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《实验技术与管理》 2011年06期
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椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析

陈星  童晟飞  王正忆  叶兵  
【摘要】:运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度。通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度。
【作者单位】浙江大学物理系;
【分类号】:O484.5

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 童晟飞;王正忆;陈星;;光学薄膜椭圆偏振数据反演的优化算法[J];物理实验;2012年09期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 黄佐华,吴雪忠,何振江,杨冠玲;椭圆偏振法数据处理软件设计[J];大学物理;2004年09期
2 廖清君,王植恒,王磊,周传宏,赖成军,刘细成;模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用[J];光学学报;2002年06期
3 王党社;张建科;徐均琪;;薄膜光学常数的粒子群算法[J];计算物理;2008年02期
4 潘永强;吴振森;;椭偏光散射分析类金刚石薄膜的散射特性[J];强激光与粒子束;2008年06期
5 王洪涛;椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理[J];物理实验;2001年07期
6 沈沪江,王林军,方志军,张明龙,杨莹,汪琳,夏义本;金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究[J];物理学报;2004年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张牧;张诚;陈才和;王金海;张波;岳泉;;基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计[J];电子器件;2007年01期
2 程敏熙;何振江;黄佐华;;分振幅斯托克斯参量的椭偏测厚方法[J];光电工程;2009年07期
3 袁纵横;张丽娟;李建龙;;用光栅的正负一级能量之比测量光栅参数的可行性研究[J];光学技术;2006年04期
4 李建龙,傅克祥,张丽娟;用光栅的±1级能量之比测量光栅参量[J];光学学报;2005年10期
5 张丽娟;卢向东;欧伟英;;对正负一级能量之比测量光栅参量方法的改进[J];光学学报;2006年11期
6 孙兆奇;曹春斌;宋学萍;蔡琪;;氧化铟锡薄膜的椭偏光谱研究[J];光学学报;2008年02期
7 荆龙康;蒋玉蓉;倪婷;;自适应模拟退火遗传算法在薄膜厚度及光学常数反演中的应用[J];光学技术;2012年02期
8 李易;冯国英;马孜;;一种自适应交叉率和变异率的薄膜遗传算法[J];光学与光电技术;2009年01期
9 孔祥飞;郭强;李春;元光;;金刚石薄膜对硝酸钾红外吸收特性的影响[J];光谱学与光谱分析;2012年09期
10 王佩红,王磊,蔡琪,孙兆奇;动态椭偏光谱技术及其在薄膜测量中应用的研究[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2005年08期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 沈燕龙;张维佳;赵而敬;张静;杨东杰;林军;亚克;;氢化纳米硅薄膜的椭偏表征[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
2 程敏熙;何振江;黄佐华;;偏振光斯托克斯参量的测量和应用[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 唐雄贵;厚胶光学光刻技术研究[D];四川大学;2006年
2 邓元龙;外差干涉椭圆偏振测量的理论与实验研究[D];天津大学;2007年
3 李素萍;电磁波在左手材料平板波导中的传输[D];上海大学;2009年
4 吴芳;Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2011年
5 巩蕾;基片与缺陷粒子的复合光散射研究及应用[D];西安电子科技大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵利;电子束蒸发制备TiO_2薄膜及光学性能的研究[D];武汉理工大学;2003年
2 卢向东;椭偏法测量光栅参数的理论研究[D];四川大学;2003年
3 赖成军;多光束干涉全息法制作衍射光学元件[D];四川大学;2003年
4 刘细成;透射光谱法测量薄膜参数的研究[D];四川大学;2003年
5 王芳宁;提高椭偏测量中薄膜参数精度的研究[D];四川大学;2004年
6 陈恭敬;光学薄膜常数计算方法与测量系统的研究[D];电子科技大学;2005年
7 张丽娟;透射光谱法测量光栅参数的研究与全抗反射膜的设计[D];四川大学;2005年
8 王党社;类金刚石薄膜光学特性测量与参数反演[D];西安电子科技大学;2006年
9 曹春斌;椭圆偏振光谱技术及其对功能薄膜材料的性能表征[D];安徽大学;2006年
10 王礼娟;模拟退火单纯形联合算法在椭偏数据处理中的应用[D];华南师范大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 廖清君,王植恒,王磊,周传宏,赖成军,刘细成;模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用[J];光学学报;2002年06期
2 周建华,游佰强,洪志哲;反射式椭偏测试系统的全局优化算法[J];激光与红外;2005年03期
3 王党社;张建科;徐均琪;;薄膜光学常数的粒子群算法[J];计算物理;2008年02期
4 王洪涛;椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理[J];物理实验;2001年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 廖清君;单波长消光椭偏仪的数据处理研究[D];四川大学;2002年
2 刘细成;透射光谱法测量薄膜参数的研究[D];四川大学;2003年
3 张丽娟;透射光谱法测量光栅参数的研究与全抗反射膜的设计[D];四川大学;2005年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨维,李歧强;粒子群优化算法综述[J];中国工程科学;2004年05期
2 彭子龙,李佐宜,胡煜,谭立国,杨晓非;遗传算法在椭圆偏振测量中的应用[J];光学技术;2000年03期
3 黄佐华,何振江,杨冠玲,傅强,宁惠军;多功能椭偏测厚仪[J];光学技术;2001年05期
4 廖清君,王植恒,王磊,周传宏,赖成军,刘细成;模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用[J];光学学报;2002年06期
5 黄志明,季华美,陈敏挥,史国良,陈诗伟,陈良尧,褚君浩;GaAs体材料折射率红外椭圆偏振光谱研究[J];红外与毫米波学报;1999年01期
6 白婷;刘晶儒;叶景峰;王晟;叶锡生;;宽波段的类金刚石薄膜光学窗口[J];强激光与粒子束;2006年10期
7 吴永汉,窦菊英;椭偏法测膜厚的直接计算方法[J];物理实验;1998年01期
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9 刘卓建,唐振方;椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理[J];自动化仪表;2003年11期
10 吴启宏;;吸收薄膜光学常数的偏振测量[J];浙江大学学报;1981年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱筱玮;于金涛;陈永丽;;椭圆偏振仪测量误差的修正[J];西安工业大学学报;2008年02期
2 马逊,刘祖明,陈庭金,廖华;椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率[J];云南师范大学学报(自然科学版);2005年04期
3 孙艳,赵宏,王昭;光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析[J];半导体光电;2005年04期
4 顾易瓅;郑百林;贺鹏飞;张士元;;固体薄膜/液体膜/基底层状结构中液体膜/基底界面不平整性对结构稳定性影响[J];应用力学学报;2005年04期
5 赵汝进;马孜;姚远程;何长涛;;基于V/F变换下的数字相敏检测监控光学膜厚[J];激光杂志;2007年03期
6 魏雄邦;吴志明;王涛;许向东;唐晶晶;蒋亚东;;氧化钒薄膜的厚度对薄膜电学特性的影响[J];材料导报;2008年03期
7 胡翠英;钟金钢;高应俊;胡雅婷;;基于显微数字全息的生物薄膜折射率的测量[J];光电子.激光;2010年01期
8 刘世清,曹柏林,程晓曼;在椭偏测厚中用TI——59计算器直接计算薄膜厚度[J];物理实验;1984年04期
9 张祖妤;周虚;;楔形薄膜光波耦合器的研究[J];北京邮电大学学报;1985年04期
10 方治元;;金属薄膜厚度的测量[J];物理实验;1988年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张兴旺;严辉;王波;路永刚;陈光华;;偏压对c-BN薄膜生长特性的影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2 程晓农;刘红飞;张志萍;屈展;;射频磁控溅射法制备Al_2(WO_4)_3薄膜[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
3 刘结平;乔晓平;曹启坤;;薄膜厚度与结晶温度对聚合物薄膜球晶结构的影响[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
4 刘华敏;刘赵淼;;不计表面张力的倾斜基底上的DIP COATING[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年
5 金浩;王德苗;董树荣;;薄膜材料的微波复介电常数测量[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
6 蔡琪;孟凡明;宋学萍;孙兆奇;;基于透射光谱确定薄膜厚度的一种新方法[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
7 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
8 孟长功;王德和;崔立山;陶德宏;杨大智;;压电陶瓷薄膜的原位水热化学制备[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
9 杜军;杜丕一;韩高荣;翁文剑;汪建勋;;常压化学气相沉积法在玻璃上制备TiSi_2薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
10 黄光周;于继荣;刘雄英;杨英杰;;基于ARM实时光学薄膜厚度监控的研究[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 赵江;薄膜厚度的常用测量方法[N];中国包装报;2004年
2 刘国信;透明标签将成标签主流[N];中国食品质量报;2005年
3 符朝贵 王德成;原料的输送和干燥对薄膜生产的影响[N];中国包装报;2005年
4 ;软包材厚度均匀性与包装成本[N];中国包装报;2006年
5 陈强;新型SiOx高阻隔薄膜的制备技术[N];中国包装报;2007年
6 王立群;吹塑法工艺及设备[N];中国包装报;2006年
7 严晶;新型母料有效提高制成品质量[N];中国包装报;2006年
8 冯树铭;聚酯薄膜质量控制及其性能检测[N];中国包装报;2009年
9 金文;浅谈复膜中的助剂影响[N];中国包装报;2006年
10 姚耀富;用身边故事诠释和谐企业[N];中国化工报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田雪松;用于抗激光致盲的氧化钒薄膜制备及光学相变特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
2 黄正兴;薄膜热导率的测试与分子动力学模拟研究[D];大连理工大学;2007年
3 贾莉;低成本制备氧化锆薄膜燃料电池的研究[D];大连理工大学;2006年
4 杨长红;钛酸盐类铁电薄膜的制备及其性能研究[D];山东大学;2006年
5 黄硕;微型热式气体流量传感器的稳态传热研究[D];浙江大学;2009年
6 陆利新;PECVD非晶硅薄膜制程工艺仿真建模[D];上海大学;2010年
7 黄殿武;表面应力对微结构元件力学行为的影响[D];中国科学技术大学;2006年
8 凌云;用于相变存储器的硫系化合物及器件研究[D];复旦大学;2006年
9 晏建武;纳米Ni-Cr薄膜的制备、表征及其性能研究[D];中南大学;2006年
10 熊杰;YBCO高温超导带材的制备和实用化研究[D];电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴;基于红外法的薄膜厚度测量仪的研制[D];哈尔滨工业大学;2011年
2 罗婷;白光干涉测量光学薄膜厚度[D];南京理工大学;2011年
3 李浩然;条纹法则测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2012年
4 杨柳滨;LED芯片工艺参数分析测试技术的研究[D];复旦大学;2009年
5 方欣;溶胶—凝胶法制备多孔二氧化硅薄膜的研究[D];电子科技大学;2009年
6 辛金栋;纳米级金属薄膜厚度的SPR检测方法研究[D];天津大学;2012年
7 廖清君;单波长消光椭偏仪的数据处理研究[D];四川大学;2002年
8 万文博;空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2011年
9 郑建万;等离子化学气相沉积装置的研制及有机磁性薄膜的制备[D];华中科技大学;2006年
10 葛锦蔓;干涉法测量膜厚方法及干涉图处理技术研究[D];西安工业大学;2010年
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