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《无机材料学报》 2004年02期
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C-H-O和C-H-N体系生长金刚石膜的气相化学模拟

戚学贵  陈则韶  王冠中  廖源  
【摘要】:数值模拟了C-H-O和C-H-N体系的气相化学,构建了含氧和含氮气源化学气相沉积金刚石膜的三元相图,探讨了加氧和加氮影响金刚石膜生长的途径.结果表明,甲基是金刚石生长主要的前驱基团,乙炔导致非金刚石碳沉积,原子氢刻蚀非金刚石碳.通过气相反应改变这些基团的浓度是加氧的一个重要作用途径,而加氮在改变这些基团浓度的同时,CN等含氮基团还强烈地参与了金刚石膜成核和生长的表面过程.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 侯雪;姜志刚;朱品文;郑艳彬;胡双;封全娇;;氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年05期
2 安希忠;李长兴;刘国权;沈峰满;李友清;;CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展[J];中南大学学报(自然科学版);2010年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
2 成绍恒;氮气对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2009年
3 卢冬;硼和氮掺杂CVD金刚石膜的生长及特性研究[D];吉林大学;2010年
4 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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2 万永中,张志明,沈荷生,何贤昶,张卫,王季陶;C-H-N体系生长金刚石薄膜[J];无机材料学报;1999年06期
3 李灿华,廖源,常超,王冠中,马玉蓉,方容川;氮气氛下金刚石薄膜生长过程中的光发射谱研究[J];无机材料学报;2001年01期
4 戚学贵,陈则韶,常超,王冠中,廖源;HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析[J];无机材料学报;2003年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 刘艳辉,张秀娟,孟亮;多晶体薄膜生长中的织构诱导与控制[J];材料导报;2002年10期
2 戚学贵,陈则韶,常超,王冠中,廖源;HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析[J];无机材料学报;2003年01期
3 戚学贵,陈则韶,徐宏,王学生,候峰,谭晓勇;热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测[J];真空科学与技术学报;2005年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张秀娟;厚度和基底对FeS_2薄膜结构和性能的影响[D];浙江大学;2003年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张鉴,黄庆安;ICP刻蚀技术与模型[J];微纳电子技术;2005年06期
2 李伟东,张建辉,吴学忠,李圣怡;ICP刻蚀技术在MEMS器件制作中的应用[J];微纳电子技术;2005年10期
3 陈光华,张兴旺,季亚英;用Van der Pauw法研究硼重掺杂金刚石薄膜电学性质[J];半导体学报;1997年08期
4 刘炯;胡东平;薛屺;唐安俊;邬柯;;CVD金刚石薄膜与硬质合金基体之间过渡层技术[J];表面技术;2007年05期
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6 黄建良;汪建华;;CVD金刚石薄膜的形核研究[J];材料导报;2007年S2期
7 安希忠,张禹,刘国权,秦湘阁,王辅忠,刘胜新;CVD金刚石膜{100}取向在改进化学反应模型下生长的原子尺度模拟[J];稀有金属材料与工程;2002年05期
8 白亦真,金曾孙,姜志刚,韩雪梅;热阴极辉光放电对金刚石膜沉积的影响[J];材料研究学报;2003年05期
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10 冯明,张鉴,黄庆安;ICP刻蚀中等离子体分布的模拟[J];电子器件;2005年03期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
2 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年
3 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
4 徐锋;纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究[D];南京航空航天大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 孙宝茹;大面积金刚石厚膜的制备[D];吉林大学;2005年
2 王华林;CVD金刚石厚膜焊接特性研究[D];吉林大学;2006年
3 张志国;人工合成金刚石的历史与现状[D];吉林大学;2006年
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5 董振江;直流辉光放电PCVD方法制备碳纳米管及场发射特性研究[D];吉林大学;2007年
6 姚成志;硼掺杂金刚石薄膜涂层工具的制备和试验研究[D];上海交通大学;2008年
7 成绍恒;氮气对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2009年
8 郑艳彬;高品质CVD金刚石的合成及其在刻刀方面的应用研究[D];吉林大学;2010年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王文龙;郑艳彬;李光;姜志刚;;CVD金刚石在机械加工领域的研究进展[J];现代制造工程;2012年10期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 桑丹丹;ZnO纳米棒/金刚石复合结构的制备及电学性质研究[D];吉林大学;2012年
2 王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 刘靖尧,丁益宏,刘波,戴振文,潘守甫;金刚石(111)光滑表面上甲基合成金刚石薄膜的成核生长机理[J];高等学校化学学报;2000年03期
2 戴振文,刘波,刘靖尧,潘守甫;金刚石(111)面上乙炔合成金刚石薄膜的成核机理[J];高等学校化学学报;1998年05期
3 崔景彪,马玉蓉,方容川;灯丝温度对原位吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响[J];高压物理学报;1996年02期
4 万永中,张志明,沈荷生,何贤昶,张卫,王季陶;C-H-N体系生长金刚石薄膜[J];无机材料学报;1999年06期
5 李灿华,廖源,常超,王冠中,马玉蓉,方容川;氮气氛下金刚石薄膜生长过程中的光发射谱研究[J];无机材料学报;2001年01期
6 戴振文,刘波,潘守甫;金刚石(111)面上乙炔生长金刚石薄膜的机理[J];物理化学学报;1997年10期
7 张贵锋,王永欣,耿东生,郑修麟;灯丝温度对生长金刚石薄膜的影响[J];微细加工技术;1997年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 罗廷礼,何奇宇,王志娜,崔文秀,蔡云虹,刁习刚,刘秀军;用金刚石膜的X射线衍射谱估算其热导率[J];河北省科学院学报;1999年02期
2 廖克俊,王万录;直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究[J];物理学报;1994年09期
3 刘敬明,唐伟忠,吕反修;高质量CVD金刚石膜的氧化损伤[J];人工晶体学报;2001年02期
4 梁继然,常明,潘鹏;热丝CVD法制备金刚石膜[J];天津理工学院学报;2005年01期
5 于三,金曾孙,吕宪义,邹广田;金刚石膜的生长特性及界面结构研究[J];科学通报;1991年03期
6 ;美科学家研究出用C_(60)生产金刚石膜新技术[J];科技导报;1994年11期
7 庞国锋,石成儒,韩惠雯;低压等离子体结合热解法制备金刚石膜[J];科技通报;1995年01期
8 张继华,李敬起,孙亦宁,郭晚土,高欣,雷青松,王曦,柳湘怀;化学气相沉积金刚石膜的光学性质[J];兰州大学学报(自然科学版);2003年02期
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10 李哲奎;金刚石膜的拉曼光谱研究[J];延边大学学报(自然科学版);2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 廖克俊;王万录;马勇;吕建伟;;金刚石膜紫外发光性质的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
2 金曾孙;吕宪义;杨广亮;吴汉华;李哲奎;刘建设;;金刚石膜中氮杂质状态的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
3 王蜀霞;王万录;廖克俊;胡陈果;孔春阳;马勇;;P型半导体金刚石膜性质的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 李春燕;金曾孙;吕宪义;;乙醇对金刚石膜生长特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
5 刘凤艳;刘宇星;刘敏蔷;侯碧辉;;负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6 楼燕燕;王林军;张明龙;顾蓓蓓;苏青峰;夏义本;;CVD金刚石紫外探测器[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
7 廖克俊;王万录;王蜀霞;许杰;李正;王必本;;纳米金刚石膜场发射性质的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8 周克崧;代明江;匡同春;王德政;刘正义;;金刚石膜与硬质合金界面行为研究[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)[C];1999年
9 罗廷礼;胡法竹;刘树林;;CVD金刚石用石墨衬底[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10 陈君;王成勇;郭钟宁;;多脉冲电火花抛光金刚石膜[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 北京科技大学 吕反修;金刚石膜:带起一个产业群[N];科技日报;2001年
2 剑坤;金刚石膜——我国新材料产业的新突破[N];科技日报;2000年
3 蒋占华;金刚石膜制备及应用开发项目获重大进展[N];中国建材报;2001年
4 雨同;商机到底在哪里?[N];山西日报;2003年
5 记者 王绯;“掌上书房”亮相图博会[N];科技日报;2000年
6 记者 吴曼;雷地科技获航天专家赞誉[N];证券时报;2004年
7 见习记者 廖继锋 本报记者 华雪;欲上创业板公司大点兵之六[N];证券时报;2000年
8 ;开拓创新的河北省科学院[N];科技日报;2003年
9 ;做产品的四大绝招[N];经理日报;2005年
10 吕反修 唐伟忠;纳米金刚石膜及其高技术应用[N];中国高新技术产业导报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
2 马兴伟;高速摩擦抛光金刚石膜用FeAl基合金抛光盘的制备及性能研究[D];大连理工大学;2011年
3 周建;微波等离子体化学气相沉积法制备高质量金刚石膜研究[D];武汉理工大学;2002年
4 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
5 唐达培;直流电弧等离子体喷射金刚石膜残余应力及开裂破坏研究[D];西南交通大学;2009年
6 王兰;电流型CVD金刚石探测器研制[D];清华大学;2008年
7 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
8 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
9 王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年
10 王蜀霞;有机半导体LPPP发光性质及相关问题研究[D];重庆大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马磊;热丝化学气相沉积金刚石膜的制备及其摩擦学性能研究[D];中国地质大学(北京);2012年
2 刘鹏飞;微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响[D];武汉工程大学;2012年
3 潘建伟;钢基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究[D];华南理工大学;2012年
4 胡双;DC-PCVD法硼掺杂金刚石膜的制备及其生长特性研究[D];吉林大学;2012年
5 杜康;MPCVD金刚石膜的制备及其应用的研究[D];广州大学;2010年
6 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
7 刘昌龙;CVD金刚石膜残余应力的数值模拟[D];西南交通大学;2012年
8 刘军伟;沉积条件对CVD金刚石膜生长及其掺杂影响的研究[D];吉林大学;2011年
9 吴健;硬质合金表面改性及其沉积金刚石膜的研究[D];广东工业大学;2002年
10 陈春林;机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究[D];广东工业大学;2003年
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