收藏本站
《天津大学学报》 2006年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微结构振动特性的自由衰减测试方法

胡晓东  宋孝勇  栗大超  傅星  胡小唐  
【摘要】:为准确快速地对微结构的谐振频率和阻尼比进行测试和分析,组建了以激光多普勒测振仪为核心的微结构瞬态离面运动特性测试系统.附有压电驱动的微悬臂梁和微振动薄膜在斜波脉冲激励信号作用下产生自由衰减振动,通过激光多普勒测振仪将瞬态运动速度转换为模拟信号,经数据采集卡数字化后送入计算机,对其振动特性进行分析.实验测得MPA-41200-10型微悬臂梁谐振频率为48.676 kHz,阻尼比为0.002 9,微薄膜谐振频率为 25.446 kHz,阻尼比为0.042.实验结果与采用频率扫描方法测试的结果进行了对比,证实自由衰减振动法对微结构振动特性的快速测试是可行、有效的.

免费申请
【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张崇阳;基于虚拟仪器的结构件阻尼特性测量研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 蔡晨光,樊尚春;基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统[J];测控技术;2004年04期
2 顾利忠,左铭旺,苏菲;声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量[J];声学技术;2000年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李林;;精轧机扁头套失效影响因素分析及其改进[J];宝钢技术;2006年02期
2 武根虎,许福源,周鹏;风机振动的原因浅析[J];包钢科技;2003年S1期
3 王晓东;杨洋;佘东生;王涛;王立鼎;;MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法[J];测试技术学报;2008年05期
4 张宇;轧机主传动动力学CAD系统的研制[J];辽宁工程技术大学学报(自然科学版);2000年03期
5 李宁;韩晓健;李俊慧;;航天器微振动信号的地面测试方法[J];航天器环境工程;2011年01期
6 王先逵,应宝阁;金刚石微粉砂轮软弹性修整研究(Ⅰ)——软弹性修整法及其机理[J];金刚石与磨料磨具工程;1995年06期
7 周建刚;;立辊轧机主传动系统扭振的数值分析[J];机械工程师;2007年11期
8 马秋成,韩利芬,罗益宁,聂松辉;细长刀杆的结构分析[J];机械设计;2002年04期
9 方喜峰;陆宇平;吴洪涛;马闯;潘志华;潘殿生;;肘杆式数控转塔冲床运动和动力学分析与设计优化[J];机械与电子;2007年11期
10 陶魄;中厚钢板轧机扭矩监测的应用研究[J];机械设计与制造工程;2002年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 苏显渝;张启灿;李剑;李泽仁;;振动表面的光学三维测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 吴福忠;纸基蜂窝零件高速加工装夹系统中填料与回收方法的研究[D];浙江大学;2004年
2 王秋晓;摩托车发动机曲柄连杆总成动平衡测量系统与惯性力调整方法的研究[D];重庆大学;2005年
3 邱勋林;PP孔洞膜和PEN非孔洞膜的驻极体性质[D];同济大学;2006年
4 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
5 李伟;汽车传动系用双质量飞轮的设计方法与扭振隔振特性研究[D];吉林大学;2009年
6 孔胜利;微梁力学性能尺寸效应的研究[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高家意;振动轧制机理及其应用技术的研究[D];天津理工大学;2010年
2 王志强;平板振动夯压实原理的研究与实践[D];河北工业大学;2002年
3 陈文勇;基于IPC的单缸发动机曲柄连杆机构动平衡测试系统的研究[D];重庆大学;2003年
4 张王全;弧面分度凸轮运动特性及其参数化仿真研究[D];西北工业大学;2004年
5 陶艳玲;镁合金阻尼减振性能及机理研究[D];重庆大学;2004年
6 王峰;平面变自由度机构蜕变位置及运动顺序研究[D];燕山大学;2005年
7 刘昀强;利用显微激光多普勒技术测量微悬臂梁的机械特性[D];天津大学;2005年
8 宋孝勇;微结构振动特性的自由衰减测试方法[D];天津大学;2006年
9 周建刚;连轧管机组轧机系统强度的综合评价[D];内蒙古科技大学;2007年
10 马闯;肘杆式数控冲床的分析与优化[D];南京航空航天大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘月明,田维坚,刘君华;硅微悬臂梁谐振器的电激电拾方法研究[J];半导体光电;2003年06期
2 何洪涛,杨拥军,徐永青,吝海锋;引信用高g加速度计研究[J];微纳电子技术;2002年06期
3 刘莉,刘斌,康兴国;结构高过载实验的一种新方法[J];兵工学报;2000年S1期
4 李冰茹;王宣银;葛辉良;;基于统计能量分析方法的壳体系统振动声辐射特性影响因素研究[J];兵工学报;2008年08期
5 孙丽萍,聂武;船舶结构振动噪声分析及其进展[J];船舶力学;2003年01期
6 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿;微结构谐振梁式压力传感器研究[J];传感技术学报;2000年04期
7 郇勇,张泰华,杨业敏,曾昭君;用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力[J];传感技术学报;2003年02期
8 顾利忠,苏菲,赵颉,张以恒;静电激振法测量微机械材料的杨氏模量[J];材料科学与工程;2001年02期
9 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
10 张红虎;用脉冲声能衰变与脉冲反向积分法求混响时间之比较[J];电声技术;2005年03期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
2 金涛;虚拟仪器系统的误差分析方法的研究[D];重庆大学;2005年
3 刘梦伟;基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 吴启昌;材料及结构件阻尼特性的测量及应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
3 王钻开;微机械压阻式冲击加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
4 李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
5 吴伟;声振信号检测和分析技术的嵌入式系统研究[D];浙江大学;2006年
6 李楠;基于底座激励的微器件动态特性测试系统[D];大连理工大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 佘东生;王晓东;张习文;王立鼎;;低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统[J];光学精密工程;2010年10期
2 佘东生;王晓东;张习文;王立鼎;;高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究[J];仪器仪表学报;2010年11期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 顾利忠;蔡庆胜;胡轶;;光激励微型悬臂梁谐振器[J];应用激光;1991年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 姚立新;吕竹芬;谢清春;;药物控释芯片[J];功能材料与器件学报;2005年04期
2 张东梅;丁桂甫;汪红;姜政;姚锦元;;基于Sn/Bi合金的低温气密性封装工艺研究[J];功能材料与器件学报;2006年03期
3 王瑞金;楼少敏;;用于微机电系统的磁流体微泵的研究[J];功能材料与器件学报;2006年03期
4 郭琳瑞;叶雄英;周兆英;梁吉;;定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发射距离敏感特性[J];清华大学学报(自然科学版);2006年11期
5 李玉台;崔大付;刘长春;;基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制[J];微纳电子技术;2007年Z1期
6 孙双双;董静;任勇生;;形状记忆合金在机械工程中的研究与应用[J];机电产品开发与创新;2008年01期
7 苏雷龙;蒋书波;程明霄;何野;徐波;;基于MEMS微镜技术的近红外光谱仪的研究[J];光谱实验室;2011年02期
8 管荣根;倪国良;顾玲;;矿山工程机械中的有害振动及其控制[J];矿山机械;2006年09期
9 程钢;袁文生;赵国群;管延锦;;子午线轮胎振动特性实验研究[J];弹性体;2006年04期
10 李雪萍;丁桂甫;安藤妙子;式田光宏;佐藤一雄;;一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型[J];传感技术学报;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘梅;李玉和;林浩山;廖小华;;微探针振动特性的理论分析及实验研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(1)[C];2008年
2 何广乾;李宏阳;周游;;高层建筑复杂结构振动特性探讨[A];中国土木工程学会第八届年会论文集[C];1998年
3 屈文忠;王敏庆;闫孝伟;孙进才;;水中圆柱壳体振动特性和声辐射的有限元分析[A];中国声学学会2001年青年学术会议[CYCA'01]论文集[C];2001年
4 魏立群;瞿志豪;陈汉辉;;合金棒材轧机的齿轮箱振动实测分析[A];第七届(2009)中国钢铁年会论文集(下)[C];2009年
5 张珂;吴玉厚;张丽秀;潘振宁;;陶瓷电主轴单元的振动特性研究[A];第八届全国振动理论及应用学术会议论文集摘要[C];2003年
6 陈乐佳;骆东平;关珊珊;陈美霞;;潜艇双层壳体振动特性与声辐射性能FEM/BEM分析[A];第十届船舶水下噪声学术讨论会论文集[C];2005年
7 郝勇;李志强;杜发荣;张力;;大涵道比涡扇发动机的宽弦空心风扇叶片技术研究[A];大型飞机关键技术高层论坛暨中国航空学会2007年学术年会论文集[C];2007年
8 王飞;王军;程小全;;含损伤复合材料层合板振动特性研究[A];第十届中国科协年会论文集(三)[C];2008年
9 欧阳涛;段发阶;李孟麟;张玉贵;钟志才;石小江;范志强;;旋转叶片固有频率测试技术的研究[A];2008年航空试验测试技术峰会论文集[C];2008年
10 刘芹;任建亭;姜节胜;;埋入SMA丝的复合材料层合板在热激励下的自由振动分析[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 山东 李广文;简易LC谐振频率测试仪[N];电子报;2000年
3 广西 梁杰南;计算LC谐振频率的简便方法[N];电子报;2002年
4 本报记者 韩义雷 过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
5 恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier 恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋 两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
6 本报记者 梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
7 曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
8 ;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
9 本报记者 许泳;MEMS:越感知越火热[N];计算机世界;2010年
10 本报记者 王繁泓;定华:破解储罐液位测量难题[N];中国化工报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2 严细水;弹性地基的表面振动特性及其应用研究[D];浙江大学;2003年
3 雷宣扬;内燃机曲轴动态振动特性模拟及其裂纹故障分析[D];大连理工大学;2003年
4 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
5 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
6 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
7 李莉;1-3系压电复合材料及水声换能器研究[D];北京邮电大学;2008年
8 黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
9 王福吉;正负超磁致伸缩复合薄膜静动态特性及控制关键技术[D];大连理工大学;2005年
10 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐孝峰;水轮机叶片振动特性试验研究[D];华北电力大学(北京);2006年
2 白小芳;立轴风力机动态特性的研究[D];重庆大学;2007年
3 朱雨峰;翅片管换热器管束振动的研究[D];天津大学;2007年
4 杨冰;模拟运输振动工况下瓦楞纸箱动态性能的研究[D];江南大学;2008年
5 王汉民;城市轨道交通浮置板轨道振动特性研究及对邻近建筑物的影响[D];北京交通大学;2009年
6 盛丽娟;T型刚构桥的体外预应力加固技术研究[D];东北林业大学;2006年
7 王定贤;柱形爆炸容器振动特性的理论分析与实验研究[D];重庆大学;2007年
8 赵艳军;汽轮发电机转子匝间短路故障的机电联合诊断研究[D];华北电力大学(河北);2009年
9 朱光伟;基于LABVIEW的电力变压器在线振动监测系统的设计及研究[D];西华大学;2009年
10 许慧洋;船舶典型设备振动特性工程估算方法研究[D];上海交通大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026