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《汽车电器》 2003年05期
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MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势

徐向阳  刘斌  
【摘要】:MEMS是多种学科交叉融合的前沿高新技术,MEMS具有体积小、质量轻、耗能低、惯性小、响应时间短等许多优点,在汽车电器电子技术中具有重要的用途。本文介绍了目前MEMS发展的国内外状况,并对MEMS在汽车电器电子技术中的应用、发展趋势及其对汽车电器电子技术的影响进行了分析与探讨。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 孙晨;微惯性器件辅助GPS导航的工程实现[D];中北大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 杨明,梁大开,徐明辉;应用于智能材料结构的无线传感智能夹层[J];光电技术应用;2005年02期
2 孙立宁,刘品宽,吴善强,刘涛;管内移动微型机器人研究与发展现状[J];光学精密工程;2003年04期
3 张涛;冷长林;钟莹;张国雄;;基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术[J];光学学报;2007年01期
4 张栋;;对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考[J];科技情报开发与经济;2006年24期
5 李文望;微电子机械系统(MEMS)技术及其应用[J];鹭江职业大学学报;2001年02期
6 张正元,徐世六,刘玉奎,杨国渝,税国华;用于MEMS的硅湿法深槽刻蚀技术研究[J];微电子学;2004年05期
7 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的研究与展望[J];微电子学;2005年01期
8 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的发展及其应用[J];纳米技术与精密工程;2004年02期
9 皮喜田,彭承琳,郑小林,侯文生,樊华,崔建国,刘洪英;消化道药丸式微型诊疗系统研究进展[J];中国医疗器械杂志;2004年02期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谢丹;NO_2气敏LB膜及其微结构传感器研究[D];电子科技大学;2001年
2 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
3 张春良;微制造平台振动主动控制研究[D];浙江大学;2003年
4 华顺明;压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究[D];吉林大学;2005年
5 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
6 刘国嵩;压电步进二维精密驱动器理论及实验研究[D];吉林大学;2006年
7 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
8 郭彤;基于钹形压电复合驱动的微小管内机器人技术研究[D];浙江大学;2005年
9 李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
10 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 吕召全;多自由度压电式微位移机电系统的研究[D];合肥工业大学;2002年
3 邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
4 陈爽;面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析[D];西北工业大学;2004年
5 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
6 陈坚美;微型机电系统端点特性建模技术研究[D];浙江大学;2004年
7 胡忠文;微型机器人螺旋驱动机理研究[D];浙江大学;2005年
8 于克龙;微型泳动机器人理论及实验研究[D];浙江大学;2005年
9 钟军威;基于微型传感器阵列的边界层分离点检测技术研究[D];西北工业大学;2006年
10 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 姚雅红,吕苗,赵彦军,崔战东;微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术[J];半导体技术;1999年04期
2 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
3 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
4 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
5 徐景硕;惯性传感器技术及发展[J];传感器技术;2001年05期
6 吴正茂;IIR数字滤波器的MATLAB设计与实现[J];长江工程职业技术学院学报;2004年02期
7 闫晓艳,傅丰林,陈健,阔永红;FIR数字滤波器的设计及其在MATLAB中的仿真实现[J];电子科技;2004年05期
8 王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文;硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J];电子学报;2002年11期
9 李智,王向军;微机电系统测试技术及方法[J];光学精密工程;2003年01期
10 高新闻,陈孝威;捷联惯性测量系统的误差补偿研究[J];贵州大学学报(自然科学版);2003年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李强;沈志勇;宣益民;韩玉阁;;MEMS百叶窗的设计与仿真[A];中国宇航学会深空探测技术专业委员会第二届学术会议论文集[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
2 陈银溢;微惯性航向、姿态系统研究[D];中北大学;2005年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 于俊杰;微惯性组合系统设计与研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
2 王丽华;基于FPGA的MIMU信息采集系统研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;[J];;年期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
2 孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 邹得和;海外车用传感器现状(上)[N];中国汽车报;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 李青云;基于MEMS的汽车运动信息采集与分析系统设计[D];山西大学;2012年
3 张士钰;基于MEMS惯性传感器的车辆组合导航研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 黄盛;车辆稳定性参数的检测与估计[D];广西工学院;2011年
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