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基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量

张少婧  胡晓东  栗大超  胡小唐  
【摘要】:实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量,关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程.为此,介绍了光流技术,并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算.组建了基于频闪成像的MEMS平面运动测试系统,通过该系统获得MEMS谐振器周期运动不同相位下的清晰图像序列.利用邻域优化计算该图像序列的光流,选取合适的邻域大小和阈值,得到了MEMS谐振器在特定驱动频率下的运动幅度-相位图及其拟合曲线,从而获得微谐振器在此驱动频率下的运动幅度值为2.12μm.实验结果表明,该方法是准确有效的.

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