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《四川大学学报(自然科学版)》 1999年06期
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离子束辅助沉积MoS_2-Ag复合膜氧化行为的研究

王培录  刘仲阳  廖小东  郑思孝  孙官清  
【摘要】:用XPS分别检测了在相对湿度 60 %~ 75 %的室温环境下存放 60d、10 0 %湿度环境下存放 45d以及在 430℃高温加热 1h的离子束辅助沉积MoS2 Ag复合膜中的Mo与S元素的电子结构 .发现在 10 0 %的湿度和 430℃高温环境下 ,MoS2 Ag复合膜的抗氧化特性远优于同条件沉积的纯MoS2 膜 .结合XRD对MoS2 Ag膜的分析 ,讨论了这种膜抗氧化性能提高的可能机制 .