收藏本站
《沈阳工业大学学报》 1999年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

新型SiO-Ta_2O_5复合介质薄膜电容器的研究

韦春才  李和太  
【摘要】:研制出一种新型SiO-Ta2O5复合介质薄膜电容器,复合介质膜是用溅射法将SiO和Ta2O5材料溅射在微晶玻璃片上形成的,其下电极Al和上电极Au是用蒸发法制备的.这种电容器具有耐压强度高、损耗小、漏电低、精度高、稳定性好、合格率高等特点.

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 韦春才;薄膜电路中电阻与电容的制造研究[J];沈阳工业大学学报;1990年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
2 赵以贵;厚膜微压传感器的线性化[J];安徽水利水电职业技术学院学报;2004年02期
3 张德元,林勤,陆德平,罗文,许兰萍,曾卫军;钽表面渗氮层的氧化行为[J];中国表面工程;2000年03期
4 王铁生;检测电动机FG信号用磁敏电阻器的设计[J];传感技术学报;1996年01期
5 孙慧明,于泉,郭宏伟,范茂军;单向过载传感器厚膜混合集成电路[J];传感器技术;2001年01期
6 周喆,罗文,张德元,曾卫军,付青峰,廖钟亮;钽表面非晶层的制备方法[J];材料保护;2002年08期
7 赵登涛,狄国庆,朱炎;反应溅射制备非晶Al_2O_3薄膜的介电特性[J];材料科学与工程;2000年03期
8 林香祝,薛玉娥;薄膜厚度监测[J];稀有金属材料与工程;1989年02期
9 朱炳林,王家新;厚膜电阻的激光调整和图形设计[J];电子元件与材料;1991年03期
10 吴炜;片式电阻器阻值命中率的研究[J];电子元件与材料;1992年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 杨亮;曹阳;林仕伟;;真空镀膜实验教学初探[A];绿色制造与低碳经济——2010年海南省机械工程学会、海南省机械工业质量管理协会“年会”暨机械工程科技学术报告会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
2 戴伟;射频磁控溅射制备TiB_2超硬薄膜及其显微结构和性能的研究[D];华中科技大学;2011年
3 赵晓华;单晶硅基LaB_6薄膜的磁控溅射制备工艺及生长机制[D];山东大学;2011年
4 王琼华;投影管中高亮度高分辨率YAG荧光屏的研制[D];电子科技大学;2000年
5 周幼华;脉冲激光沉积法制备β-FeSi_2半导体薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
6 孙秀娟;化学法制备负热膨胀性ZrW_2O_8粉体及薄膜[D];江苏大学;2009年
7 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
8 朱新德;掺锶锰酸镧薄膜的制备工艺及电性能研究[D];山东大学;2009年
9 郭党委;高频用Ni-Zn铁氧体薄膜的结构与磁性[D];兰州大学;2010年
10 谢建平;原子力和磁力显微镜对液相基底表面金属薄膜微观结构和磁特性的研究[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 米高园;用不同溅射方法镀制SiO_2薄膜光学特性的研究[D];西安工业大学;2011年
2 刘广庆;磁控溅射技术设计合成ReB_2/TaN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2011年
3 蒋定兵;X波段小型化下变频器的研究与设计[D];电子科技大学;2011年
4 张雪珍;溶胶—凝胶法制备PZT薄膜的研究[D];长春理工大学;2011年
5 丛伟;冷轧和熔焊对Fe-Al合金层组织结构及高温抗氧化性能的影响[D];南京航空航天大学;2010年
6 石雨;厚膜NTC热敏电阻浆料的制备与性能研究[D];桂林电子科技大学;2010年
7 李刚;Ag/SiO_2复合纳米薄膜的光学性质[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 夏丰金;钽薄膜电阻的制备及性能研究[D];湖南大学;2009年
9 王姗姗;Ni、Ag、Cr电沉积薄膜的制备及其微观组织和力学性能分析[D];河南科技大学;2011年
10 张洁;激光微熔覆导电膜与基板的粘附性及可焊性的研究[D];华中科技大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 胡南山,姚国荣,俞志中,乔世忠;射频衬底偏压溅射TLMM薄膜电容器[J];电子元件与材料;1985年05期
2 曹经华;微带薄膜电容器的研制[J];电子元件与材料;1986年02期
3 ;误差在±1%内的薄膜电容器[J];电子技术;1977年05期
4 张伟祖;能改善高频开关电源性能和效率的薄膜电容器[J];电子元件与材料;1988年02期
5 ;新产品新技术简讯 (一 ) 上海希瑞电子设备有限公司新产品一览[J];电子与自动化;2000年03期
6 顾爱国,叶俊;提高剥容的金属化聚碳酸酯薄膜电容器的绝缘合格率[J];微电子技术;2000年03期
7 任蓉莉;荆萌;张国勇;;薄膜电容赋能仪的研制[J];电子工业专用设备;2010年01期
8 陈德宏;国产薄膜电容器自动分选机的更新换代[J];电子元件与材料;2000年02期
9 王思莉;薄膜电容器脉冲性能浅析[J];电子质量;2002年10期
10 曹经华;;微带薄膜电容器的设计和制造工艺[J];现代雷达;1984年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张浩康;钟锐;黄蕙芬;;有源矩阵液晶显示用MIM薄膜二极管的工艺研究[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
2 徐毅;曹兆铿;刘逸忠;肖田;李德杰;;直流磁控反应溅射制作Ta_2O_5的工艺和电学特性研究[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
3 陈永真;才爽;;用薄膜电容器替代铝电解电容器的分析与实践[A];2008中国电工技术学会电力电子学会第十一届学术年会论文摘要集[C];2008年
4 陈永真;;用薄膜电容器替代铝电解电容器的分析与实践[A];浙江省电源学会第十一届学术年会暨省科协重点科技活动“高效节能电力电子新技术”研讨会论文集[C];2008年
5 秦川;谢俊;朱运永;连瑞蓉;张启东;李金龙;;内串式薄膜电容器绝缘电阻探测技术[A];中国电子元件行业协会电容器分会有机电容器专业委员会第十一届技术交流会论文集[C];2009年
6 姚书典;沈嘉年;孙娟;陆成就;孙力;;涂层钛阳极的强化寿命试验方法和电解条件的研究[A];2005中国钢铁年会论文集(第3卷)[C];2005年
7 ;精密金属化薄膜电容器工艺探讨[A];中电元协电容器分会有机电容器专业委员会第九届技术交流会论文集[C];2007年
8 肖体鹏;周卫东;刘健;;PPS有机电容器的研究进展[A];中国电子元件行业协会电容器分会有机电容器专业委员会第十届技术交流会论文集[C];2008年
9 刘肖;滕曼;;离子色谱法测定五氧化二钽和五氧化二铌中痕量氟、氯和硫酸根离子的前处理方法[A];第11届全国离子色谱学术报告会论文集[C];2006年
10 戴国水;;无铅喷金料国内外发展现状与展望[A];中国电子元件行业协会电容器分会有机电容器专业委员会第十届技术交流会论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 于凌宇;薄膜电容器:市场竞争加剧[N];中国电子报;2003年
2 龙文平 向猛 记者万斌;六和电子:薄膜电容器行业的排头兵[N];宜春日报;2010年
3 潘清;薄膜电容器市场前景看好[N];中国信息报;2004年
4 李清;等待突破寻求上升[N];中国电力报;2004年
5 于丽红;中国薄膜电容器市场兴旺[N];中国化工报;2004年
6 任爱青;铜峰电子:稳居电容器产业链高端[N];中国电子报;2008年
7 中投证券 王海军;法拉电子 行业龙头 超预期成长[N];证券时报;2008年
8 证券时报记者  袁立波;G铜峰拟定向增发1亿A股[N];证券时报;2006年
9 中投证券;法拉电子(600563) 超预期成长值得期待[N];上海证券报;2008年
10 余凯;铜峰电子(600237):薄膜电容器市场兴旺[N];深圳特区报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 许蕾蕾;基于多酸的杂化催化剂的设计及其在生物柴油合成中的应用[D];东北师范大学;2009年
2 杨霞;二元及三元纳米复合光催化材料的设计制备及其催化行为研究[D];东北师范大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 陆峰;五氧化二钽MOS器件的电学特性及稳定性研究[D];浙江师范大学;2012年
2 赵映林;有机介质薄膜电容器高压包封材料研究[D];电子科技大学;2012年
3 姜俊峰;基于氮化钛上的铱钽混合氧化物催化剂电催化性能的研究[D];中国海洋大学;2006年
4 才玺坤;金属氧化物薄膜的电学特性及其在薄膜晶体管中的应用[D];浙江大学;2012年
5 杨艳青;Ta_2O_5反蛋白石结构光子晶体的制备及其光学特性的研究[D];太原理工大学;2011年
6 潘齐凤;片式钽电容器浪涌电流失效研究[D];电子科技大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026