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《人工晶体学报》 2005年06期
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反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器设计与数值模拟

徐谦  左然  张红  
【摘要】:本文分析了现有的MOCVD反应器存在的不足,提出了一种新型的反向流动垂直喷淋式反应器:反应气体从基片上方的许多平行小喷管喷入反应区,反应后的尾气又从基片上方出口排出,从而减少了反应物浓度沿衬底径向的不均匀性。通过对反应器进行三维数值模拟,改变喷管的中心距、喷管端与衬底的距离、流量、气体压强等参数,确定了反应室内衬底上方温度场与浓度场为最佳时的参数组合。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 聂宇宏;刘勇;姚寿广;;径向三重流MOCVD反应器壁面温度的数值模拟[J];半导体学报;2007年01期
2 胡晓宇;陈海昕;;基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化[J];电子工业专用设备;2008年07期
3 胡莹璐;李培咸;李志明;吴丽敏;刘红才;李丁玮;白俊春;;MOCVD片式红外辐射系统调节曲线的仿真与分析[J];电子科技;2012年01期
4 徐谦;杨丽英;张红;;MOCVD反应器输运过程的研究综述与展望[J];装备制造技术;2007年10期
5 徐谦;左然;张红;;MOCVD生长GaN的反应动力学分析与数值模拟[J];化工学报;2009年02期
6 李晖;;喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计[J];集美大学学报(自然科学版);2011年03期
7 徐谦;左然;;反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器生长GaN的化学反应数值模拟[J];人工晶体学报;2007年02期
8 李志明;郝跃;张进成;许晟瑞;毕志伟;周小伟;;氮化物MOCVD反应室流场的仿真与分析[J];人工晶体学报;2010年01期
9 李志明;郝跃;张进成;陈炽;薛军帅;常永明;许晟瑞;毕志伟;;立式MOCVD反应室中一种刻槽基座的热分析[J];人工晶体学报;2010年04期
10 李桂琴;陆利新;王成刚;;PECVD反应室的气流场模拟分析[J];真空;2012年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李志明;郝跃;张进成;;电磁加热的MOCVD反应室温度场的仿真与优化[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陆利新;PECVD非晶硅薄膜制程工艺仿真建模[D];上海大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王船宝;基于CFD的硅基应变材料生长动力学研究[D];西安电子科技大学;2011年
2 白俊春;GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究[D];西安电子科技大学;2009年
3 王文涛;金属有机物化学气相沉积反应腔建模与仿真[D];华中科技大学;2008年
4 徐谦;反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器输运过程的数值模拟[D];江苏大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王婷婷;马庆元;郭继平;;平板层流边界层近似速度分布计算方法的改进[J];鞍山科技大学学报;2006年06期
2 王训宏;王快社;徐可为;胡锴;;搅拌摩擦焊接过程塑性流动形态与试验分析[J];兵器材料科学与工程;2006年06期
3 熊艳,毛军,薛琳;平板层流边界层定常流动存在相似性解区域的分析[J];北方交通大学学报;2003年04期
4 杨基忠,俞大卫;车辆筒式减振器高频畸变特性研究[J];兵工学报(坦克装甲车与发动机分册);2000年01期
5 俞大卫,罗金良;汽车筒式减振器异响成因分析[J];兵工学报(坦克装甲车与发动机分册);2000年01期
6 阚萍;毛新星;钱立军;;液体粘性联轴器驼峰特性的分析研究[J];车辆与动力技术;2009年02期
7 马飞,张文明;淹没水射流土层扩孔方程[J];北京科技大学学报;2005年03期
8 马飞;宋志辉;;水射流动力特性及破土机理[J];北京科技大学学报;2006年05期
9 马飞;张文明;;水射流扩孔喷嘴内部流场的数值模拟[J];北京科技大学学报;2006年06期
10 覃文洁;胡春光;郭良平;左正兴;;近壁面网格尺寸对湍流计算的影响[J];北京理工大学学报;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李亚军;姚军;;裂缝型介质等效连续模型流动模拟方法研究[A];渗流力学与工程的创新与实践——第十一届全国渗流力学学术大会论文集[C];2011年
2 占欢;范育新;宫继双;齐海帆;程晓军;;扇环形截面管内爆震波特性数值模拟[A];第十四届全国激波与激波管学术会议论文集(上册)[C];2010年
3 徐驰;王友军;束忠明;;坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率的影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
4 孙岩;;模压成型过程中的复合材料在模腔内的力学分析[A];第九届中国摩擦密封材料技术交流暨产品展示会论文集[C];2007年
5 刘久玲;李顺洲;刘明华;何世堂;;声表面波气相色谱仪响应机理及检测限分析[A];泛在信息社会中的声学——中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2010年
6 林志良;汪淳;廖世俊;;快速多极子边界元方法求解大规模二维多圆柱绕流问题[A];第二十一届全国水动力学研讨会暨第八届全国水动力学学术会议暨两岸船舶与海洋工程水动力学研讨会文集[C];2008年
7 胡进;孙本良;李成威;徐阳;王琳;;连铸中间包流动控制的数值模拟[A];2008年全国冶金物理化学学术会议专辑(上册)[C];2008年
8 杨延强;易维明;;竖直管内颗粒运动规律的实验研究[A];走中国特色农业机械化道路——中国农业机械学会2008年学术年会论文集(上册)[C];2008年
9 王景超;张善元;武宝亭;李建隆;;环流循环除尘系统分离柱内旋风流场分析[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
10 刘乃玲;张旭;;细雾喷嘴射流特性分析及雾滴分布特性研究[A];全国暖通空调制冷2006年学术年会文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李佳;载人潜器阻力性能的数值和试验预报及外形优化研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 邓锐;阻流板对双体船水动力性能影响的数值研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 贺克羽;新型控制棒水力驱动系统研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
4 顾璇;近地/海运动过程中的空气动力学分析[D];哈尔滨工程大学;2009年
5 黄燕;碟形越浪式波能发电装置的水动力性能研究[D];中国海洋大学;2010年
6 韩艳;海底管线的冲刷与导流防护技术研究[D];中国海洋大学;2010年
7 王春林;旋流自吸泵设计及内部流动研究[D];江苏大学;2010年
8 程秀花;温室环境因子时空分布CFD模型构建及预测分析研究[D];江苏大学;2011年
9 谭罡风;重型汽车动力传动系热管理系统研究[D];武汉理工大学;2011年
10 王峰;曲线公路隧道营运通风关键参数研究[D];西南交通大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵文武;淮南矿区典型煤层水力冲孔技术参数研究及消突效果考察[D];河南理工大学;2010年
2 张彦奇;超细水泥渗透特性微观试验研究及理论分析[D];山东科技大学;2010年
3 刘博;叶片式流体设备数字化研发与优化研究[D];郑州大学;2010年
4 王祎;载机舰在风、浪中的气流场数值模拟研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 李勇;大型空冷汽轮发电机多物理场计算与分析[D];哈尔滨理工大学;2010年
6 张国耕;车身仿生非光滑表面气动减阻特性研究[D];浙江大学;2010年
7 苏利勋;无网格法数值模拟岩体单裂隙水力劈裂[D];昆明理工大学;2008年
8 朱培模;高效节能搅拌器的数值模拟及性能预测[D];昆明理工大学;2008年
9 仇玉林;基于网络分析法的柴油机润滑系统流动仿真[D];昆明理工大学;2009年
10 王睿君;V型节流阀油流粘性加热及结构热变形分析[D];浙江大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成步文,李代宗,黄昌俊,于卓,张春晖,王玉田,余金中,王启明;UHV/CVD生长SiGe/Si异质结构材料[J];半导体学报;2000年03期
2 戴显英,张鹤鸣,王伟,胡辉勇,吕懿,舒斌;应变Si_(1-x)Ge_x材料掺杂浓度的表征技术[J];半导体学报;2003年09期
3 刘奕,陈海昕,符松;GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真[J];半导体学报;2004年12期
4 胡辉勇,张鹤鸣,戴显英,李开成,王伟,朱永刚,王顺祥,崔晓英,王喜媛;UV/UHV/CVD生长应变Si_(1-x)Ge_x层(英文)[J];半导体学报;2005年04期
5 郭文平,邵嘉平,罗毅,孙长征,郝智彪,韩彦军;MOCVD生长GaN材料的模拟[J];半导体学报;2005年04期
6 左然,张红,刘祥林;径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟[J];半导体学报;2005年05期
7 梁仁荣;张侃;杨宗仁;徐阳;王敬;许军;;采用SiGe虚拟衬底高迁移率应变硅材料的制备和表征(英文)[J];半导体学报;2007年10期
8 左然;李晖;;MOCVD反应器的最佳输运过程及其优化设计[J];半导体学报;2008年06期
9 李志明;许晟瑞;张进虎;常永明;倪金玉;周小伟;郝跃;;Finite element analysis of the temperature field in a vertical MOCVD reactor by induction heating[J];半导体学报;2009年11期
10 张佳文,高鸿楷,张济康,杨永;MOCVD过程中回流现象的数值模拟[J];半导体学报;1994年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 宋雪梅;化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究[D];北京工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 陈燕;MOCVD反应器内部气体流动过程的研究[D];江苏大学;2005年
2 张红;径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟研究[D];江苏大学;2005年
3 许红祥;用于GaN材料制备的MOCVD系统反应室模拟[D];西安电子科技大学;2006年
4 郝江波;PECVD法制备氢化非晶硅薄膜及其金属诱导晶化研究[D];武汉理工大学;2007年
5 王敏花;RF-PECVD制备非晶硅膜及HIT太阳电池的研究[D];河北工业大学;2007年
6 沈峰;PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜[D];武汉理工大学;2008年
7 白俊春;GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究[D];西安电子科技大学;2009年
8 詹少彬;MOCVD加热系统研究[D];华中科技大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘勇;聂宇宏;姚寿广;;壁面特性对径向三重流MOCVD反应器壁面温度分布的影响[J];半导体学报;2007年06期
2 胡莹璐;李培咸;李志明;吴丽敏;刘红才;李丁玮;白俊春;;MOCVD片式红外辐射系统调节曲线的仿真与分析[J];电子科技;2012年01期
3 徐谦;杨丽英;张红;;MOCVD反应器输运过程的研究综述与展望[J];装备制造技术;2007年10期
4 何晓崐;左然;徐楠;于海群;;原子层外延生长Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜机理的研究进展[J];材料导报;2012年17期
5 张红;;金属有机化学气相沉淀反应器结构的模拟优化[J];化工进展;2009年08期
6 徐谦;左然;张红;;MOCVD生长GaN的反应动力学分析与数值模拟[J];化工学报;2009年02期
7 陈倩翌;甘志银;胡少林;;大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真[J];科技传播;2011年01期
8 ;Simulation of a new style vertical HVPE system[J];Science China(Physics,Mechanics & Astronomy);2012年12期
9 李志明;郝跃;张进成;许晟瑞;毕志伟;周小伟;;氮化物MOCVD反应室流场的仿真与分析[J];人工晶体学报;2010年01期
10 于海群;左然;陈景升;彭鑫鑫;;MOCVD水平式反应器中热泳力对沉积过程中反应前体浓度分布的影响分析及数值模拟[J];人工晶体学报;2011年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 胡贵华;高效太阳电池生长机理的计算机模拟与可视化研究[D];上海大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱贺;图形化衬底LED芯片的技术研究[D];长春理工大学;2010年
2 吴曙亮;横向来流对等离子点火器点火区域的影响[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 王船宝;基于CFD的硅基应变材料生长动力学研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 朱海科;金属有机物化学气相沉积设备多腔体气体输运技术的研究[D];华中科技大学;2011年
5 陈倩翌;金属有机化合物化学气相沉积设备加热器研究[D];华中科技大学;2011年
6 王国斌;水平切向喷射式MOCVD反应器输运过程的数值模拟研究[D];江苏大学;2009年
7 王晟;MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计[D];华中科技大学;2008年
8 詹少彬;MOCVD加热系统研究[D];华中科技大学;2008年
9 董佳鑫;MOCVD设备反应室的设计与分析[D];西安电子科技大学;2008年
10 李伟;MOCVD的在线膜厚监测系统的设计与实现[D];武汉理工大学;2012年
【相似文献】
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1 张红;左然;;径向三重流MOCVD反应器生长GaN的数值模拟[J];人工晶体学报;2009年04期
2 陈燕;陈丹晔;;MOCVD反应器内部气体流动模拟分析[J];液压气动与密封;2006年03期
3 徐谦;左然;;反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器生长GaN的化学反应数值模拟[J];人工晶体学报;2007年02期
4 胡晓宇;陈海昕;;基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化[J];电子工业专用设备;2008年07期
5 王国斌;左然;徐谦;李晖;于海群;陈景升;;切向喷射式MOCVD反应器的设计与数值模拟[J];人工晶体学报;2010年01期
6 陈燕,王贞涛,罗惕乾;MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟[J];排灌机械;2004年04期
7 关兴国,李景,章其麟,任永一;MOCVD 生长 GaAlAs/GaAs HBT 材料的研究[J];稀有金属;1993年06期
8 于海群;左然;陈景升;;一种多喷淋头式MOCVD反应器的设计与数值模拟[J];人工晶体学报;2011年04期
9 廖学明;唐为民;;用光辅助MOCVD制作巨磁阻薄膜PCMO[J];人工晶体学报;2005年06期
10 李志明;郝跃;张进成;许晟瑞;毕志伟;周小伟;;氮化物MOCVD反应室流场的仿真与分析[J];人工晶体学报;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 丁杰;王博;;计算流体力学在废水生物处理反应器优化设计运行中的应用[A];中国环境科学学会2009年学术年会论文集(第二卷)[C];2009年
2 陈燕;;MOCVD反应器内部气体流动模拟分析[A];第四届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2006年
3 王嘉松;叶春;李新令;黄震;;街道峡谷汽车排放污染物浓度分布的观测与模拟[A];第三届全国环境化学学术大会论文集[C];2005年
4 伍永福;刘中兴;李姝婷;朱虹;;稀土熔盐电解槽内多相流动数值模拟[A];第十二届冶金反应工程学术会议论文集[C];2008年
5 陈景升;左然;于海群;;一种多喷淋头式MOCVD反应器的设计与数值模拟[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
6 左然;;MOCVD反应器的优化设计与最佳生长参数[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
7 徐丽;张会冰;冯炼;;城市公路隧道峒口的污染物扩散的数值模拟与分析[A];铁路暖通空调专业2006年学术交流会论文集[C];2006年
8 王国玉;张博;黄彪;余志毅;;绕水翼云状空化流动结构的数值与实验研究[A];第二十一届全国水动力学研讨会暨第八届全国水动力学学术会议暨两岸船舶与海洋工程水动力学研讨会文集[C];2008年
9 陈文艺;;MATLAB在燃煤锅炉大气污染模拟中的应用[A];中国铁道学会环境保护委员会(环境影响评价学组)第三届学术交流会论文集2007~2009[C];2009年
10 杨晓庆;叶君永;华伟;赵岩岩;;基于化学反应等效介电系数经验公式的微波加热模拟[A];2005'全国微波毫米波会议论文集(第二册)[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 通讯员 朱江 冯明农;风能项目组研讨数值模拟产品共享[N];中国气象报;2010年
2 胡敏 沈燕;加快推进MOCVD项目[N];扬州日报;2011年
3 本报记者 赵亚辉;探寻“大气”的奥秘[N];人民日报;2005年
4 本报记者 诸玲珍;LED设备:关键设备依赖进口 MOCVD并非不可逾越[N];中国电子报;2010年
5 张晓健;二重大型铸锻件数值模拟国家工程实验室获批[N];中国冶金报;2007年
6 记者 张少鹏;山西长治高科华上光电有限公司MOCVD采购合同在长治签约[N];中华建筑报;2010年
7 本报记者 梁红兵;国产MOCVD设备下线有望降低LED成本[N];中国电子报;2010年
8 向杰 实习生:孙馨;在计算机上模拟大气和海洋运动[N];科技日报;2005年
9 刘勘华林证券;特别关注:国际国内资金反向流动[N];上海证券报;2007年
10 刘勘;国际国内资金反向流动岂能拱手相让“价值洼地”[N];证券时报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 柳靖;机动车尾气在街谷中分布规律及其对建筑环境的影响[D];哈尔滨工业大学;2009年
2 孙喜新;济阳坳陷馆陶组构造特征及成藏模式研究[D];中国科学院研究生院(广州地球化学研究所);2005年
3 严春吉;液体射流分裂雾化机理及内燃机缸内工作过程的模拟[D];大连海事大学;2005年
4 何志伟;复合期权与路径相关期权定价理论模型、数值模拟及应用研究[D];华中科技大学;2005年
5 郭永红;超细粉再燃低NO_x燃烧技术的数值模拟与实验研究[D];华北电力大学(北京);2006年
6 胡国权;淮河试验时期的能量与水份循环研究[D];中国气象科学研究院;2001年
7 吴一红;管阵流体弹性不稳定性研究及流体诱发振动数值模拟[D];清华大学;1991年
8 陈黎明;电弧加热发动机的设计与研究[D];清华大学;2002年
9 肖金花;波纹管传热强化及其轴向承载能力研究[D];北京化工大学;2006年
10 周素云;激光等离子体中有着自生磁场的密度通道的分析研究[D];南昌大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王传宾;车用质子交换膜燃料电池流场的数值模拟及优化改进[D];重庆大学;2008年
2 魏小华;同流环境中废水排放及水环境容量计算方法研究[D];武汉大学;2005年
3 闰凌君;汽车排放CO的植物净化研究[D];东北林业大学;2007年
4 张小彬;哈尔滨市某地下商场空气品质评价与数值模拟[D];哈尔滨工程大学;2006年
5 冷冰;混凝土中氯离子浓度分布预测方法研究[D];吉林大学;2008年
6 席作家;Y型水煤浆气化炉炉内冷态流场及燃烧过程的模拟[D];中国石油大学;2009年
7 肖浩飞;曝气池内气液两相流CFD数值模拟[D];东华大学;2010年
8 沈建锋;渣浆泵内部流场的定常与非定常数值模拟[D];兰州理工大学;2009年
9 赵洪明;微型降膜加热器流动及燃烧特性的数值模拟与实验研究[D];中国海洋大学;2009年
10 权红梅;居室氡的迁移特征和数值模拟[D];吉林大学;2008年
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