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《物理测试》 2008年04期
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CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究

朱宏喜  毛卫民  吕反修  李全安  郭辉  
【摘要】:利用电子背散射衍射、扫描电镜和X射线衍射技术研究了CVD自支撑金刚石薄膜的孪晶组织形貌、孪晶界和晶体取向差分布。研究表明,金刚石薄膜中存在一阶和二阶孪晶,不同的孪晶取向转变过程能形成不同的孪晶组织形貌,高频率的孪晶能对薄膜织构产生明显影响。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;王强松;;CVD金刚石薄膜微区孪晶的研究[J];科学技术与工程;2009年18期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄元盛,罗承萍,邱万奇;化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质[J];中国表面工程;2004年01期
2 刘之景,周海洋;CVD金刚石薄膜取向生长研究现状[J];材料保护;2000年01期
3 满卫东,汪建华,王传新,马志斌;金刚石薄膜的性质、制备及应用[J];新型炭材料;2002年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 严玲;刘仁东;严平沅;周敬;;汽车用轻质TWIP钢的组织演变规律研究[J];鞍钢技术;2010年01期
2 徐光元;朱涛;潘国平;;冷轧薄板织构的检测及轧制工艺对织构的影响[J];安徽冶金;2003年03期
3 刘恒三,毛卫民,陈冷,冯惠平;退火方式对深冲压钢板晶粒尺寸不均匀性的影响[J];北京科技大学学报;2004年04期
4 严玲;唐荻;米振莉;郭锦;;汽车用TWIP钢的力学性能与微观组织[J];北京科技大学学报;2006年08期
5 安治国;李阳;朱国辉;毛卫民;杜明山;姚连胜;齐长发;;工业化研制薄板坯连铸连轧取向电工钢的组织和性能[J];北京科技大学学报;2009年04期
6 张敏;程发良;姚海军;;类金刚石膜的性质和制备及应用[J];表面技术;2006年02期
7 张碧云;曲燕青;谢红梅;聂朝胤;;类金刚石膜的制备技术及应用领域概况[J];表面技术;2007年03期
8 李涛;金自力;;冷轧及退火工艺对包钢CSP薄板织构演变的影响[J];包头钢铁学院学报;2005年03期
9 李文学;任慧平;李德超;;稀土高纯铝箔组织、织构研究[J];包头钢铁学院学报;2006年02期
10 孔学云;王宝峰;马胜梅;金自力;王玉峰;任慧平;张晓燕;;基于CSP工艺下冷轧板轧制过程中组织和织构演变的EBSD研究[J];内蒙古科技大学学报;2007年01期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 王雷;李凡;蒋建清;;纯铜冷轧过程中晶粒取向、织构及晶界角度分布特征的研究[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
2 张红杰;金自力;王玉峰;郑丽娟;张志凯;;退火工艺对Fe-0.3%Si电工钢微观组织的影响[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
3 王玉峰;李文学;任慧平;靳俊雅;;利用EBSD技术研究高纯铝箔再结晶过程组织及织构的演变规律[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
4 王海燕;胡海涛;王玉峰;;退火工艺对IF钢再结晶组织与织构影响的研究[A];第七届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2009年
5 师绍广;张清辉;陈冷;;冲压用钢板组织不均匀性研究[A];第七届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2009年
6 严玲;米振莉;唐荻;郭锦;代永娟;;TWIP钢变形和退火过程中孪晶的形成及机理研究[A];2005中国钢铁年会论文集(第4卷)[C];2005年
7 严玲;严平沅;周敬;王锐;;汽车用轻质TWIP钢的组织演变规律研究[A];2009年全国高品质热轧板带材控轧控冷与在线、离线热处理生产技术交流研讨会文集[C];2009年
8 李长一;冯大军;黎世德;郭小龙;周顺兵;;不同晶体学平面对无取向电工钢电磁性能的贡献及其磁性各向异性[A];2010第11届中国电工钢专业学术年会论文集[C];2010年
9 张湘辉;汪灵;龙剑平;常嗣和;周九根;;直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征[A];2005年全国矿物科学与工程学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郑腾龙;金属板材弹、塑性性质与材料微结构的关系及其试验测量[D];南昌大学;2010年
2 刘俊伟;Mg-Al-Zn系合金板材中低温变形研究[D];湖南大学;2009年
3 毕见强;2A12铝块体超细晶材料的制备、模拟及细化机制的研究[D];山东大学;2005年
4 黄涛;异步轧制高纯铝箔织构控制的研究[D];东北大学;2006年
5 廖晓明;新型金刚石薄膜辐射剂量计的基础研究及设计[D];四川大学;2006年
6 刘楚明;高纯铝箔形变和再结晶行为及织构的研究[D];中南大学;2007年
7 汪冰峰;钛及钛合金中绝热剪切带微观结构演化及其集体行为研究[D];中南大学;2006年
8 刘健敏;CVD金刚石薄膜在光电器件中的应用研究[D];上海大学;2007年
9 刘晓鹏;NiTi形状记忆合金的超弹性及医学应用研究[D];大连理工大学;2008年
10 洪波;电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黎群霞;一种镁锂合金的热变形研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
2 周顺新;铸态ZK60、AZ80镁合金锻造技术研究[D];沈阳理工大学;2010年
3 肖潇;双向等通道制备超细晶6061铝合金的研究[D];昆明理工大学;2010年
4 王永明;微波等离子体低温CVD金刚石膜工艺和机理研究[D];武汉理工大学;2004年
5 刘颖峰;定向凝固织构研究及机理的探讨[D];湘潭大学;2004年
6 文琼;SiC纤维增强Ti基复合材料的微观组织[D];西北工业大学;2005年
7 李宏伟;基于材料宏细观本构关系的环件冷辗扩模拟研究[D];西北工业大学;2005年
8 程春晓;柔性衬底上金刚石薄膜的制备及其附着性能研究[D];郑州大学;2005年
9 程小华;金刚石薄膜的高速生长工艺研究[D];西北大学;2005年
10 刘刚;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];辽宁工程技术大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄元盛,罗承萍,邱万奇;化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质[J];中国表面工程;2004年01期
2 吕反修,唐伟忠,刘敬明,宋建华,佟玉梅,于文秀,李国华,罗廷礼,张永贵,郭辉,孙振路,何其玉;大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备[J];材料研究学报;2001年01期
3 毛卫民;朱宏喜;陈冷;冯惠平;吕反修;;CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶[J];无机材料学报;2006年01期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 袁逸,杨保雄,白元强,王建军,吕反修;微波等离子体CVD金刚石薄膜的显微结构[J];北京科技大学学报;1994年03期
2 郭志猛,殷声,赖和怡;火焰法沉积金刚石薄膜的组织结构[J];北京科技大学学报;1995年03期
3 杨志军,彭明生,苑执中;金刚石中氢的研究及其意义[J];地球科学进展;2002年01期
4 周灵平,靳九成,李绍禄,颜永红,朱正华;CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究[J];人工晶体学报;1998年02期
5 藤森直治,王景义;金刚石半导体的研制动向[J];微细加工技术;1990年Z1期
6 杨仕娥,李会军,边超,王小平,马丙现,姚宁,张兵临;CVD金刚石膜生长过程的Raman分析[J];真空与低温;2002年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱宏喜;毛卫民;吕反修;李全安;郭辉;;CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究[J];物理测试;2008年04期
2 朱宏喜;毛卫民;冯惠平;;孪晶对CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的影响分析[J];中国体视学与图像分析;2005年04期
3 朱宏喜;顾超;任凤章;田保红;;CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J];科学技术与工程;2011年12期
4 朱宏喜;毛卫民;冯惠平;吕反修;I.I.Vlasov;V.G.Ralchenko;A.V.Khomich;;CVD金刚石薄膜孪晶形成的原子机理分析[J];物理学报;2007年07期
5 张建平,翁羽翔,袁定朴,徐积仁;不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究[J];科学通报;1992年18期
6 王天旭,蒙继龙,文命清;化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展[J];金属热处理;2002年09期
7 吕反修,蒋高松,杨保雄;低温生长金刚石薄膜及其界面结构X-射线衍射研究[J];北京科技大学学报;1992年04期
8 王玮 ,岳崇杰;新金刚石科学技术[J];金刚石与磨料磨具工程;1992年01期
9 朱晓东,詹如娟;金刚石薄膜的形貌分析及(100)面择优生长[J];真空科学与技术学报;1995年06期
10 耿东生,张贵锋,李兴无,郑修麟;金刚石薄膜与 WC-Co 硬质合金的附着性研究[J];机械科学与技术;1997年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 朱宏喜;毛卫民;冯惠平;;CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的EBSD检测分析[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
2 谢扩军;季天仁;王志红;;大功率电真空器件陶瓷介质杆沉积金刚石薄膜研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
3 杨洁;申彩霞;刘旺盛;王成新;刘洪武;;不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 蒋瑞亭;;金刚石薄膜的国内外发展概况[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5 荘志诚;张志明;张伟东;竺品芳;;金刚石薄膜中碳键的喇曼光谱[A];中国物理学会光散射专业委员会成立十周年暨第六届学术会议论文集(上)[C];1991年
6 刘忠伟;孙滨如;张保军;周越;;红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
7 孙方宏;张志明;沈荷生;陈明;;高性能复杂形状金刚石薄膜涂层刀具的制备和应用研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
8 周善民;陈同彩;张武;;T3铜的电子背散射衍射(EBSD)花样分析[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
9 黄海波;李凡;;电子背散射衍射分析系统数据库的扩充[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
10 邹广田;于三;;气相合成金刚石薄膜的研究进展[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
2 吴琼;新型电子材料[N];北京电子报;2000年
3 记者 周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
4 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
5 金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
6 ;成都理工大学:打造先进金刚石薄膜实验室[N];人民日报海外版;2003年
7 科新;强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过验收[N];中国建材报;2008年
8 钟才伦;纳米级金刚石镀膜为多种材质作“外衣”[N];中国有色金属报;2003年
9 本报记者 刘肖勇 通讯员 刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年
10 记者 范春生;小企业涉足高科技要有风险意识[N];新华每日电讯;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄健;基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究[D];上海大学;2010年
2 王小平;金刚石薄膜电致发光特性研究[D];郑州大学;2002年
3 沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
4 魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
5 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
6 骆金龙;CVD金刚石薄膜的制备及其特性和器件化研究[D];复旦大学;2005年
7 王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
8 许龙山;碳纳米材料的制备及其在复合材料中的应用[D];湖南大学;2009年
9 刘燕燕;微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的电子显微学分析[D];大连理工大学;2007年
10 李学敏;金刚石薄膜电极的电化学特性及其在污水处理中的应用研究[D];清华大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
2 王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
3 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
4 石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
5 杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
6 王玲;W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2011年
7 田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
8 李慧玲;金刚石薄膜低温合成的研究[D];河北大学;2000年
9 崔娜娜;用作OLED场发射阴极的金刚石薄膜的制备[D];郑州大学;2011年
10 杨国栋;陶瓷基CVD金刚石薄膜的制备、摩擦试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
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