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《无机材料学报》 2007年03期
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甲烷浓度对CVD金刚石薄膜晶体学生长过程的影响

朱宏喜  毛卫民  冯惠平  吕反修  Vlasov I I  Ralchenko V G  Khomich A V  
【摘要】:采用X射线衍射技术、电子背散射衍射技术和扫描电镜分别观察了不同甲烷浓度条件下沉积的CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界分布和表面形貌.研究了金刚石晶体{100}面和{111}面生长的晶体学过程.研究表明,{100}面通过吸附活性基团CH2 2-,而{111}面通过交替吸附活性基团CH3 -和CH3-后脱氢堆积碳原子.低甲烷浓度时,{111}面表面能低于{100}面,使{111}面生长略快于{100}面.甲烷浓度升高,动力学作用增强使{100}面生长明显快于{111}面,使金刚石薄膜产生{100}纤维织构;同时显露的{100}面平行于薄膜表面,竞争生长使位于晶体侧面的{111}面由于相互覆
【作者单位】北京科技大学
【基金】:国家自然科学基金(50372007)
【分类号】:TB383.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 毛卫民;朱宏喜;陈冷;冯惠平;吕反修;;CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶[J];无机材料学报;2006年01期
【共引文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈冷;张建升;毛卫民;;CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
【相似文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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5 柴欣;硬质合金上MPCVD法沉积金刚石薄膜的研究[D];武汉理工大学;2002年
6 朱建勇;在石英玻璃上MPCVD制备金刚石薄膜[D];武汉理工大学;2002年
7 刘维;CVD制备碳基宽带隙半导体材料及其特性研究[D];北京工业大学;2003年
8 钟科;纳米非晶金刚石薄膜的生物相容性及与义齿树脂间结合强度研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
9 韩佳宁;金刚石薄膜合成反应动力学及金刚石n型掺杂[D];河北大学;2002年
10 辛红丽;EACVD法低温合成金刚石薄膜气相动力学过程研究[D];河北大学;2002年
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