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《润滑与密封》 2007年12期
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工艺条件对类金刚石薄膜在不同介质环境下摩擦学性能的影响研究

凌智勇  丁建宁  范真  宋向前  朱爱军  
【摘要】:考察了基底负偏压对类金刚石薄膜(DLC)在无水和有水环境下摩擦性能的影响。利用电子回旋共振等离子体化学气相方法沉积制备DLC薄膜,利用激光拉曼(Raman)、原子力显微镜(AFM)和纳米硬度计表征了其结构特征,用UMT型多功能摩擦磨损实验机考察了其摩擦性能,并用光学显微镜分析了磨痕特征。结果表明:随着基底偏压的增加,表面粗糙度减小;在无水条件下,基底偏压较低的DLC薄膜摩擦因数较高,并存在一定的波动性,基底偏压较高时,摩擦因数较低。在有水条件下,基底偏压对摩擦因数影响不大。总体来说,加水后薄膜磨损较为严重。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
2 谷坤明;王超;毛斐;虞烈;汤皎宁;;ECR-CVD制备类金刚石碳膜的正交实验法研究[J];润滑与密封;2011年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张伟;铬含量及摩擦条件对掺铬DLC膜摩擦磨损性能的影响[D];中国地质大学(北京);2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李文星;;煤矿机械中水润滑技术的应用[J];煤矿机械;2012年11期
2 付俊兴;王谦之;周飞;;类金刚石薄膜水润滑摩擦学特性研究进展[J];润滑与密封;2012年07期
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中国重要会议论文全文数据库 前4条
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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中国硕士学位论文全文数据库 前8条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 赵栋才;任妮;马占吉;邱家稳;肖更竭;武生虎;;掺铜对DLC膜力学性能影响研究[J];中国表面工程;2008年05期
4 陈新春;彭志坚;付志强;王成彪;;梯度掺杂和纳米多层调制类金刚石薄膜的摩擦学性能[J];中国表面工程;2010年02期
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6 张碧云;曲燕青;谢红梅;聂朝胤;;类金刚石膜的制备技术及应用领域概况[J];表面技术;2007年03期
7 褚颖;成艳;郑玉峰;周艺;王彦波;熊晓玲;魏世成;;PC树脂上沉积DLC薄膜耐磨性与透光性的研究[J];表面技术;2010年04期
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 王鹏;陈友明;张广安;刘维民;张俊彦;;Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
2 逄显娟;石雷;王鹏;张广安;张俊彦;刘维民;;磁控溅射沉积Ti、AI掺杂的类金刚石碳薄膜的摩擦学性能[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
3 王成兵;张俊彦;;类金刚石薄膜的摩擦化学研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 张艳;rf PECVD法在不锈钢表面沉积类金刚石碳膜的性能研究[D];东北大学;2006年
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【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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3 蒋书文,尹光福,郑昌琼,张利,孟永刚;类金刚石碳膜/Ti6Al4V钛合金梯度材料的生物摩擦学性能研究[J];航天医学与医学工程;2001年04期
4 王家序,陈战,秦大同;以水为润滑介质的摩擦副关键问题研究[J];润滑与密封;2001年02期
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王丽莉;胡文军;万强;赵晓平;;第一原理分子动力学研究类金刚石薄膜的结合强度与摩擦性能[J];分子科学学报;2010年06期
2 张晶;范真;;类金刚石薄膜纳米摩擦性能的试验研究[J];工具技术;2009年02期
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6 乐可锡;;高性能新型金刚石薄膜刀具[J];机械制造;1993年10期
7 朱纪军,左敦稳,王珉;过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的性能分析[J];表面技术;1998年05期
8 黄丽娜,江河清,张治军,徐洮,刘维民;乙腈中电化学法制备类金刚石薄膜[J];化学研究;2004年03期
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10 喻志农,沈思宽,孙鉴;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的力学特性[J];机械科学与技术;2001年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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3 梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
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7 姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8 张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
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10 周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘砺平;山西市场三分之一的刹车片不合格[N];人民公安报·交通安全周刊;2006年
2 韩玉斌时琼;电力机车咽喉部件技术填补国内空白[N];中国质量报;2008年
3 ;高性能BOPP薄膜的研究[N];中国包装报;2005年
4 海红;体育设施建设主打高新技术[N];中国体育报;2006年
5 中国摩擦密封材料协会 谭康;以人为本崇尚环保[N];中国建材报;2002年
6 谭康;规范行业标准打造品牌[N];中国建材报;2004年
7 ;材料摩擦系数的正确检测以及注意事项(下)[N];中国包装报;2006年
8 兰文;Labthink兰光将以新形象亮相 2007华南国际包装展[N];中国包装报;2007年
9 朱来英;Labthink兰光将以崭新形象 亮相2007华南国际包装展[N];消费日报;2007年
10 宋玉春;氟化学工业曙光初现[N];中国化工报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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4 李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
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8 唐玮;皮肤的纳米生物摩擦学行为研究[D];中国矿业大学;2010年
9 杜赵群;纱线与织物同机弯曲表征及建模分析[D];东华大学;2006年
10 颜红侠;界面对氰酸酯树脂复合材料性能的影响研究[D];西北工业大学;2006年
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3 赵茜;用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究[D];电子科技大学;2011年
4 骆仕丹;类金刚石薄膜的相变参数研究和应用[D];西南交通大学;2010年
5 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
6 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
7 张林州;类金刚石薄膜的分子动力学和第一性原理研究[D];燕山大学;2012年
8 黄国俊;硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D];西安工业大学;2011年
9 强力;低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];兰州理工大学;2012年
10 庞见华;微波ECR等离子体增强溅射制备类金刚石薄膜及沉积过程的等离子体在线诊断[D];大连理工大学;2012年
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