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《物理学报》 2004年08期
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碰撞对非对称射频鞘层特性的影响

芦岩  王友年  
【摘要】:对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺 ,由于放电室中两个电极的面积不等 ,使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的 .考虑离子与中性粒子的碰撞效应 ,建立了一种描述这种非对称射频鞘层动力学特性的自洽动力学模型 .数值结果显示碰撞效应对极板上的瞬时电压降、瞬时电子鞘层厚度、鞘层内的离子密度和动能的空间分布以及两个极板上电压之差等物理量的影响

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【参考文献】
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1 邱华檀,王友年,马腾才;碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响[J];物理学报;2002年06期
2 戴忠玲,王友年,马腾才;射频等离子体鞘层动力学模型[J];物理学报;2001年12期
【共引文献】
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1 侯璐景,王友年;尘埃颗粒在射频等离子体鞘层中的非线性共振现象的理论研究[J];物理学报;2003年02期
2 邹秀,刘金远,王正汹,宫野,刘悦,王晓钢;磁场中等离子体鞘层的结构[J];物理学报;2004年10期
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1 宋仁峰;CO_2(CH_4)等离子体与苯乙烯共聚及其在聚合物共混中的应用研究[D];天津大学;2004年
2 程为彬;高强度气体放电灯电子镇流技术研究[D];西安理工大学;2007年
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2 荆兴斌;射频等离子体鞘层中粒子输运特性的研究[D];华中科技大学;2005年
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【同被引文献】
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8 戴忠玲,王友年,马腾才;射频等离子体鞘层动力学模型[J];物理学报;2001年12期
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6 李文娟;碘乙烷和三氯化碳的多光子电离解离研究[D];曲阜师范大学;2011年
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