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《微处理机》 2002年03期
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微电子机械系统(MEMS)发展研究

王宏  
【摘要】:叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。
【作者单位】东北微电子研究所
【分类号】:TH703

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 闫冬;管欣;高振海;;基于MEMS技术的微惯性传感器及在汽车上的应用[J];汽车技术;2006年02期
2 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的发展及其应用[J];纳米技术与精密工程;2004年02期
3 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的研究与展望[J];微电子学;2005年01期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
2 宋瑞银;冷热源微小型热电电源的研究[D];浙江大学;2006年
3 冯晓梅;面向IC封装的两自由度高速精密定位系统研究[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王国田;微尺度构件微铸造成形工艺及组织性能研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
2 林忠华;宽量程微加速度传感器的研制[D];厦门大学;2005年
3 杜伟涛;面向芯片封装的高速精密定位平台控制系统设计[D];天津大学;2006年
4 姜佩琴;面向机动目标跟踪的传感器管理算法研究[D];西北工业大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张正元,徐世六,刘玉奎,杨国渝,税国华;用于MEMS的硅湿法深槽刻蚀技术研究[J];微电子学;2004年05期
2 吴英;周兆英;江永清;向毅;小野崇人;;金属三维微结构加工技术的研究[J];仪表技术与传感器;2006年01期
3 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍;CMOS MEMS技术的现状及展望[J];压电与声光;2004年04期
4 谷庆红;微机械陀螺仪的研制现状[J];中国惯性技术学报;2003年05期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
2 张兆华;MOS环振式数字加速度传感器研究[D];清华大学;2004年
3 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
2 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
3 陈爽;面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析[D];西北工业大学;2004年
4 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
5 全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
6 赵晨光;基于磁流变液的蠕动驱动研究[D];西南交通大学;2004年
7 梅年松;MEMS断裂强度在线测试[D];东南大学;2004年
8 武东健;基于粘度修正理论的微流体阻尼特性分析[D];西安电子科技大学;2005年
9 胡明雨;薄膜热物性实验研究[D];东南大学;2005年
10 蒋玉荣;硅基MEMS三维结构湿法腐蚀技术研究[D];武汉理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 贾宏新,吴志勇,方肇伦;微流控芯片免疫分析方法研究进展[J];分析化学;2005年10期
2 王国锋;钟北京;;微细通道中甲烷预混火焰传播的实验[J];清华大学学报(自然科学版);2006年02期
3 林博颖;张根烜;刘明侯;陈义良;;微小空腔内气体的预混燃烧[J];燃烧科学与技术;2007年03期
4 曾平;程光明;刘九龙;孙晓峰;;压电泵为动力源的计算机芯片水冷系统研究[J];压电与声光;2006年04期
5 刘虹,刘洁,杨立峰;MEMS的应用及发展前景[J];云南电大学报;2003年03期
6 胡国新,王明磊,李艳红;一种微细型腔内氢气与空气预混燃烧的实验研究[J];中国电机工程学报;2004年01期
7 刘志刚;徐建中;赵耀华;;微型钢管外表面温度场可视化实验研究[J];中国科学院研究生院学报;2006年03期
8 蒋炳炎;谢磊;谭险峰;鲁世强;;流道截面形状对微流体流动性能的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2006年05期
9 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
10 廉德亮,张海波,唐顺柏;集成过抽样∑-△A/D转换器设计研究[J];半导体技术;2002年08期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘清梅;超声波对金属凝固特性及组织影响的研究[D];上海大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 赵丽荣;卫星间激光通信的计算机仿真技术研究[D];长春理工大学;2004年
2 肖云凤;基于DSP的新型频率监控系统的开发研究[D];中南大学;2004年
3 钱剑锋;热电式微电源设计及性能研究[D];浙江大学;2005年
4 许毅;气浮主轴动静压特性分析及结构设计[D];天津大学;2005年
5 马凌宇;面向MEMS自动引线键合的显微视觉系统研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 吴浩;MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
7 周伟;基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究[D];东南大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 吕良;邓中亮;刘玉德;辛洪兵;;基于MEMS技术的汽车传感器研究进展[J];电工技术学报;2007年04期
2 马洁美;滕云田;王喜珍;王晓美;周鹤鸣;;基于微机电的速度型地震传感器技术仿真[J];地震地磁观测与研究;2006年02期
3 陈希明;周平;;光开关主流技术[J];光通信技术;2006年03期
4 胡雪梅;吕俊霞;;微机电系统的发展现状和应用[J];机电设备;2005年06期
5 张昱,潘武;MEMS封装技术[J];纳米技术与精密工程;2005年03期
6 喻言,欧进萍;无线加速度传感器的MEMS芯片ADXL202应用设计与集成[J];仪表技术与传感器;2005年08期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
2 喻言;结构健康监测的无线传感器及其网络系统[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 张先锋;微尺度流动及强化混合技术的研究[D];中国科学技术大学;2007年
4 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
5 谢勇君;MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 明安杰;8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
2 曹焱;微机械中静电梳齿结构的静动力学研究[D];西安电子科技大学;2006年
3 伍艺;基于MEMS光栅光调制器的机电特性及控制系统研究[D];重庆大学;2006年
4 马洁美;基于斜对称轴结构的差容式力平衡地震计的研制[D];中国地震局地球物理研究所;2006年
5 张熹焱;基于特种加工的微型压气机的设计与加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 杨慧敏;微管道流动中壁面粗糙度的影响机理[D];浙江大学;2006年
7 罗建强;开放式IC封装平台控制系统设计[D];上海交通大学;2007年
8 杨长勇;化学铸(镀)制备Ni-P合金微构件的研究[D];东南大学;2005年
9 贾晓丽;微梁机电耦合动力学[D];燕山大学;2007年
10 周鹏;微流控芯片与计算机间通信模型的研究[D];东华大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田文超,贾建援;MEMS微梁粘附“突陷”静力分析[J];机械科学与技术;2005年01期
2 赵晓峰,温殿忠;MEMS研究与发展前景[J];黑龙江大学自然科学学报;2002年01期
3 段润保,赵砚江,毛言理;微机械(MEMS)与微细加工技术[J];河北理工学院学报;2004年02期
4 霍鹏飞,马炳和,苑伟政;一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法[J];机械科学与技术;2005年02期
5 明安杰;李铁;周萍;王跃林;;大位移低电压的静电MEMS驱动器(英文)[J];半导体学报;2008年09期
6 苏维嘉;张澎;;基于嵌入式实时操作系统的动态数显倾角仪[J];工业控制计算机;2009年07期
7 倪烨;张怀武;钟智勇;;MEMS加速度计的发展趋势研究[J];硅谷;2010年19期
8 凌坚,万江文;一维MEMS微镜静电弹性耦合[J];微纳电子技术;2004年10期
9 林静,黄元庆;MEMS光开关的静电驱动技术[J];中国仪器仪表;2005年06期
10 唐立军;李倩;张开锐;;一种新型MEMS倾角仪的设计及测试[J];测试技术学报;2009年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
2 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
3 许建军;孔学东;李斌;师谦;;MEMS及微机械加速度计可靠性研究[A];第十一届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2005年
4 初建朋;郭方敏;赖宗声;;MEMS接触式开关的计算机模拟[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
5 石雄;刘娅;李捷;;基于系统级封装技术的车用压力传感器[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)[C];2008年
6 白占元;徐皑冬;;基于MEMS的倾角测量仪设计[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(一)[C];2007年
7 陈兴;崔大付;刘长春;李辉;耿照新;;基于MEMS技术的细胞分离芯片的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
8 谢兴军;;MEMS微波开关的设计与仿真[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
9 邓科;郭涛;苏娟;郭等柱;刘璐;陈徐宗;汪中;;CPT微型原子钟研究进展[A];2009全国时间频率学术会议论文集[C];2009年
10 吕树海;罗蓉;杨拥军;吕苗;;SDB技术在MEMS加速度计中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 范玉;基于MEMS的全固态双增益阿达玛光谱仪关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
2 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
3 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
4 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
5 赵江铭;横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究[D];上海大学;2006年
6 史玲娜;基于LED照明的MEMS光栅光调制器的光学投影系统分析与设计[D];重庆大学;2009年
7 许晓慧;基于PZT厚膜的MEMS微变形镜[D];中国科学技术大学;2008年
8 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
9 杜小振;环境振动驱动微型压电发电装置的关键技术研究[D];大连理工大学;2008年
10 刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
2 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
3 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
4 夏雪松;1.55微米激光MEMS扫描外差干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
6 李艳梅;四梁双层结构压阻式硅微加速度计的研究[D];长春理工大学;2006年
7 陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
8 胡春光;利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动[D];天津大学;2004年
9 汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
10 常洪龙;基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究[D];西北工业大学;2002年
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