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低温等离子体的产生及应用

杨孝龙  王振杰  黄运添  
【摘要】:本文介绍了低温等离子体的产生方法、产生机理以及低温等离子体在微电子工业、新型材料、加工技术和高分子材料改性等领域的最新应用。

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