究所

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