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《天津理工大学学报》 2005年01期
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热丝CVD法制备金刚石膜

梁继然  常明  潘鹏  
【摘要】:采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜的形貌、成份、晶态等特性进行了分析,证实所获膜质量较好.

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 孙晖;金刚石薄膜的生长及导热模型研究[D];西北大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 宋雪梅,张兴旺,王波,陈光华,严辉;多排热丝沉积大面积金刚石薄膜中热丝参数的影响[J];北京工业大学学报;1999年03期
2 何贤昶,张志明,沈荷生,李戈扬;钨和钽丝碳化后的结构变化及其对金刚石成膜质量的影响[J];上海交通大学学报;1995年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 戚学贵,陈则韶,王冠中;优化HFCVD系统内衬底温度场的数值研究[J];真空科学与技术学报;2002年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 吴海兵;EACVD金刚石成膜设备与技术的研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 杨传径;氧化铝衬底上利用金刚石纳米粉引晶方法合成的高掺杂金刚石薄膜的特性研究[D];吉林大学;2006年
3 刘才龙;用于高压电学测量的金刚石膜微电路的集成[D];吉林大学;2007年
4 梁继然;自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究[D];天津理工大学;2005年
5 霍思涛;硼掺杂钛基金刚石薄膜电极的制备研究[D];天津理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙凤梅,潘建跃,罗启富,陶自春;PbO_2阳极材料的研究进展[J];兵器材料科学与工程;2004年01期
2 刘沙,易丹青,余志明,卢斌,王建华,李泳侠,邹丹;金刚石涂层用硬质合金基体表面预处理研究新进展[J];稀有金属材料与工程;2001年05期
3 何志斌,陈金华,刘登友,周海晖,旷亚非;甲醇燃料电池阳极电催化剂研究进展[J];电池;2004年04期
4 石忠宁,徐君莉,邱竹贤;金属陶瓷惰性阳极铝电解扩大实验研究[J];东北大学学报(自然科学版);2004年04期
5 涂传青,胡勇有;镀铬废水治理、资源回用技术及进展[J];电镀与环保;1999年03期
6 李朝晖,苏光耀,雷钢铁,高德淑,林原斌;有机硫聚合物锂蓄电池[J];电源技术;2001年06期
7 曾次元;李亮;赵心越;刘燕;;电化学氧化法除氨氮的影响因素[J];复旦学报(自然科学版);2006年03期
8 孙心瑗;周灵平;李宇农;余晓光;;热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进[J];粉末冶金工业;2005年06期
9 乔庆东,李琪,于大勇;钛基二氧化铅电极的制备及在电合成4-吡啶甲酸中的应用[J];抚顺石油学院学报;2002年01期
10 邓子峰,朱仲良,杨正炜,李通化;二茂铁修饰青椒籽碳糊电极测定抗坏血酸[J];分析化学;1999年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 宋曰海;不锈钢基不溶性催化电极的制备及其对难降解有机废水的电催化降解作用[D];北京化工大学;2007年
2 韩卫清;电化学氧化法处理生物难降解有机化工废水的研究[D];南京理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 王永明;微波等离子体低温CVD金刚石膜工艺和机理研究[D];武汉理工大学;2004年
2 张刚;Cu-Ni-NiFe_2O_4金属陶瓷的制备与性能研究[D];中南大学;2004年
3 杨莉;硬质合金/金刚石薄膜的制备和附着性能的研究[D];中南大学;2004年
4 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
5 刘刚;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];辽宁工程技术大学;2006年
6 张建刚;工业废水在循环冷却水系统中的生化、腐蚀与结垢行为研究[D];北京化工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 曾效舒,高志栋,梁吉,魏秉庆,吴德海;热丝CVD在涂巴基管硅基片上沉积大面积金刚石膜[J];人工晶体学报;1996年04期
2 高巧君,林增栋;在强碳化物形成元素衬底上生长金刚石薄膜的物理机制探索[J];物理学报;1992年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于盛旺;李晓静;张思凯;范朋伟;黑鸿君;唐伟忠;吕反修;;新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜[J];功能材料;2011年09期
2 杜康;徐伟;贺中信;吴智量;彭军;;甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响[J];光学仪器;2009年04期
3 张楷亮;王莎莎;王芳;吴小国;孙大智;;基于电感耦合氧等离子体金刚石膜表面修饰的功率优化[J];光电子.激光;2011年07期
4 翁国峰;湛玉龙;陶利平;付秋明;马志斌;;高压微波氢等离子体Balmer线系的实验[J];武汉工程大学学报;2011年07期
5 郑晓毅;徐伟;;微波氢等离子体的特性[J];物理实验;2011年08期
6 ;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 刘凤艳;刘宇星;刘敏蔷;侯碧辉;;负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
3 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;;氮气流量对金刚石膜生长的影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
4 王向东;;微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜的研究[A];中国科学技术协会首届青年学术年会论文集(工科分册·上册)[C];1992年
5 刘敬明;家建华;张恒大;蒋政;唐伟忠;吕反修;;CVD金刚石自支撑膜的高温氧化[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6 刘存业;李建;陈志谦;王跃;;CVD金刚石膜X-射线衍射分析[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年
7 翁俊;汪建华;熊礼威;满卫东;;新型MPCVD装置制备大面积CVD金刚石膜的研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
8 马国欣;向鹏;邱胜宝;邬纪泽;;CVD金刚石膜制备技术及应用进展[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
9 邱万奇;曾艳祥;贺礼贤;刘仲武;曾德长;钟喜春;余红雅;;铜基镶嵌结构界面金刚石涂层及其膜/基结合力的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
10 韩毅松;刘尔凯;玄真武;魏丽娟;;CVD金刚石膜在不同基体上焊接应力的研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 陈丹;瑞典科学家合成金刚石膜[N];科技日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
2 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
3 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
4 王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年
5 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年
6 徐锋;纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究[D];南京航空航天大学;2007年
7 汪磊;等离子体薄膜表面制造中的偏压效应研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 陈荣发;光学级金刚石厚膜应用于红外窗口的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏飞;微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响[D];武汉工程大学;2012年
2 胡双;DC-PCVD法硼掺杂金刚石膜的制备及其生长特性研究[D];吉林大学;2012年
3 杜康;MPCVD金刚石膜的制备及其应用的研究[D];广州大学;2010年
4 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
5 刘军伟;沉积条件对CVD金刚石膜生长及其掺杂影响的研究[D];吉林大学;2011年
6 齐海东;直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜及其微结构研究[D];吉林大学;2007年
7 李晨;金刚石膜的应力研究[D];长春理工大学;2009年
8 孙宝茹;大面积金刚石厚膜的制备[D];吉林大学;2005年
9 李柳暗;压强及氮气对HFCVD硼掺杂金刚石膜的制备及性质影响[D];吉林大学;2010年
10 林志伟;金刚石膜制备及其在机械加工领域的应用[D];长春理工大学;2008年
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