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《纳米技术与精密工程》 2005年02期
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自由曲面光学器件检测技术(英文)

李圣怡  陈善勇  戴一帆  
【摘要】:自由曲面光学器件尽管有其突出的优点,但还远不能进入到现代光学系统的主流中去,问题之一就是精密检测.自由曲面光学器件的检测对于其精密加工不可或缺,并且两者通常具有不可分割的联系.文中阐述了与不同加工阶段相关的自由曲面光学器件检测中的问题和对策.在抛光前后宜分别采用坐标测量机和光学干涉仪,两种方法都存在一些问题有待解决.实际上坐标测量方法是近十几年来自由曲面测量的主流,这方面的研究主要集中于定位、误差补偿及采样策略等问题上.相比之下,自由曲面光学器件的光学测试是一个新的技术,其中不仅是分析软件上的存在问题,首要的还是缺乏适当的测量手段.尽管也可应用专门的轮廓测量仪,但它还存在诸多限制.结合子孔径拼接技术的干涉仪在某些自由曲面光学器件的测量中前景良好,不过对于更复杂的曲面,它同样无法进行测量.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张新;许英朝;;光学自由曲面的检测方法[J];中国光学与应用光学;2008年Z1期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 倪江楠;光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究[D];南京理工大学;2011年
2 朱进;光学自由曲面面形描述方法和光线追迹模型的研究[D];南京理工大学;2012年
【共引文献】
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1 杜兴吉;周晓军;曹志樑;;基于软件寻位的自由曲面零件超声检测方法[J];传感技术学报;2007年02期
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3 杜兰;张捍卫;周庆勇;王若璞;;坐标转换参数之间的相关性解析[J];大地测量与地球动力学;2011年01期
4 熊璟;陈恳;杨向东;刘少丽;冯涛;梁萍;;THMR-I介入治疗机器人系统的研究及其临床应用[J];高技术通讯;2009年12期
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1 杜兰;张捍卫;周庆勇;;坐标转换参数之间的相关性解析[A];中国测绘学会2010年学术年会论文集[C];2010年
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10 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年
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10 赵春锋;无框架立体定向手术机器人主控软件系统[D];南京理工大学;2005年
【同被引文献】
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9 单宝忠,王淑岩,牛憨笨,刘颂豪;Zernike多项式拟合方法及应用[J];光学精密工程;2002年03期
10 陈锦昌,梁利东,刘桂雄,张国栋;基于测量的自由曲面造型与虚拟表示系统的研究[J];光学精密工程;2002年06期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
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2 丁毅;自由曲面光学器件的设计及其在照明系统中的应用[D];浙江大学;2009年
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3 翁俊淼;非球面检测的若干基础理论研究[D];浙江大学;2008年
4 余美群;我国人眼光学数字模型的建立[D];南京理工大学;2009年
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6 刘亮;基于离轴型CGH的非球面检测技术研究[D];南京理工大学;2009年
7 李利;光学自由曲面加工误差对光学性能的影响[D];吉林大学;2011年
8 倪江楠;光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究[D];南京理工大学;2011年
【二级引证文献】
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2 王军;吴泉英;唐运海;钱霖;;基于多光束的自由曲面干涉检测法的仿真研究[J];激光与光电子学进展;2011年12期
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2 倪江楠;光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究[D];南京理工大学;2011年
3 朱进;光学自由曲面面形描述方法和光线追迹模型的研究[D];南京理工大学;2012年
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8 魏德勇;高速空间并联式坐标测量机非线性弹性动力学研究[D];山东科技大学;2011年
9 吴晶;基于Shack-Hartmann的子孔径拼接波前检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
10 李迎春;基于32位的三坐标测量机系统集成的研究[D];西安理工大学;2000年
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