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《纳米技术与精密工程》 2007年02期
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飞秒激光与金膜作用的脉冲累积效应(英文)

倪晓昌  孙琦  王清月  巫殷忠  杨丽  贾威  柴路  
【摘要】:采用1kHz飞秒激光(脉宽148fs,中心波长775nm)对石英衬底的金膜的烧蚀过程进行了研究.单脉冲与多脉冲的烧蚀阈值可以通过烧蚀点的直径平方与所用的激光能流的关系曲线获得.通过累积能流和烧蚀脉冲数的关系,可以得到金膜的脉冲累积因子.采用飞秒激光加工材料的一些特点可以合理解释单脉冲阈值附近获得的一些实验现象.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 倪晓昌;孙琦;陈永耀;李海燕;王清月;柴路;贾威;;飞秒激光烧蚀材料表面产生纳米波纹结构的实验[J];纳米技术与精密工程;2009年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 范敬钦;飞秒激光诱导金属表面周期性结构研究[D];华中科技大学;2009年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘璇;王扬;赵丽杰;;Study on Ultra-Short Laser Pulse Ablation of Metals by Molecular Dynamics Simulation[J];Journal of Beijing Institute of Technology(English Edition);2006年04期
2 唐小娟;刘向力;钟占荣;;飞秒激光加热引起相变过程的研究进展[J];材料导报;2009年19期
3 陈继民;何超;周伟平;申雪飞;;光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件[J];光学精密工程;2012年01期
4 刘璇,王扬;Femtosecond laser ablation of metals:a molecular dynamics simulation study[J];Chinese Optics Letters;2005年01期
5 倪晓昌;王清月;吴殷忠;杨丽;贾威;柴路;;Femtosecond laser ablation of Au film around single pulse threshold[J];Chinese Optics Letters;2006年04期
6 巫殷忠;王清月;贾威;倪晓昌;胡明列;柴路;;Influence of scanning velocity on femtosecond laser direct writing lines on FOTURAN glass[J];Chinese Optics Letters;2008年01期
7 倪晓昌;王清月;梁建国;;飞秒脉冲参量影响金属表面热特性的研究*[J];光子学报;2006年01期
8 巫殷忠;王清月;贾威;胡明列;柴路;;飞秒激光在光敏玻璃内制作微孔[J];光子学报;2008年07期
9 巫殷忠;王清月;贾威;胡明列;柴路;;飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面[J];光子学报;2009年07期
10 倪晓昌,王清月;飞秒激光烧蚀研究进展[J];激光与光电子学进展;2002年12期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张峰烈;金属材料纳秒紫外脉冲激光微抛光理论与技术的研究[D];天津大学;2011年
2 倪晓昌;飞秒激光微精细加工理论与实验研究[D];天津大学;2004年
3 李玉华;飞秒激光微细加工电介质材料与微光器件制备研究[D];华中科技大学;2007年
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5 巫殷忠;飞秒激光在固体材料上制作微结构的研究[D];天津大学;2008年
6 余本海;飞秒激光对透明电介质材料的烧蚀与微加工研究[D];华中科技大学;2008年
7 房然然;高能激光烧蚀靶材动力学研究[D];华中科技大学;2009年
8 王丽梅;飞秒激光烧蚀硅的分子动力学模拟[D];国防科学技术大学;2008年
9 王晓东;短脉冲及超短脉冲激光对金属的烧蚀及微加工研究[D];华中科技大学;2009年
10 邬泳;光敏玻璃紫外脉冲激光微加工理论与技术的研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨宏道;脉冲激光在硅表面制备微纳结构的研究[D];西南科技大学;2011年
2 梁建国;飞秒激光微加工研究[D];天津大学;2005年
3 吴雪峰;飞秒激光烧蚀金属的理论与试验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
4 吴运龙;飞秒脉冲激光烧蚀Si表面的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
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6 张一帅;飞秒激光与铁电材料相互作用及波导特性研究[D];上海交通大学;2008年
7 李凌梅;飞秒激光微结构加工工艺的研究[D];天津大学;2007年
8 王建中;基于激光直写技术的MEMS短流程加工工艺研究[D];华中科技大学;2007年
9 朱海生;飞秒激光诱导铁电晶体畴反转和表面烧蚀的研究[D];上海交通大学;2009年
10 张艳;飞秒激光烧蚀石英光纤和直写光纤光栅的研究[D];华中科技大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 倪晓昌,王清月,王专,胡明列,栗岩峰,柴路;The study of nanojoule femtosecond laser ablation on organic glass[J];Chinese Optics Letters;2003年07期
2 袁永华,刘颂豪,孙承纬,廖常俊,王伟平,张大勇;脉冲激光辐照硅材料引起表面波纹的特性研究[J];光学学报;2004年02期
3 王涛;赵元安;黄建兵;贺洪波;邵建达;范正修;;多脉冲激光作用下光学薄膜损伤的累积效应[J];光子学报;2006年06期
4 李智华,张端明,关丽,黄明涛;脉冲激光烧蚀靶材等离子体羽辉的动力学模拟[J];华中科技大学学报;2001年09期
5 王伟平,吕百达,刘仓理;激光辐照下光学元件表面波纹现象研究[J];激光与光电子学进展;2002年06期
6 倪晓昌,王清月;飞秒激光烧蚀研究进展[J];激光与光电子学进展;2002年12期
7 李平;王煜;冯国进;郑春弟;赵利;朱京涛;;超短激光脉冲对硅表面微构造的研究[J];中国激光;2006年12期
8 王涛,赵元安,黄建兵,贺洪波,劭建达,范正修;重复率激光作用下光学薄膜损伤的累积效应[J];强激光与粒子束;2005年S1期
9 王光昶;郑志坚;杨则金;陈涛;张婷;张建炜;;飞秒激光固体靶相互作用中超热电子的输运特性[J];强激光与粒子束;2008年03期
10 张端明,李莉,李智华,关丽,侯思普,谭新玉;靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布[J];物理学报;2005年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 孙树峰;王萍萍;薛伟;;基于飞秒激光双光子的微齿轮加工技术研究[J];机械工程学报;2011年23期
2 张朝阳;陈飞;王耀民;毛卫平;张永康;;纳秒脉冲激光对水下靶材的掩模微细刻蚀加工[J];纳米技术与精密工程;2011年02期
【相似文献】
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1 贾威,王清月,傅星,胡小唐;飞秒激光在材料微加工中的应用[J];量子电子学报;2004年02期
2 赵全忠,邱建荣,姜雄伟,赵崇军,朱从善;飞秒激光诱导金属功能微结构的机理与应用[J];激光与光电子学进展;2004年06期
3 龚旗煌,杨宏,张铁桥,王树峰,秦元东;飞秒激光及超快光谱技术[J];量子电子学报;1998年06期
4 刘立鹏,周明,戴起勋,潘传鹏,蔡兰;飞秒激光三维微细加工技术[J];光电工程;2005年04期
5 刘华刚;胡明列;刘博文;宋有建;柴路;王清月;;2.14W高重复频率261nm紫外飞秒激光源[J];中国激光;2009年08期
6 权艳梅;科学家利用飞秒激光成功观测电子运动[J];西安石油学院学报(自然科学版);2002年06期
7 ;激光生物学[J];中国光学与应用光学文摘;2008年03期
8 季忠刚,邓蕴沛,冷雨欣,李儒新,徐至展;飞秒激光多脉冲烧蚀研究进展[J];激光与光电子学进展;2003年09期
9 巫殷忠;黄燕华;尹强;张林;谷渝秋;;高厚度薄膜-泡沫平面调制靶的飞秒激光微加工[J];强激光与粒子束;2011年03期
10 ;精微世界里的能工巧匠[J];光机电信息;2008年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李苏宇;郭福明;杨玉军;金明星;丁大军;;超强飞秒激光在大气中传播的理论研究[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
2 陈安民;姜远飞;隋来志;刘航;金明星;丁大军;;飞秒激光照射双层金属薄膜的热分析[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
3 王攀;王晓雷;翟宏琛;胡浩丰;李璐杰;;飞秒激光在水中激发冲击波的超快数字全息诊断[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4 吕晓华;刘秀丽;赵媛;曾绍群;;飞秒激光随机扫描双光子显微成像观测神经活动[A];第十一次中国生物物理学术大会暨第九届全国会员代表大会摘要集[C];2009年
5 杜广庆;陈烽;杨青;司金海;侯洵;;飞秒激光激发固体薄膜超快热弛豫特性研究[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
6 王珏;涂成厚;吕福云;;利用超短激光制作硅表面微结构的研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
7 姚保利;雷铭;彭飞;严绍辉;;光学微操纵技术及其在生物学中的应用[A];第十一次中国生物物理学术大会暨第九届全国会员代表大会摘要集[C];2009年
8 江燕;;飞秒激光制瓣LASIK手术的术前宣教[A];2011年浙江省眼科学术会议论文集[C];2011年
9 王清月;张国雄;倪晓昌;;飞秒激光微纳米加工技术[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
10 赵恒;陈烽;刘贺炜;杨青;;大面阵微透镜阵列器件的飞秒激光三维微纳加工技术[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王迅;飞秒激光光学频率梳获国家科技进步二等奖[N];中国有色金属报;2010年
2 日经;飞秒激光切削加工技术将进入实用阶段[N];中国有色金属报;2003年
3 本报记者 杨蕾;在光的世界里驰骋[N];中国质量报;2010年
4 信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长 季国平;激光技术与产业:超越与创新[N];中国电子报;2003年
5 记者 殳慧平;全数字化飞秒激光手术在杭州受捧[N];杭州日报;2011年
6 常丽君;飞秒激光照相机可侧面取像[N];科技日报;2010年
7 ;超短脉冲激光投入广泛应用[N];科技日报;2002年
8 记者 于晶晶 通讯员 李洋;北京民众眼科医院落成[N];消费日报;2009年
9 本报特约通讯员 谷巍峰;术后视力:兵检中需关注的新问题[N];中国国防报;2008年
10 本报记者 吴德强;制造闪电 击落飞机[N];北京科技报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王英;飞秒激光制作体光栅及新型光纤传感器件的实验研究[D];华中科技大学;2010年
2 赵媛;飞秒激光刺激诱导星形胶质细胞钙信号及其通信研究[D];华中科技大学;2012年
3 陈洪云;飞秒激光与铁电晶体相互作用及波导耦合特性[D];上海交通大学;2008年
4 王文君;飞秒激光金属加工中的形状及形貌控制研究[D];西安交通大学;2008年
5 冉玲苓;飞秒激光制备微结构及在粒子操控中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 冉玲苓;飞秒激光制备微结构及在粒子操控中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 韩艳华;飞秒激光在玻璃和半导体表面诱导微结构[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 韩艳华;飞秒激光在玻璃和半导体表面诱导微结构[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 陈安民;飞秒激光辐照金属超快动力学过程研究[D];吉林大学;2012年
10 李岩;飞秒激光微纳加工制备研究[D];吉林大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 蔡君古;飞秒激光与透明晶体作用机理及微加工可行性研究[D];曲阜师范大学;2012年
2 杨鼎;整形飞秒激光对金属材料进行烧蚀的实验研究[D];吉林大学;2011年
3 肖翔;复杂微结构的激光加工工艺规划[D];武汉理工大学;2012年
4 姬兴国;飞秒激光金属表面着色技术研究[D];长春理工大学;2011年
5 牛明生;飞秒激光对双折射晶体损伤机制的研究[D];曲阜师范大学;2010年
6 高海燕;液相环境下飞秒激光烧蚀金属靶材的机理[D];华中科技大学;2011年
7 孙桂婷;基于飞秒激光双光子吸收的三维微纳加工系统的研究[D];吉林大学;2012年
8 卢涛;激光微加工系统研制[D];郑州大学;2002年
9 李强;基于飞秒光精密加工技术金属薄膜深小孔加工研究[D];上海交通大学;2012年
10 徐刚;宽禁带材料的激光微加工及其机理研究[D];武汉理工大学;2010年
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