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热处理过程中纳米非晶Si-N-C粉的晶化及微结构变化研究

李亚利  梁勇  郑丰  肖克沈  胡壮麒  
【摘要】:本文在1473~1972K温度范围内对激光合成的、平均粒径为30nm的非晶Si-N-C粉进行热处理(latm.N2,1h);研究了粉体的晶化及微结构变化,结果表明,纳米非晶Si-N-C粉具有短程有序的亚稳结构,此亚稳结构在>1523K发生稳定团相分离,在1773K开始形成α-Si3N4;β-SiC,此时粒子间出现明显的表面扩散形成粒子簇;到1873K晶化加剧,α-Si3N4和β-SiC明显增多,并有少量的石墨碳形成。在1773~1873K,由固相分离形成α-Si3N4/β-SiC纳米复合结构。

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