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《人工晶体学报》 2005年03期
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铁电薄膜/半导体异质结构的研究进展

向飞  刘颖  朱时珍  
【摘要】:综述了铁电薄膜/半导体异质结构研究近年来的新进展。重点介绍了异质结构制备工艺的改进和界面的最新研究状况。简单叙述了全钙钛矿异质结构的发展情况。指出了铁电薄膜/半导体异质结构研究领域需要解决的一些问题。

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【引证文献】
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1 孟庆超;葛圣松;邵谦;;溶胶-凝胶法制备纳米薄膜技术应用研究进展[J];山东科学;2006年04期
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1 程铁栋;掺锶的钛酸铅铁电薄膜性能研究[D];广东工业大学;2008年
【参考文献】
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1 黄龙波,刘殊松,龙浩,干煜军;铁电薄膜与底电极之间界面的异质结效应[J];真空科学与技术学报;1997年04期
【共引文献】
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1 方华军;刘理天;任天令;;硅基PZT压电驱动扫描微镜的设计与优化[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
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1 付兴华;掺杂钛酸锶钡薄膜的制备与电性能的研究[D];武汉理工大学;2005年
2 刘梦伟;基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 曾建平;液态源雾化化学沉积法制备纳米颗粒镧钛酸铅薄膜[D];天津大学;2004年
2 周军连;FRAM用铁电薄膜的制备与性能研究[D];电子科技大学;2004年
3 蒲朝辉;PZT铁电薄膜的制备与性能研究[D];四川大学;2006年
4 胡立业;钛酸锶钡薄膜介电非线性特性研究[D];电子科技大学;2007年
5 梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
6 程铁栋;掺锶的钛酸铅铁电薄膜性能研究[D];广东工业大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘付胜聪,李玉平;自清洁防雾玻璃[J];玻璃;2002年03期
2 江辉明,叶志清,曾明生;脉冲激光沉积(PLD)机理分析及其应用[J];江西师范大学学报(自然科学版);2005年01期
3 王悦辉,庄志强;择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析[J];材料导报;2003年04期
4 朱冬生,赵朝晖,吴会军,李军;溶胶-凝胶法制备纳米薄膜的研究进展[J];材料导报;2003年S1期
5 陈志武;卢振亚;;铁电薄膜材料及其相关问题研究进展[J];材料导报;2005年05期
6 邱成军,曹茂盛,朱静,杨慧静;纳米薄膜材料的研究进展[J];材料科学与工程;2001年04期
7 丁星兆,何怡贞,董远达;溶胶-凝胶工艺在材料科学中的应用[J];材料科学与工程;1994年02期
8 金宇龙,周洪庆,吴洪忠,刘敏,蒋微波,黄志文;钛酸锶钡(BST)铁电移相器材料的研究现状[J];电子元件与材料;2003年02期
9 余慧春,徐爱兰,惠春;BST薄膜铁电移相器研究进展[J];电子元件与材料;2005年03期
10 向飞,刘颖,朱时珍,朱满康;水基前驱体法制备BST铁电薄膜的研究[J];电子元件与材料;2005年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 付兴华;掺杂钛酸锶钡薄膜的制备与电性能的研究[D];武汉理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 徐振华;溶胶—凝胶法制备光功能材料研究[D];长春理工大学;2002年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 徐林林;多金属氧酸盐复合材料的仿生合成、表征和性质研究[D];东北师范大学;2006年
2 单志俊;光催化氧化技术去除水中表面活性剂的研究[D];同济大学;2007年
3 顾铭;纳米功能薄膜的制备与性能研究[D];苏州大学;2007年
【相似文献】
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1 陈水妹;李建华;邱学云;;硅锗异质结构中的声子模式[J];文山学院学报;2011年03期
2 楚兴丽;王艳文;;闪锌矿GaN/AIGaN耦合量子点中的类氢杂质态[J];河南师范大学学报(自然科学版);2011年04期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨轶;张宁欣;任天令;刘理天;;集成铁电器件中的关键工艺研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
2 王春青;;用于集成电路WLP封装的无源元件集成技术发展现状[A];2010中国电子制造技术论坛论文集[C];2010年
3 朱劲松;吕笑梅;;铁电薄膜的脉冲激光制备及薄膜的激光晶化[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学(激光)联合学术'05年会论文集[C];2005年
4 王海波;闫东航;;结晶性有机异质结器件[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2009年
5 邓立儿;王永生;徐征;王东栋;张春秀;韩笑;;宽频带一维三元光子晶体异质结构全方向反射镜[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
6 江勤;姜胜林;张海波;杨智兵;钟南海;;非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
7 杨传仁;陈宏伟;张继华;姬洪;王波;贺伟;唐海军;廖宇;;介质移相器用铁电薄膜研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8 罗维根;;IC卡和非易失性铁电存储器[A];上海市老科学技术工作者协会一、二、三届学术年会论文选集[C];2006年
9 肖红领;王晓亮;张明兰;马志勇;王翠梅;杨翠柏;唐健;冉军学;李晋闽;王占国;侯洵;;AlGaN/AlN_a/GaN/AlN_b/GaN HEMT结构材料生长及性能表征[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
10 戴宁;胡淑红;胡古今;洪学;;PZT铁电薄膜的制备和应用[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
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1 ;用MEMS方法制备麦克风刻不容缓[N];中国电子报;2009年
2 本报记者 陈磊;半导体照明:基础研究不能“慢半拍”[N];科技日报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨锋;铁电薄膜与隧道结存储器件性能模拟及失效机理研究[D];湘潭大学;2010年
2 符小荣;非制冷红外探测器用PbTiO_3系铁电薄膜的Sol-Gel法制备及性能研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
3 刘秉策;ZnO/Si异质结构晶界行为及其载流子输运机制研究[D];中国科学技术大学;2011年
4 张清涛;PMNT铁电薄/厚膜及其MEMS致冷器制备工艺的研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
5 王龙海;用于嵌入式铁电存储器的集成铁电电容研究[D];华中科技大学;2006年
6 蒲红斌;SiCGe/SiC异质结光控达林顿晶体管设计及SiCGe/SiC异质结的制备[D];西安理工大学;2006年
7 陈峰;外延Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3单晶薄膜的制备与性能研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 吴云翼;钛酸铋系铁电薄膜材料改性研究[D];华中科技大学;2008年
9 姚文杰;纳米异质结构的光学特性研究及应用[D];北京邮电大学;2011年
10 王华;基于碳纳米墙的半导体复合材料制备、表征及其光催化性能研究[D];大连理工大学;2008年
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1 罗菊华;铁电薄膜空间光调制器驱动电路的研究[D];电子科技大学;2007年
2 孙晓涛;铁电薄膜沉积技术研究[D];西安工业大学;2012年
3 李元昕;新型PST铁电薄膜的制备及其性能研究[D];华中科技大学;2004年
4 陈天鸥;BaTiO_3-SiC异质结构的第一性原理研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 陈润乾;基于密度泛函的SiC异质结研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 臧源;p-Si/n-SiC异质结及其光电特性[D];西安理工大学;2010年
7 王小平;Hf-Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的铁电性及其与GaN的集成生长研究[D];电子科技大学;2009年
8 张忠芬;AlGaN/GaN异质结构的变温电学特性[D];西安电子科技大学;2010年
9 涂才根;GaN-BTO异质结电子特性的第一性原理研究[D];电子科技大学;2010年
10 彭雄俊;Zn_(0.98)Co_(0.02)O/PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3异质结的制备及其磁性能研究[D];湘潭大学;2011年
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