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《清华大学学报(自然科学版)》 2001年Z1期
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溶胶-凝胶法制备定向排列的纳米结构二氧化锆薄膜

李海滨  梁开明  顾守仁  
【摘要】:为研究石英玻璃基板上二氧化锆薄膜的定向排列特征及相转变对其定向排列的影响 ,采用溶胶凝胶工艺在石英玻璃基体上制备了二氧化锆薄膜 ,并利用 X射线衍射仪及原子力显微镜对薄膜结构进行了分析。结果表明 ,低温二氧化锆薄膜主要由 t- Zr O2 晶粒组成 ,沿 (111)平面定向排列 ,随温度升高 ,t- Zr O2 向 m - Zr O2 转变 ,定向排列也由 t-Zr O2 的 (111)平面转向为 m - Zr O2 的 (111- )平面。与凝胶粉相比 ,二氧化锆薄膜的 t- Zr O2 → m- Zr O2 相转变温度提高10 0℃。 AFM观察显示 ,随温度升高 ,薄膜表面粗糙度增大 ,并且二氧化锆晶粒尺寸由 6 0 0℃ ,保温 1h的 7.5 nm提高至 10 0 0℃ ,保温 1h的 6 5 nm。

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【引证文献】
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