收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MOVPE低温生长的n型GaN电学特性研究

汪莱  张贤鹏  席光义  赵维  李洪涛  江洋  韩彦军  罗毅  
【摘要】:系统研究了采用金属有机物化学气相外延方法在740℃和900℃条件下生长的n型GaN的电学特性.电化学电容-电压测试表明,在低温条件下采用三乙基镓作为Ga源生长有利于降低非故意掺杂n型GaN的背景杂质浓度.另外,对重掺Si的n型GaN的霍耳效应测试表明,随着Si掺杂浓度增大,电子浓度相应线性增大,表现出杂质带导电特性,而迁移率则相应减小.同时,原子力显微镜测试和X射线衍射测试均表明生长温度和掺杂浓度对外延材料的表面形貌和晶体质量有影响,特别是在高掺杂浓度的情况下,样品的表面形貌恶化更严重.在所研究的Si掺杂浓度范围内,在氧气中退火前后所有样品的电子迁移率基本不变,而Si掺杂浓度高于6×1019cm-3的样品在氧气中退火后电子浓度会下降,表明对低温生长的重掺杂n型GaN,热处理的过程有助于Si原子取代N原子形成受主而产生补偿施主的作用.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 王亚乐;;半导体PN结物理特性的数值解释[J];华章;2011年15期
2 宋春燕;刘星元;;基于ZnSe/Ag/ZnSe可见区透明导电薄膜[J];光子学报;2011年06期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 韩和相;汪兆平;李国华;赵学恕;向贤碧;;掺氧液相外延GaAs的喇曼光谱[A];第二届全国光散射学术会议论文集(上)[C];1983年
2 郭杰;牛忠霞;周东方;赵荣;;不同分层模型时电离层折射对短波传播的影响[A];2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议论文集(下册)[C];2008年
3 申陈海;卢景霄;陈永生;郭学军;陈庆东;;高沉积气压下氢化微晶硅薄膜的高速沉积[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
4 杨学林;陈志涛;杨志坚;于彤军;张国义;;MOCVD法生长(Ga,Mn)N材料的磁学和电子结构特性[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
5 王小华;王兴振;白创飞;杨爱军;刘定新;荣命哲;;彭宁电离对大气压介质阻挡放电冷等离子体电特性的影响[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 徐海阳;掺杂ZnO薄膜及ZnO基异质结发光器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 周俊;基于介观和多体层面的对于半导体自旋电子学中若干问题的研究[D];中国科学技术大学;2008年
3 龙奇;高频诱导无极光源的发射光谱学诊断[D];复旦大学;2008年
4 程晋罗;受限半导体纳米系统中自旋动力学以及自旋调控的理论研究[D];中国科学技术大学;2007年
5 赵伟强;硅基有机红外及可见电致发光[D];北京大学;2008年
6 王春明;二维自旋轨道耦合系统中自旋霍尔效应以及相关输运性质的研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄火根;基于团簇的三元准晶成分判据及其在Ti-Zr-TM系中的应用[D];大连理工大学;2005年
2 周茜;Ti-50.8at%Ni马氏体相变中的电磁特性[D];北京工业大学;2007年
3 李雪;返回散射电离图仿真平台研究[D];中国电波传播研究所;2006年
4 乔敏;基于多能谷纤锌矿相ZnO的Monte-Carlo模拟[D];兰州大学;2007年
5 李建;He(或Ar)+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究[D];大连理工大学;2004年
6 朱艳艳;大口径等离子体电极电光开关的数值模拟[D];电子科技大学;2007年
7 吴琼;等离子体覆盖目标的电磁散射特性研究[D];西安电子科技大学;2006年
8 杨坤进;射频辉光放电等离子体空间特性的探针研究[D];汕头大学;2001年
9 张猛;自由电子激光对量子阱材料的辐照效应研究[D];四川大学;2003年
10 檀雷;等离子体电磁特性研究及应用[D];南京理工大学;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978