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集成加速表设计

赵长德  高钟毓  
【摘要】:以MEMS(微型机电系统)为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度计,有必要将接口电路和敏感元件集成在一个芯片上。本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感元件(包括一个差动电容结构);分析了一种CMOS前置缓冲放大器和增量求和(Δ)原理的静电力反馈系统并且用计算机进行了仿真;同时对系统噪音进行了讨论。这个前置缓冲放大器可以达到22MHz的单位增益带宽和很小的运放输入电容。Δ反馈回路可以得到高精度和高线性度的数字输出。

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1 赵长德,高钟毓;集成加速表设计[J];清华大学学报(自然科学版);1998年11期
2 郭晓光;STD5000系列工控机在机动车安全性能检测中的应用[J];光学精密工程;1999年02期
3 李维谦,杨富文,邱公伟;地热温泉的温度、液位和流量微机监控系统[J];中国仪器仪表;1999年01期
4 刘海深;音质靓丽的全集成功放[J];家用电器.消费;2000年09期
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9 白广安 ,朱双鹤 ,尚庆宜;一种超高速宽频带多功能数据采集系统[J];电子技术;2002年04期
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