1 |
牟宗信,李国卿,关秉羽;对靶非平衡磁控溅射系统平面探针诊断[J];真空;2002年05期 |
2 |
柳翠,李国卿,张成武,李新;非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能[J];材料研究学报;2004年02期 |
3 |
李芬;朱颖;李刘合;卢求元;朱剑豪;;磁控溅射技术及其发展[J];真空电子技术;2011年03期 |
4 |
刘瑞鹏;李刘合;;磁控溅射镀膜技术简述[J];中国青年科技;2006年08期 |
5 |
惠迎雪,杭凌侠,徐均琪;磁控溅射薄膜沉积速率的研究[J];西安工业学院学报;2005年04期 |
6 |
杨文茂,刘艳文,徐禄祥,冷永祥,黄楠;溅射沉积技术的发展及其现状[J];真空科学与技术;2005年03期 |
7 |
齐雪莲;任春生;马腾才;;射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术[J];真空;2006年05期 |
8 |
惠迎雪,杭凌侠,徐均琪,陈伟;不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究[J];西安工业学院学报;2003年01期 |
9 |
汪洪波;杨林生;;非平衡磁控溅射沉积CrN用于液压杆件的研究[J];真空;2011年03期 |
10 |
侯惠君;李洪武;林松盛;朱霞高;林凯生;代明江;;掺钨类金刚石膜的制备与性能研究[J];广东有色金属学报;2006年03期 |
11 |
齐雪莲;任春生;张健;麻冰欣;马腾才;;射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响[J];核聚变与等离子体物理;2007年03期 |
12 |
苏俊宏;谢松林;徐均琪;;非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的激光损伤过程研究[J];真空科学与技术学报;2008年04期 |
13 |
景凤娟;张琦;冷永祥;孙鸿;杨苹;黄楠;;非平衡磁控溅射制备氮化硅薄膜及其性能研究[J];真空科学与技术学报;2009年05期 |
14 |
肖晓玲;张馨;李福球;侯惠君;林松盛;;TiC/DLC多层膜的制备及组织形态[J];真空科学与技术学报;2010年06期 |
15 |
高鹏,刘传胜,吴大维,彭友贵,范湘军;用非平衡磁控溅射法制备CN_x薄膜[J];武汉大学学报(理学版);2001年01期 |
16 |
付永辉,朱晓东,何家文,YANG Shi-cai;非平衡磁控溅射沉积类石墨膜及其摩擦磨损性能研究[J];摩擦学学报;2003年06期 |
17 |
代明江,林松盛,侯惠君,朱霞高,李洪武,况敏;用离子源技术制备类金刚石膜研究[J];中国表面工程;2005年05期 |
18 |
周晖;温庆平;郝宏;谭立;王长胜;薛德胜;;非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究[J];摩擦学学报;2006年02期 |
19 |
杨武保;杜建;赵震;翁永基;张守忠;董琪;;非平衡磁控溅射法Ti/TiO_2薄膜的制备及分析[J];真空科学与技术学报;2006年02期 |
20 |
张馨;肖晓玲;洪瑞江;罗承萍;林松盛;;掺杂钨类金刚石膜的显微结构与性能[J];机械工程材料;2009年09期 |