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《无机材料学报》 2008年03期
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AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性

吴莹  赵文济  孔明  黄碧龙  李戈扬  
【摘要】:采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/SiO_2纳米多层膜的高温抗氧化性.结果表明,受AlN层晶体结构的模板作用,溅射条件下以非晶态存在的SiO_2层在厚度0.6nm时被强制晶化为与AlN相同的六方结构赝晶体,并与AlN形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应.SiO_2随自身层厚的进一步增加又转变为以非晶态生长,致使多层膜的外延生长结构受到破坏,其硬度也随之降低.高温退火研究表明,高硬度的AlN/SiO_2纳米多层膜的抗氧化温度为800℃,与AlN单层膜相当.SiO_2层的加入尽管能使多层膜获得较高硬度,但是并不能提高其抗氧化温度.

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李海翼;磁控溅射沉积氮化铝薄膜及其光学性能的研究[D];南昌大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 岳建岭;孔明;赵文济;李戈扬;;反应溅射VN/SiO_2纳米多层膜的微结构与力学性能[J];物理学报;2007年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【同被引文献】
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1 郑晓娟;射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析[D];大连理工大学;2004年
2 陈轶平;AlN薄膜的气相沉积及取向控制研究[D];北京工业大学;2005年
3 石哲;用于FBAR技术的AIN薄膜的研究[D];浙江大学;2006年
4 董成军;氮化物半导体低维结构的制备及光、电性质研究[D];四川师范大学;2009年
【二级引证文献】
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1 卢茜;铜互连结构的力学性质及基于互连结构制备的阻变存储器研究[D];复旦大学;2011年
【二级参考文献】
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4 喻利花;董师润;许俊华;李戈扬;;TaN/TiN和NbN/TiN纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究[J];物理学报;2008年11期
5 刘艳;董云杉;岳建岭;李戈扬;;反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应[J];物理学报;2006年11期
6 黄碧龙;吴昕蔚;孔明;李戈扬;;反应磁控溅射TiN/AlON纳米多层膜的微结构与显微硬度[J];金属学报;2008年02期
7 劳技军,胡晓萍,虞晓江,李戈扬,顾明元;AlN在AlN/VN纳米多层膜中的相转变及其对薄膜力学性能的影响[J];物理学报;2003年09期
8 胡晓萍,董云杉,孔明,李戈扬,顾明元;TiN/Si_3N_4纳米多层膜的生长结构与超硬效应[J];真空科学与技术;2005年04期
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7 李树玮;小池一步;矢野满明;;ZnO和ZnMgO材料的分子束外延生长及其光学性质[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
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4 樊哲高 孙江;三安:LED打造多彩生活[N];中国电子报;2004年
5 ;全球MOCVD设备热销背后的解读[N];电子资讯时报;2006年
6 中关村证券;G华工 低价超跌 底部蓄势[N];证券时报;2006年
7 梁红兵;LED:强化产业链建设 细分市场大有作为[N];中国电子报;2008年
8 任爱青;我国LED上游产业亟待突围[N];中国电子报;2008年
9 见习记者  刘宏刚;卖出核心资产 G华工利好变利空[N];21世纪经济报道;2006年
10 记者 王海达 郭晓静;四联集团LED产业基地奠基[N];重庆日报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 孔明;两相纳米结构薄膜中的模板效应与超硬效应[D];上海交通大学;2009年
3 罗文博;介电氧化物薄膜在GaN半导体上的外延生长与性能研究[D];电子科技大学;2010年
4 张心强;铪基及稀土高k薄膜在Si、Ge及InP上外延生长及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
5 陶伯万;3英寸YBCO双面超导薄膜的外延生长和均匀性研究[D];电子科技大学;2003年
6 何垚;应变和电场对硅表面的吸附能及结构的影响[D];复旦大学;2005年
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8 石林;外延生长动力学剪裁面心立方合金薄膜有序结构的研究[D];清华大学;2007年
9 许锐;磷酸铝分子筛膜的制备和性质[D];吉林大学;2007年
10 何斌;宽禁带立方氮化硼薄膜的制备与掺杂研究[D];北京工业大学;2008年
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1 赵文济;AlN基纳米多层膜的生长结构、超硬机制及高温稳定性研究[D];上海交通大学;2007年
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3 宋禹忻;动力学蒙特卡罗法仿真量子点生长过程的统计分析与参数优化[D];北京邮电大学;2007年
4 马琳;BCl_3/H_2外延生长P型硅反应机理的理论研究[D];辽宁师范大学;2007年
5 龚亮;外延薄膜生长过程的微观相场研究[D];天津大学;2008年
6 郭鑫;SiC外延生长加热系统热场分析[D];西安电子科技大学;2011年
7 董松涛;AlN/Si_3N_4纳米多层膜及Zr-Si-N复合膜的制备与性能研究[D];江苏科技大学;2008年
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