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《物理学报》 2001年12期
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射频等离子体鞘层动力学模型

戴忠玲  王友年  马腾才  
【摘要】:在流体力学方程的基础上建立了一种自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型 .这种自洽性包含两个方面 :一方面 ,由于考虑了瞬时鞘层电场对离子运动的影响 ,因此该模型适用于描述任意频率段的射频鞘层演化过程 ;另一方面 ,在模型中采用等效电路方法来自洽地确定极板上的瞬时电位与瞬时鞘层厚度之间的关系 .采用数值方法模拟出鞘层的瞬时厚度及极板的瞬时电位变化、鞘层内离子密度和电场强度等物理量的时空变化 .结果表明 ,当射频场的频率小于或等于离子等离子体频率时 ,离子流密度明显地随时间变化

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【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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10 程为彬;钟彦儒;金舜;;频谱分散抑制气体放电中声谐振技术研究[J];电工技术学报;2006年06期
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1 刘晨阳;气体放电灯电子镇流器关键技术的研究[D];浙江大学;2005年
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7 王丽红;双频容性耦合等离子体鞘层中带电粒子输运的流体力学模拟[D];大连理工大学;2006年
【二级引证文献】
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1 蔡长龙;马睿;周顺;刘欢;刘卫国;;Si材刻蚀速率的工艺研究[J];半导体技术;2008年10期
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3 郭慧梅,林国强,盛明裕,王德真,董闯,闻立时;大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算[J];金属学报;2004年10期
4 张鹏飞;王小杰;;矿井照明钠灯的应用技术探讨[J];煤炭技术;2011年06期
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7 于达仁;卿绍伟;王晓钢;丁永杰;段萍;;电子温度各向异性对霍尔推力器BN绝缘壁面鞘层特性的影响[J];物理学报;2011年02期
8 赵晓云;刘金远;段萍;倪致祥;;不同成分等离子体鞘层的玻姆判据[J];物理学报;2011年04期
9 张凤奎;丁永杰;;Hall推力器内饱和鞘层下电子与壁面碰撞频率特性[J];物理学报;2011年06期
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1 段萍;等离子体鞘层及尘埃在鞘层中的特性研究[D];大连理工大学;2007年
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4 刘汉平;利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性[D];山东大学;2008年
5 吕少波;PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究[D];东北大学;2010年
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2 李莉;150W金卤灯电子镇流器的研发[D];杭州电子科技大学;2010年
3 陈伟;朗缪尔探针诊断系统的研制及其应用[D];华中科技大学;2009年
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6 王懿翎;射频电容耦合等离子体的流体动力学/Monte-Carlo混合模型数值模拟[D];大连理工大学;2007年
7 杨巍;氮气电容耦合射频辉光放电二维PIC/MC模拟研究[D];河北师范大学;2008年
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9 何广军;不同的尘埃颗粒大小分布对尘埃声波的影响[D];西北师范大学;2008年
10 田多祥;激光等离子体中的孤子问题[D];西北师范大学;2009年
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1 段萍;李肸;鄂鹏;卿绍伟;;霍尔推进器中磁化二次电子对鞘层特性的影响[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
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3 张凤奎;于达仁;丁永杰;李鸿;;霍尔推力器内电子分布函数各向异性对鞘层动态特性的影响[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
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5 孙柏;毕玉敬;丁秀萍;时历杰;李武;宋彭生;;络合滴定中离子干扰对相化学研究的影响[A];中国化学会第十五届全国化学热力学和热分析学术会议论文摘要[C];2010年
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7 姚红冉;李明;吕少波;张海明;蔺增;巴德纯;;直流辉光放电等离子体鞘层流体动力学模拟[A];第八届全国真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2007年
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6 甘宝霞;电负性尘埃等离子体中尘埃颗粒的振荡、晶格波和稳态尘埃空洞[D];中国科学技术大学;2008年
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9 李弘;低温气体放电现象的数值研究[D];中国科学技术大学;2002年
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1 田立成;等离子体浸没离子注入空心圆柱形介质管内表面鞘层特性的数值研究[D];大连理工大学;2010年
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9 张弘;等离子体边界层物理特性数值研究[D];大连理工大学;2011年
10 崔虎;射频磁控溅射镀膜过程中离子输运和溅射行为的模拟计算[D];西北工业大学;2005年
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