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《物理化学学报》 1995年09期
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射频溅射制备的多晶ZnO膜表面氧的吸附和脱附(英文)

张德恒  
【摘要】:多晶的六角密排的c轴平行于衬底的ZnO膜已用射频溅射的方法制备出来,一电场感应的氧吸附在这些膜上被观察到.由紫外光照射或与Ar离子反应所产生的氧的脱附可使膜的电导率增加6-7个数量级,并且一个积累层在膜的表面显现出来.
【作者单位】山东大学物理系!济南250100
【分类号】:O647

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