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《强激光与粒子束》 2008年10期
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纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性

李凯  金晓  甘孔银  王汉斌  胡和平  
【摘要】:简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析。在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了二次发射系数为15的满意结果,表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景。
【作者单位】中国工程物理研究院应用电子学研究所;
【分类号】:O462.2

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【参考文献】
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【共引文献】
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