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《物理》 1994年01期
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X射线三晶衍射及其应用

李超荣  
【摘要】:X射线三晶衍射由于同时采用了单色器和分析器,因而能区分样品中由完美晶体部分对X射线的动力学衍射和由缺陷部分引起的运动学散射,还可把晶体中晶格常数的变化和晶格取向缺陷区别开,并可测定倒易点附近X射线散射强度的二维分布图。近来,X射线三晶衍射技术广泛应用于研究晶体的表面和界面粗糙度、表面损伤、晶体内的微缺陷以及精确确定外延膜的结构参数等。此外,还简要地介绍了X射线三晶衍射的技术、原理和应用。
【作者单位】中国科学院物理研究所
【分类号】:O722

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【引证文献】
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1 王浩,廖常俊,范广涵;X射线双晶衍射技术的发展及应用[J];大学物理;2001年07期
2 王庆学;制备HgCdTe红外焦平面器件的离子注入技术[J];红外;2003年12期
3 葛培文,西永颂,李超荣,霍崇儒,中村卓义,黄卫东,A.E.Voloshin,A.A.Lomov;GaSb单晶空间生长[J];中国科学A辑;2001年01期
【同被引文献】
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2 麦振洪;高分辨X射线双晶衍射技术在半导体薄膜材料研究中的应用[J];物理;1992年03期
【二级引证文献】
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